一种液位检测方法及其检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种液位检测方法，应用于槽体的预设液位检测，涉及微电子元器件湿法刻蚀技术领域，槽体设置有若干的检测管道，每个所述检测管道开口朝向液面下降方向且每个所述检测管道端口与对应所述预设液位平齐，每个检测管道内设置有液位开关，所述液位开关连接有控制器，液位检测方法包括如下步骤：向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体；当槽体内的液位没过一个预设液位时，检测管道内的气体压强增大使液位开关导通，液位开关向控制器输入对应的液位抵达信号；控制器接收到液位抵达信号后输出槽体液位抵达对应预设液位的图像信号。本发明专利技术提供的一种液位检测方法及其检测系统，有效提高了预设液位的检测准确性。检测准确性。检测准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种液位检测方法及其检测系统


[0001]本专利技术涉及微电子元器件湿法刻蚀
，尤其涉及一种液位检测方法及其检测系统。

技术介绍

[0002]微型机械电子元器件在湿法刻蚀等工艺中，需要将微型机械电子元器件浸没于刻蚀溶液中，随着湿法刻蚀的进行，溶液液面会降低，需要不断补充新的溶液进来，并且随着湿法刻蚀的进行，溶液浓度的减低，需要及时排出溶液并补充新的溶液。由于刻蚀溶液具有一定的腐蚀性，液位传感器设置于槽体内易被腐蚀，现通过在盛装溶液的槽体外侧固定多个电容式传感器来检测溶液液位是否抵达预设液位，由于溶液由一定的浓稠度，可能在槽体的内侧产生结晶、挂壁或挂珠的现象，电容式传感器易产生误检，严重影响生产质量和生产安全。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种液位检测方法及其检测系统，以解决现有技术中的预设液位检测不准确的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0005]一种液位检测方法，应用于槽体的预设液位检测，所述槽体设置有若干的检测管道，每个所述检测管道开口朝向液面下降方向且每个所述检测管道端口与对应所述预设液位平齐，每个检测管道内设置有外界压强变化一定值而导通的液位开关，所述液位开关连接有控制器，液位检测方法包括如下步骤：
[0006]向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体；
[0007]当槽体内的液位没过一个预设液位时，检测管道内的气体压强增大使液位开关导通，液位开关向控制器输入对应的液位抵达信号；r/>[0008]控制器接收到液位抵达信号后输出槽体液位抵达对应预设液位的图像信号。
[0009]在本申请可选的实施例中，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的气体中，检测气体的流速范围为0.2m/s～0.6m/s。
[0010]在本申请可选的实施例中，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体中，通入检测管道内的气体为惰性气体。
[0011]在本申请可选的实施例中，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体中，通入检测管道内的气体为氮气。
[0012]在本申请可选的实施例中，所述液位开关为差压式液位开关，所述差压式液位开关用于检测环境压强变化，所述差压式液位开关将压强变化转化为机械运动，当检测管道内的压强变化值大于预设值时，压差式液位开关闭合并输出信号。
[0013]一种液位检测系统，应用于槽体的预设液位检测，应用于上述的液位检测方法，包括：
[0014]若干的检测管道，一端伸入槽体内且端口与对应的预设液位平齐，另一端伸出槽体；
[0015]气体供应源，与检测管道的伸出槽体的一端连接，用于向检测管道通入流向槽体内的检测气体；
[0016]若干的液位开关，分别与若干的检测管道一一连通，用于当对应检测管道内的压强变化值大于预设值时闭合并输出对应的液位抵达信号；
[0017]控制器，与液位开关电性连接，用于处理液位开关输入的液位抵达信号并输出槽体液位抵达对应预设液位的图像信号。
[0018]在本申请可选的实施例中，所述槽体设置有用于输入溶液的输入管和用于排出溶液的排液管。
[0019]在本申请可选的实施例中，所述若干的检测管道沿槽体的侧壁并排设置。
[0020]在本申请可选的实施例中，所述若干的检测管道按深入槽体的深度从低到高依次排列。
[0021]在本申请可选的实施例中，所述检测管道的材质为PFA。
[0022]本专利技术公开的一种液位检测方法及其检测系统的有益效果是：通过向若干的检测管道通入一定流速的检测气体流向槽体，检测气体从检测管道流向槽体内。当槽体内的液位没过一个预设液位时，其预设液位的对应检测管道在槽体内的端口被液面封住，对应检测管道内的检测气体压强升高，对应的液位开关导通并向控制器输入对应的液位抵达信号，控制器接收到液位开关的信号后输出槽体液位抵达对应预设液位的图像信号，完成一个预设液位的液位检测。通过设置多个预设液位，可以检测不同的预设液位，从而实现槽体的预设液位检测，通过向检测管道输入检测气体，液面没过槽体内的检测管道端口而使检测管道内的压强升高，再通过液位开关因压强升高而导通实现信号输出，有效提高槽体内预设液面的液位检测准确性。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术一种液位检测方法的流程图；
[0025]图2为本专利技术一种液位检测系统的结构示意图。
[0026]附图标号：10、槽体；20、检测管道；30、液位开关；40、控制器；50、气体供应源。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、
“
右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0030]在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0031]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连通”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0032]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0033]以下结合本说明书的附图1
‑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液位检测方法，应用于槽体的预设液位检测，其特征在于，所述槽体设置有若干的检测管道，每个所述检测管道开口朝向液面下降方向且每个所述检测管道端口与对应所述预设液位平齐，每个检测管道内设置有外界压强变化一定值而导通的液位开关，所述液位开关连接有控制器，液位检测方法包括如下步骤：向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体；当槽体内的液位没过一个预设液位时，检测管道内的气体压强增大使液位开关导通，液位开关向控制器输入对应的液位抵达信号；控制器接收到液位抵达信号后输出槽体液位抵达对应预设液位的图像信号。2.根据权利要求1所述的一种液位检测方法，其特征在于，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的气体中，检测气体的流速范围为0.2m/s～0.6m/s。3.根据权利要求2所述的一种液位检测方法，其特征在于，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体中，通入检测管道内的气体为惰性气体。4.根据权利要求3所述的一种液位检测方法，其特征在于，所述步骤向每个所述检测管道通持续通入一定流速的检测气体流向槽体中，通入检测管道内的气体为氮气。5.根据权利要求4所述的一种液位检测方法，其特征在于，所述液位开关为差压式液位开关，所述差压式液位...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文正，杨云春，郭鹏飞，陆原，张拴，王晨星，范建国，陈英明，
申请(专利权)人：赛莱克斯微系统科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：