光学滤光器及其制造方法、以及杀菌装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种抑制透过波长240nm～320nm的紫外线并且能够有效透过波长220nm～225nm的紫外线的光学滤光器。本发明专利技术的光学滤光器1具有透明基材2和设置在透明基材2上且含有氧化铪的电介质多层膜3，入射角为0

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学滤光器及其制造方法、以及杀菌装置


[0001]本专利技术涉及能够选择性透过特定波长域的光的光学滤光器和该光学滤光器的制造方法、以及使用该光学滤光器的杀菌装置。

技术介绍

[0002]目前能够选择性透过特定波长域的光的光学滤光器在各种用途中广泛使用。作为这样的光学滤光器，已知有使用电介质膜的带通滤光器。
[0003]例如在下述专利文献1中公开一种形成为对波长250nm以下的特定紫外光的透光率达到最大的带通滤光器。在专利文献1的带通滤光器中，由电介质膜构成的空腔(cavity)层的上下被金属薄膜覆盖。在专利文献1中记载了上述金属薄膜为带通滤光器的可见域波长的光的透光率达到10％以下的膜厚。此外，还记载了上述空腔层是由电介质膜构成的层，作为电介质可以使用二氧化硅、氟化镧、氟化镁、氧化铝、氧化铪等。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2013－068885号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术问题
[0008]但是，在附着于皮肤等的细菌和病毒的杀菌处理等的利用紫外线的杀菌处理中，使用发出波长220nm～225nm的紫外线的准分子灯等。然而，准分子灯存在还发出些许对人体有害的波长240nm～320nm的紫外线的问题。
[0009]即使在使用专利文献1那样的带通滤光器的情况下，也难以充分抑制这种波长240nm～320nm的紫外线的透过。特别是想要抑制透过波长240nm～320nm的紫外线时，另一方面，难以使波长220nm～225nm的紫外线充分透过，因此，存在难以高水平兼顾对人体有害的紫外线的透过抑制与对杀菌处理有用的紫外线的高效率透过的问题。
[0010]本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制透过波长240nm～320nm的紫外线并且有效透过波长220nm～225nm的紫外线的光学滤光器和该光学滤光器的制造方法、以及使用该光学滤光器的杀菌装置。
[0011]用于解决技术问题的技术方案
[0012]本专利技术的光学滤光器的特征在于，具有透明基材和设置在上述透明基材上且含有氧化铪的电介质多层膜，入射角为0
°
时在波长220nm～225nm的分光透光率的最小值为50％以上，入射角为0
°
时在波长240nm～320nm的分光透光率的最大值为5％以下。
[0013]在本专利技术中，优选上述电介质多层膜包含立方晶系氧化铪结晶。
[0014]在本专利技术中，优选在X射线衍射测定中，来自立方晶系氧化铪结晶的(1 1 1)结晶面所致的衍射峰比来自单斜晶系氧化铪结晶的(－11 1)结晶面所致的衍射峰大。
[0015]在本专利技术中，优选上述电介质多层膜具有折射率相对高的高折射率膜和折射率相
对低的低折射率膜，上述高折射率膜为含有上述氧化铪的膜。更优选上述低折射率膜为含有氧化硅的膜。
[0016]在本专利技术中，优选上述电介质多层膜的最外层为含有上述氧化铪的膜。更优选上述最外层的厚度为1nm以上、10nm以下。
[0017]在本专利技术中，优选入射角为30
°
时波长222nm的分光透光率T
30
与入射角为0
°
时波长222nm的分光透光率T0之比(T
30
/T0)为0.5以上。
[0018]在本专利技术中，优选上述电介质多层膜具有折射率相对高的高折射率膜和折射率相对低的低折射率膜，上述高折射率膜的总厚度t
H
与上述低折射率膜的总厚度t
L
之比(t
H
/t
L
)为0.2以上。更优选上述高折射率膜的总厚度t
H
与上述低折射率膜的总厚度t
L
之比(t
H
/t
L
)为0.5以上。
[0019]在本专利技术中，优选入射角为0
°
时在波长220nm～225nm的分光透光率的最小值为50％以上，在波长237nm～280nm的分光透光率的最大值为10％以下。
[0020]在本专利技术中，优选入射角为40
°
时在波长237nm～280nm的分光透光率的最大值为20％以下。
[0021]本专利技术的光学滤光器的制造方法是依据本专利技术构成的光学滤光器的制造方法，其特征在于，包括：通过溅射法，将含有氧化铪的电介质多层膜在透明基材上进行成膜，得到带膜透明基材的工序；和在500℃以上的温度对上述带膜透明基材进行加热处理的工序。
[0022]在本专利技术中，优选对于上述带膜透明基材的加热处理的温度为800℃以下。
[0023]本专利技术的杀菌装置是用于对处理对象微生物进行灭活处理的杀菌装置，其特征在于，具有：发出光的波长位于波长190nm～230nm的波长域的光源；和依据本专利技术构成的光学滤光器。
[0024]专利技术的效果
[0025]根据本专利技术能够提供一种能够抑制透过波长240nm～320nm的紫外线并且有效透过波长220nm～225nm的紫外线的光学滤光器和该光学滤光器的制造方法、以及使用该光学滤光器的杀菌装置。
附图说明
[0026]图1是表示本专利技术的第一实施方式涉及的光学滤光器的示意截面图。
[0027]图2是表示实施例2和比较例1中所得到的光学滤光器的X射线衍射谱的图。
[0028]图3是表示实施例2和比较例1中所得到的光学滤光器的透射光谱的图。
[0029]图4是表示本专利技术的第二实施方式涉及的光学滤光器的示意截面图。
[0030]图5是表示实施例5中所得到的光学滤光器的氢氟酸浸渍前后的透射光谱的图。
[0031]图6是表示实施例8中所得到的光学滤光器的氢氟酸浸渍前后的透射光谱的图。
[0032]图7是表示本专利技术的一个实施方式涉及的杀菌装置的示意图。
[0033]图8是表示实施例18中所得到的光学滤光器的各入射角时的透射光谱的图。
具体实施方式
[0034]以下对优选实施方式进行说明。但是以下实施方式仅为例示，本专利技术不限定于以下实施方式。并且，在各图中有时用相同符号参照具有实质上相同功能的部件。
[0035][第一实施方式][0036](光学滤光器)
[0037]图1是表示本专利技术的第一实施方式涉及的光学滤光器的示意截面图。如图1所示，光学滤光器1具有透明基材2和电介质多层膜3。在透明基材2上设置有电介质多层膜3。
[0038]在本实施方式中，透明基材2具有矩形板状的形状。但是透明基材2也可以具有例如圆板状等形状，其形状没有特别限定。
[0039]透明基材2的厚度没有特别限定，能够根据光透光率等适宜设定。透明基材2的厚度能够设为例如0.1mm～30mm左右。
[0040]透明基材2优选为在光学滤光器1的使用波长域中透明的基材。更具体而言，透明基材2优选在波长220nm～225nm的紫外波长域中的平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学滤光器，其特征在于具有：透明基材；和设置在所述透明基材上且含有氧化铪的电介质多层膜，入射角为0
°
时在波长220nm～225nm的分光透光率的最小值为50％以上，入射角为0
°
时在波长240nm～320nm的分光透光率的最大值为5％以下。2.如权利要求1所述的光学滤光器，其特征在于：所述电介质多层膜包含立方晶系氧化铪结晶。3.如权利要求1或2所述的光学滤光器，其特征在于：在X射线衍射测定中，来自立方晶系氧化铪结晶的(1 1 1)结晶面所致的衍射峰比来自单斜晶系氧化铪结晶的(－1 1 1)结晶面所致的衍射峰大。4.如权利要求1～3中任一项所述的光学滤光器，其特征在于：所述电介质多层膜具有折射率相对高的高折射率膜和折射率相对低的低折射率膜，所述高折射率膜为含有所述氧化铪的膜。5.如权利要求4所述的光学滤光器，其特征在于：所述低折射率膜为含有氧化硅的膜。6.如权利要求1～5中任一项所述的光学滤光器，其特征在于：所述电介质多层膜的最外层为含有所述氧化铪的膜。7.如权利要求6所述的光学滤光器，其特征在于：所述最外层的厚度为1nm以上、10nm以下。8.如权利要求1～7中任一项所述的光学滤光器，其特征在于：入射角为30
°
时波长222nm的分光透光率T
30
与入射角为0
°
时波长222nm的分光透光率T0之比(T
30
/T0)为0.5以上。9.如权利要求1～8中任一项所述的光学滤光器，其特征在于：所述电介质多层膜具有折射率相对高的高折射率膜和折射率相对低的低折射率...

【专利技术属性】
技术研发人员：今村努，佐原启一，中室友良，伊村正明，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：