一种具有自动负压机构的真空度调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有自动负压机构的真空度调节装置，涉及真空度调节技术领域，包括抽气泵，抽气泵的一侧安装有进气管，抽气泵的另一侧安装有出气管，进气管的内部设置有第一开合组件，第一开合组件的一侧设置有第二开合组件，且第一开合组件和第二开合组件为相同结构组成的构件，第一开合组件与第二开合组件之间设置有内仓，第二开合组件包括固定安装在进气管内部的固定板，本实用新型专利技术解决了现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节的问题，本实用通过抽气泵、进气管、出气管、第一开合组件、第二开合组件、内仓的设置，实现了对光刻机内部进行调节的目的。实现了对光刻机内部进行调节的目的。实现了对光刻机内部进行调节的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自动负压机构的真空度调节装置


[0001]本技术涉及真空度调节
，具体为一种具有自动负压机构的真空度调节装置。

技术介绍

[0002]真空度调节是通过一个起调节作用的进气阀将气体从有压力状态调节成恒定的真空状态。如果氯瓶氯气耗尽或者在当水射器仍在正常运行的时候，氯瓶阀门意外关闭，这时会产生过高的真空度。
[0003]现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节，导致光刻机内部气压不够稳定，且现有的真空度调节装置不便于对管道进行保护，使管道容易发生损坏，导致管道内部气压发生不稳定的问题。
[0004]针对上述问题，为此，提出一种具有自动负压机构的真空度调节装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有自动负压机构的真空度调节装置，解决了
技术介绍
中现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节，导致光刻机内部气压不够稳定，且现有的真空度调节装置不便于对管道进行保护，使管道容易发生损坏，导致管道内部气压发生不稳定的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自动负压机构的真空度调节装置，包括抽气泵(1)，其特征在于：所述抽气泵(1)的一侧安装有进气管(2)，抽气泵(1)的另一侧安装有出气管(3)，进气管(2)的内部设置有第一开合组件(21)，第一开合组件(21)的一侧设置有第二开合组件(22)，且第一开合组件(21)和第二开合组件(22)为相同结构组成的构件，第一开合组件(21)与第二开合组件(22)之间设置有内仓(23)，第二开合组件(22)包括固定安装在进气管(2)内部的固定板(221)。2.根据权利要求1所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述固定板(221)的一侧设置有贴合板(222)，固定板(221)的一侧固定设置有连接块(223)，连接块(223)的一侧固定安装有电机(224)。3.根据权利要求2所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述电机(224)的输出端设置有圆盘(225)，圆盘(225)的上端设置有连接轴(2251)。4.根据权利要求2所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述贴合板(222)的一侧固定设置有连接板(2221)，连接板(2221)的一侧安装有连接环(2222)，且连接环(2222)安装有两组。5.根据权利要求4所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：两组所述的连接环(222...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘婷，陈项孟，
申请(专利权)人：苏开南京电力有限公司，
类型：新型
国别省市：