一种利用红外纳秒激光在玻璃表面制造微通道的方法技术

本发明专利技术提供了一种利用红外纳秒激光在玻璃上制造微通道的新工艺方法，包括：步骤1：将靶材放置在水平工作台上，将待加工的透明玻璃片覆盖靶材上方，保证与靶材之间有一定间隙；步骤2：采用合适的激光加工参数照射在靶材上，在玻璃片的下表面制备金属沉积层；步骤3：将玻璃片翻转，带有沉积层的一面朝上，采用合适的激光参数，在玻璃表面的沉积层上烧蚀制备微通道；步骤4：将适量酸液滴在玻璃表面的沉积层上，几分钟后用清水冲洗，然后放在无水乙醇中清洗，并干燥处理。本发明专利技术提出的利用红外纳秒激光在玻璃表面制备微通道的新工艺方法，加工效率较高，设备简单，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种利用红外纳秒激光在玻璃表面制造微通道的方法


[0001]本专利技术涉及微流体通道制备
，更具体地说，涉及一种利用红外纳秒激光在玻璃表面制造微通道的方法。

技术介绍

[0002]玻璃由于其透光性、耐腐蚀性、化学稳定性、绝缘性以及耐高温和热冲击性，在微纳米制造、微电子芯片、生物芯片、生物通道、微流体和光电子器件等应用中是非常重要的材料。微流体技术可应用于从生物学，化学到信息技术和光学等各个领域。在透明材料上制备高效的微通道刚好可以满足微流体技术发展的要求，其应用涉及到化学、生物、医学和检测分析等领域。
[0003]传统的微流道通过光刻和飞秒激光直接烧蚀制备，这些技术要求的设备精密且价格昂贵，制造的时间成本和经济成本都偏高。红外纳秒激光是目前应用最广泛的激光类型之一，但石英玻璃对1064nm的红外纳秒激光吸收率很低，无法实现材料去除。
[0004]专利CN111548023B公开了一种利用红光纳秒激光对玻璃表面微细加工的方法，该方法在玻璃材料表面涂敷一层金属辅料，利用辅料吸光率较高的特性，实现激光在涂敷层内部聚焦，有效克服了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用红外纳秒激光在玻璃上制造微通道的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将待加工的透明玻璃片覆盖在金属靶材上方，保证玻璃片与靶材之间有一定间隙；步骤2：激光照射在金属靶材上，在玻璃片的下表面形成金属沉积层；步骤3：将玻璃片翻转，带有沉积层的一面朝上，用激光在玻璃表面的沉积层上烧蚀制备微通道；步骤4：将玻璃表面的沉积层浸泡在酸液中，随后清洗并干燥处理。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1中，玻璃片与金属靶材之间的间隙为20～100μm。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述金属靶材为铜、钛、钛合金中的一种或两种以上。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1中，所述透明玻璃片是成分为硅酸盐复盐的玻璃片或石英玻璃片。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2中，所述激光波长为1064nm，脉宽为7ns，扫描速度为50～300mm/s，平均功率为16～20w，频率为20～50kHz，...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁良，卢斌，姜长城，黄华亮，冯万欣，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：