一种气相沉积炉制造技术

本发明专利技术公开一种气相沉积炉包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。本发明专利技术通过特殊设计的炉内带料板结构能够保证物料在炉管内部随着炉体转动实现轴与向径向同步轨迹运动；微负角度设计与带料板结合能够实现物料在炉内来回流转，使物料受热与炉内气氛接触的相对均匀，保证物料一致性；通过进气的花洒式结构，可以保障气体与物料的接触更加充分，实现沉积的均匀性。实现沉积的均匀性。实现沉积的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉


[0001]本专利技术涉及热处理设备
，具体为一种气相沉积炉。

技术介绍

[0002]气相沉积技术是一种发展迅速、应用广泛的表面成膜技术，它不仅可以用来制备各种特殊力学性能（如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等）的薄膜涂层，而且还可以用来制备各种功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。在锂电池材料的处理中也广泛使用，比如进行碳、硅或其他成本的气相沉积。
[0003]在锂电池领域气相沉积主要应用于粉状原材料，如何保障气相沉积得充分、均匀、高效是生产过程中需要解决的主要问题，特别是对于石墨等较为轻质的原材料，如何避免原材料在沉积过程中成团导致的沉积不均匀是生产中的难点。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种气相沉积炉，以解决现有技术中存在的问题。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术的技术方案提供了一种气相沉积炉，包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。
[0006]优选的，所述气相沉积炉还包括有致动杆，所述炉体上框架下部一端同炉体下座上部一端铰接，另一端同致动杆一端铰接，所述致动杆的另一端同炉体下座另一端铰接。
[0007]优选的，所述致动杆为电动推杆、液压油缸中任一种，所述致动杆为一根或多根，沿回转炉体轴线对称分布。
[0008]优选的，所述回转炉体设置有圆台状腔体的出料端，其轴线同所述回转炉体轴向重合，在所述出料端内壁上设置有至少一个同出料端轴线存在夹角的出料带料板。
[0009]优选的，所述对称搅拌带料板组包括中间带料板和对称设置在中间带料板两侧的两端带料板；所述中间带料板平行于回转炉体的轴线，所述两端带料板同回转炉体的轴线设置有夹角。
[0010]优选的，所述两端带料板包括多个带料子板，所述带料子板相互平行设置，沿回转炉体周向方向间隔布置。
[0011]优选的，所述带料子板间隔角度为固定角度或相邻两块带料子板中，其中一块带料子板底边最高点在上一块带料子板底边最低点和中点之间。
[0012]优选的，所述回转炉体还设置有进气管，所述进气管设置在回转炉体端部的轴线处，伸入到回转炉体内部，所述进气管为封闭的圆筒结构，侧面设置有多组进气孔。
[0013]本专利技术通过特殊设计的炉内带料板结构能够保证物料在炉管内部随着炉体转动实现轴与向径向同步轨迹运动； 微负角度设计与带料板结合能够实现物料在炉内来回流转，使物料受热与炉内气氛接触的相对均匀，保证物料一致性；通过进气的花洒式结构，可
以保障气体与物料的接触更加充分，实现沉积的均匀性。
[0014]为使本专利技术构思和其他目的、优点、特征及作用能更清楚易懂，将在下文具体实施方式中特举较佳实施例，并配合附图，作出详细展开说明。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本专利技术一种实施例的正面剖切示意图。
[0017]图2是本专利技术一种实施例的侧面示意图。
[0018]图3是本专利技术又一种实施例的回转炉体侧面示意图。
[0019]图4是本专利技术又一种实施例的回转炉体立体示意图。
[0020]图5是本专利技术又一种实施例的回转炉体剖切示意图。
[0021]图6是本专利技术再一种实施例的回转炉体立体示意图。
[0022]图7是本专利技术再一种实施例的回转炉体侧面示意图。
[0023]图8是本专利技术一种实施例的进气管示意图。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]如附图1所示，本专利技术所涉及的一种气相沉积炉包括回转炉体1、炉体上框架2、炉体下座3。
[0026]如附图1所示，所述回转炉体1沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架2上，一般通过设置在炉体上框架2的轴承同回转炉体1两端配合实现可转动连接，具体的连接结构为本领域内常见的，不是本申请保护内容。
[0027]所述炉体上框架2为金属结构的框型结构，所述炉体上框架2下部一端同炉体下座3上部一端铰接，另一端同致动杆21一端铰接，所述致动杆21的另一端同炉体下座3另一端铰接。
[0028]所述致动杆21为电动推杆、液压油缸中任一种，所述致动杆21为一根或多根，沿回转炉体1轴线对称分布。
[0029]通过致动杆21可以调整回转炉体1同水平面的角度，优选为
‑
5到15度，通过倾斜回转炉体1有利于沉积气体在炉体内的扩散，同时通过不同的调整回转炉体1的角度，有利于回转炉体1内物料的搅拌，有利于提升沉积的均匀性。
[0030]所述回转炉体1为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板11、至少一组对称搅拌带料板组12。通过带料板的设置，可以提高对原材料的搅拌效果和工作效率，有利于提高气相沉积的均匀性。所述带料板优选为金属板材，厚度根据回转炉体1
尺寸进行适应性选择，一般厚度在5cm以内，单块带料板长度在100cm以内，高度为回转炉体1内径的10%
‑
30%。所述带料板底面同回转炉体1内壁固定，其底面形状根据固定位置进行适应性选择，当带料板长度方向平行于回转炉体1轴线时，其底面为平面，当带料板长度方向同回转炉体1轴线存在夹角时，其底面为曲面。其同底面相对的顶面，厚度方向上两个侧面可以为平面也可以为曲线。为便于加工，优选为平面，相应的所述带料板顶部在厚度方向的投影可以矩形上部（附图3所示的中间带料板121）或内角为钝角的梯形上部（附图5所示的两端带料板122）。
[0031]所述出料带料板11设置在回转炉体1的出料端内壁上，如附图3、4所示，所述回转炉体1的出料端15为圆台状腔体，其轴线同所述回转炉体1轴向重合，在所述出料端15内壁上设置有至少一个同出料端轴线存在夹角的出料带料板11，附图中出料带料板11为3个，均匀分布。
[0032]通过圆台状出料端15的设置可以有效地避免气相沉积过程中物料在炉体转动下向外流动或堆积在一侧，可以为提高搅拌效果，加快炉体转动速度。在出料时，配合上述炉体上框架2、炉体下座3、致动杆21，通过倾斜回转炉体1实现出料。
[0033]如附图3、4、5所示，所述对称搅拌带料板组12包括中间带料板121和对称设置在中间带料板121两侧的两端带料板122。
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉，其特征在于，包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，所述带料板包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。2.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉还包括有致动杆，所述炉体上框架下部一端同炉体下座上部一端铰接，另一端同致动杆一端铰接，所述致动杆的另一端同炉体下座另一端铰接。3.根据权利要求2所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述致动杆为电动推杆、液压油缸中任一种，所述致动杆为一根或多根，沿回转炉体轴线对称分布。4.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述回转炉体设置有圆台状腔体的出料端，其轴线同所述回转炉体轴向重合，在所述出料端内壁上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜宁，张金来，王振，杨传昌，宋信信，叶天成，
申请(专利权)人：临沂东木窑炉设备有限公司，
类型：发明
国别省市：