一种用于气体传感器的MEMS微热板制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于气体传感器的MEMS微热板，其包括：衬底，其具有正面和背面；空腔，其自所述衬底的正面延伸至所述衬底内；结构层，其位于所述衬底的正面，且所述结构层包括自所述衬底的正面向上层叠的支撑层、加热层、隔离层、检测层和保护层；其中，所述加热层包括加热丝和与所述加热丝两端电连接的一对加热电极；所述检测层包括叉指电极和与所述叉指电极两端电连接的一对检测电极。与现有技术相比，本实用新型专利技术具有低应力，长寿命，加热均匀，尺寸更小，功耗更低，制作简单成本低的优势。势。势。

【技术实现步骤摘要】
一种用于气体传感器的MEMS微热板


[0001]本技术涉及传感器技术和微机电系统
，尤其涉及一种用于气体传感器的MEMS微热板。

技术介绍

[0002]随着社会智能化的发展，气体传感器在民用领域、工业领域以及环境监测领域都有着重要的应用；气体传感器的气敏材料要正常工作往往要依托于一个加热部件，我们称之为微热板。以MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)技术加工的微热板具有小型化、一致性好、低功耗、低成本的优势。
[0003]但是，MEMS技术制作的微热板还处在多方研发阶段，目前各方研制的微热板有的为三明治式层叠结构，但是层间应力难以均匀对称，导致微热板在高温工作环境下寿命较短；有的为加热电极和测量电极同层放置，但这将导致微热板受热不均，不仅功耗高，性能也欠佳。
[0004]因此，有必要提出一种技术方案来克服上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的之一在于提供一种用于气体传感器的MEMS微热板，其具有低应力，长寿命，加热均匀，尺寸更小，功耗更低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于气体传感器的MEMS微热板，其特征在于，其包括：衬底，其具有正面和背面；空腔，其自所述衬底的正面延伸至所述衬底内；结构层，其位于所述衬底的正面，且所述结构层包括自所述衬底的正面向上层叠的支撑层、加热层、隔离层、检测层和保护层；其中，所述加热层包括加热丝和与所述加热丝两端电连接的一对加热电极；所述检测层包括叉指电极和与所述叉指电极两端电连接的一对检测电极。2.根据权利要求1所述的用于气体传感器的MEMS微热板，其特征在于，所述加热丝悬置于所述空腔上方，所述一对加热电极位于所述空腔外侧；所述叉指电极悬置于所述空腔上方，所述一对检测电极位于所述空腔外侧。3.根据权利要求2所述的用于气体传感器的MEMS微热板，其特征在于，所述加热层还包括第一桥腿和第二桥腿，所述第一桥腿和第二桥腿悬置于所述空腔上方且位于所述加热丝外侧，其中，所述加热丝的一端经所述第一桥腿与一个所述加热电极电连接，其另一端经所述第二桥腿与另一个所述加热电极电连接；所述检测层还包括第三桥腿和第四桥腿，所述第三桥腿和第四桥腿悬置于所述空腔上方且位于所述叉指电极外侧，其中，所述叉指电极的一端经所述第三桥腿与一个所述检测电极电连接，其另一端经所述第四桥腿与另一个所述检测电极电连接。4.根据权利要求3所述的用于气体传感器的MEMS微热板，其特征在于，所述一对加热电极分别位于芯片的一对对角上；所述一对检测电极分别位于所述芯片的另一对对角上。5.根据权利要求3所述的用于气体传感器的MEMS微热板，其特征在于，所述第一桥腿、第二桥腿、加热丝和一对加热电极是通过图形化所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马清杰，
申请(专利权)人：苏州跃芯微传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：