光学检查装置以及利用其的检查方法制造方法及图纸

提供一种光学检查装置以及利用其的检查方法。一实施例涉及的光学检查装置包括：第一光源，向检查对象体照射光；透明膜，位于所述检查对象体与所述第一光源之间；第一光束分离器，将入射的光分割为第一光和第二光；第一相机，位于所述第一光朝向的末端；以及第二相机，位于所述第二光朝向的末端，所述第一相机和所述第二相机具有彼此不同的焦点面。述第二相机具有彼此不同的焦点面。述第二相机具有彼此不同的焦点面。

【技术实现步骤摘要】
光学检查装置以及利用其的检查方法


[0001]本公开涉及光学检查装置以及利用其的检查方法。

技术介绍

[0002]喷墨装置包括具有喷出墨液的喷嘴的喷墨头部。为了精密地控制喷出到基板上的墨滴，需要管理喷墨装置。为了管理喷墨装置，需要对于喷墨头部的喷嘴状态、从各喷墨头部喷出的墨滴的弹落状态等的信息，并由此可以补正喷墨装置的喷墨头部。

技术实现思路

[0003]各实施例用于同时且容易地检查喷墨头部的喷嘴状态和墨滴状态。
[0004]一实施例涉及的光学检查装置包括：第一光源，向检查对象体照射光；透明膜，位于所述检查对象体与所述第一光源之间；第一光束分离器，将入射的光分割为第一光和第二光；第一相机，位于所述第一光朝向的末端；以及第二相机，位于所述第二光朝向的末端，所述第一相机和所述第二相机具有彼此不同的焦点面。
[0005]可以是，所述第一光源包括环形光源。
[0006]可以是，所述光学检查装置还包括：远心透镜，位于所述第一光源与所述第一光束分离器之间。
[0007]可以是，所述光学检查装置还包括：第二光源，向所述检查对象体照射光，所述第二光源包括同轴光源。
[0008]可以是，所述光学检查装置还包括：第二光束分离器，位于所述第一光源与所述第一光束分离器之间，所述第二光束分离器构成为将来自所述第二光源的光朝向所述远心透镜侧射出。
[0009]可以是，所述第一相机和所述第二相机中的至少一个的焦点深度在所述检查对象体与所述透明膜之间的间隔的1/4以下。
[0010]可以是，所述检查对象体与所述透明膜之间的所述间隔大于0，且具有100微米至1000微米之间的范围。
[0011]可以是，所述检查对象体包括：喷墨头部，包括多个喷嘴所处的喷嘴面，所述第一相机拍摄的图像包括比落到所述透明膜上的墨滴的图像鲜明的所述喷嘴面的图像，所述第二相机拍摄的图像包括比所述喷嘴面的图像鲜明的落到所述透明膜上的所述墨滴的图像。
[0012]可以是，所述第一相机其焦点面位于所述喷嘴面，所述第二相机其焦点面位于所述透明膜或所述透明膜上的所述墨滴。
[0013]可以是，所述喷嘴面具有反射性。
[0014]可以是，所述第一相机和所述第二相机中的至少一个包括区域扫描相机或者线扫描相机。
[0015]可以是，所述透明膜包括PET膜，并且所述透明膜的厚度是30微米至300微米。
[0016]一实施例涉及的光学检查装置包括：透明膜，与检查对象体间隔开；环形光源，位
于所述透明膜的下方；第一光束分离器，位于所述环形光源的下方，并且将入射的光分割为第一光和第二光；第一相机，位于所述第一光朝向的末端；以及第二相机，位于所述第二光朝向的末端，所述第一相机其焦点面位于所述检查对象体，并且所述第二相机其焦点面位于所述透明膜。
[0017]可以是，所述光学检查装置还包括：远心透镜，位于所述环形光源与所述第一光束分离器之间。
[0018]可以是，所述光学检查装置还包括：同轴光源，向所述检查对象体照射光；以及第二光束分离器，构成为将来自所述同轴光源的光朝向所述远心透镜侧射出。
[0019]可以是，所述第一相机和所述第二相机中的至少一个的焦点深度在所述检查对象体与所述透明膜之间的间隔的1/4以下。
[0020]可以是，所述检查对象体包括：喷墨头部，包括多个喷嘴所处的喷嘴面，所述喷嘴面具有反射性。
[0021]一实施例涉及的检查方法包括：向检查对象体以及在所述检查对象体的下方与所述检查对象体间隔开的透明膜照射来自第一光源的光的步骤；通过第一相机拍摄从所述检查对象体反射的光的一部分的步骤；以及通过第二相机拍摄从所述透明膜反射的光的一部分的步骤，所述第一相机和所述第二相机具有彼此不同的焦点面。
[0022]可以是，所述检查对象体包括：喷墨头部，包括多个喷嘴所处的喷嘴面，所述第一相机拍摄的图像包括比落到所述透明膜上的墨滴的图像鲜明的所述喷嘴面的图像，所述第二相机拍摄的图像包括比所述喷嘴面的图像鲜明的落到所述透明膜上的所述墨滴的图像。
[0023]可以是，所述检查方法还包括：分析所述第一相机拍摄的图像以及所述第二相机拍摄的图像，从而生成对于所述喷嘴的位置、所述喷嘴的状态、所述墨滴的位置和所述墨滴的状态的信息的步骤。
[0024](专利技术效果)
[0025]根据各实施例，可以同时且容易地检查喷墨头部的喷嘴状态和墨滴状态。
附图说明
[0026]图1表示一实施例涉及的光学检查装置以及喷墨头部；
[0027]图2表示从一实施例涉及的喷墨头部使墨液滴落的状态；
[0028]图3表示一实施例涉及的光学检查装置以及喷墨头部；
[0029]图4表示一实施例涉及的喷墨装置的喷墨头部以及未滴落墨液的透明膜；
[0030]图5表示一实施例涉及的光学检查装置拍摄了图4所示的喷墨头部的喷嘴面以及透明膜的图像；
[0031]图6表示一实施例涉及的喷墨装置的喷墨头部以及滴落了墨液的透明膜；
[0032]图7表示一实施例涉及的光学检查装置拍摄了图6所示的喷墨头部的喷嘴面以及透明膜的图像；
[0033]图8重叠地表示了图7所示的喷墨头部的喷嘴面的图像和透明膜上的墨滴的图像。
[0034](符号说明)
[0035]100：喷墨头部；110：喷嘴；120：喷嘴面；200：透明膜；300：墨滴；300d：墨液；410：第一相机；420：第二相机；430：光束分离器；430a：第一光束分离器；430b：第二光束分离器；
500、600：光源；700：远心透镜；1000、1000a：光学检查装置。
具体实施方式
[0036]以下，参照附图，详细说明本专利技术的各实施例，使得本领域技术人员能够容易实施。本专利技术可以由各种不同的形态实现，并不限于在此说明的各实施例。
[0037]为了明确说明本专利技术，省略了与说明无关的部分，并且在整个说明书中对相同或类似的构成要素赋予相同的符号。
[0038]此外，在附图中，为了便于说明，任意示出各构成的大小和厚度，本专利技术并不一定限于图示的情况。在附图中，为了明确表示各层和区域而放大表示了厚度。此外，在附图中，为了便于说明，夸张地示出了部分层和区域的厚度。
[0039]此外，层、膜、区域、板等部分位于其他部分上或者上方时，不仅包括直接位于其他部分上的情况，还包括其间存在其他部分的情况。相反，某一部分直接位于其他部分上时，表示其间不存在其他部分。此外，位于成为基准的部分上或者上方是指位于成为基准的部分上或者下，并不一定表示朝向重力的相反方向侧位于上或者上方。
[0040]此外，在整个说明书中，某一部分包括某一构成要素时，在没有特别相反记载的情况下并不是排除其他构成要素，而是表示还可以包括其他构成要素。
[0041]此外，在整个说明书中，“平面上”是指俯视对象部分的情况，“剖面上”是指从侧方观察垂直截取对象部分的截本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学检查装置，包括：第一光源，向检查对象体照射光；透明膜，位于所述检查对象体与所述第一光源之间；第一光束分离器，将入射的光分割为第一光和第二光；第一相机，位于所述第一光朝向的末端；以及第二相机，位于所述第二光朝向的末端，所述第一相机和所述第二相机具有彼此不同的焦点面。2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其中，所述第一光源包括环形光源。3.根据权利要求2所述的光学检查装置，还包括：远心透镜，位于所述第一光源与所述第一光束分离器之间。4.根据权利要求3所述的光学检查装置，还包括：第二光源，向所述检查对象体照射光，所述第二光源包括同轴光源。5.根据权利要求4所述的光学检查装置，还包括：第二光束分离器，位于所述第一光源与所述第一光束分离器之间，所述第二光束分离器构成为将来自所述第二光源的光朝向所述远心透镜侧射出。6.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述第一相机和所述第二相机中的至少一个的焦点深度在所述检查对象体与所述透明膜之间的间隔的1/4以下。7.根据权利要求6所述的光学检查装置，其中，所述检查对象体与所述透明膜之间的所述间隔大于0，且具有100微米至1000微米之间的范围。8.根据权利要求7所述的光学检查装置，其中，所述检查对象体包括：喷墨头部，包括多个喷嘴所处的喷嘴面，所述第一相机拍摄的图像包括比落到所述透明膜上的墨滴的图像鲜明的所述喷嘴面的图像，所述第二相机拍摄的图像包括比所述喷嘴面的图像鲜明的落到所述透明膜上的所述墨滴的图像。9.根据权利要求8所述的光学检查装置，其中，所述第一相机其焦点面位于所述喷嘴面，所述第二相机其焦点面位于所述透明膜或所述透明膜上的所述墨滴。10.根据权利要求8所述的光学检查装置，其中，所述喷嘴面具有反射性。11.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述第一相机和所述第二相机中的至少一个包括区域扫描相机或者线扫描相机。12.根据权利要求2所述的光学检查装置，其中，所述透明膜包括PET...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞炡雄，平户克幸，铃木俊成，闵淸玩，韩政洹，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：