一种具有自动负压机构的真空度调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有自动负压机构的真空度调节装置，涉及真空度调节技术领域，包括抽气泵，抽气泵的一侧安装有进气管，抽气泵的另一侧安装有出气管，进气管的内部设置有第一开合组件，第一开合组件的一侧设置有第二开合组件，且第一开合组件和第二开合组件为相同结构组成的构件，第一开合组件与第二开合组件之间设置有内仓，第二开合组件包括固定安装在进气管内部的固定板，本实用新型专利技术解决了现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节的问题，本实用通过抽气泵、进气管、出气管、第一开合组件、第二开合组件、内仓的设置，实现了对光刻机内部进行调节的目的。实现了对光刻机内部进行调节的目的。实现了对光刻机内部进行调节的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自动负压机构的真空度调节装置


[0001]本技术涉及真空度调节
，具体为一种具有自动负压机构的真空度调节装置。

技术介绍

[0002]真空度调节是通过一个起调节作用的进气阀将气体从有压力状态调节成恒定的真空状态。如果氯瓶氯气耗尽或者在当水射器仍在正常运行的时候，氯瓶阀门意外关闭，这时会产生过高的真空度。
[0003]现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节，导致光刻机内部气压不够稳定，且现有的真空度调节装置不便于对管道进行保护，使管道容易发生损坏，导致管道内部气压发生不稳定的问题。
[0004]针对上述问题，为此，提出一种具有自动负压机构的真空度调节装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种具有自动负压机构的真空度调节装置，解决了
技术介绍
中现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部气压进行调节，导致光刻机内部气压不够稳定，且现有的真空度调节装置不便于对管道进行保护，使管道容易发生损坏，导致管道内部气压发生不稳定的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有自动负压机构的真空度调节装置，包括抽气泵，抽气泵的一侧安装有进气管，抽气泵的另一侧安装有出气管，进气管的内部设置有第一开合组件，第一开合组件的一侧设置有第二开合组件，且第一开合组件和第二开合组件为相同结构组成的构件，第一开合组件与第二开合组件之间设置有内仓，第二开合组件包括固定安装在进气管内部的固定板。
[0007]优选的，所述固定板的一侧设置有贴合板，固定板的一侧固定设置有连接块，连接块的一侧固定安装有电机。
[0008]优选的，所述电机的输出端设置有圆盘，圆盘的上端设置有连接轴。
[0009]优选的，所述贴合板的一侧固定设置有连接板，连接板的一侧安装有连接环，且连接环安装有两组。
[0010]优选的，两组所述的连接环之间转动设置有连接杆，连接杆的一端活动连接在连接轴上。
[0011]优选的，所述固定板的一侧设置有嵌合槽，且嵌合槽设置有两组。
[0012]优选的，所述贴合板滑动嵌合在两组所述的嵌合槽内部，固定板的内部开设有方孔，贴合板与方孔相匹配。
[0013]优选的，所述进气管的外侧设置有防护套，防护套的内部设置有第一电推杆和第二电推杆，第一电推杆的一端安装有一号弧形固定块。
[0014]优选的，所述第二电推杆的一端安装有二号弧形固定块，且一号弧形固定块和二
号弧形固定块为相同结构组成的构件。
[0015]优选的，所述二号弧形固定块和一号弧形固定块的位置分别位于进气管的两侧，一号弧形固定块的一侧安装有橡胶片。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0017]1、本技术提供的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，通过抽气泵、进气管、出气管、第一开合组件、第二开合组件、内仓的设置，实现了对光刻机内部进行调节的目的，解决了现有的真空度调节装置不便于对光刻机内部进行调节的问题。
[0018]2、本技术提供的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，通过防护套、第一电推杆、第二电推杆、一号弧形固定块、二号弧形固定块和橡胶片的设置，实现了对进气管进行保护的目的，解决了进气管容易遭到外界的损坏，导致进气管内部气压不稳定的问题。
附图说明
[0019]图1为本技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本技术的进气管结构示意图；
[0021]图3为本技术的第二开合组件结构示意图；
[0022]图4为本技术的图3A处放大结构示意图；
[0023]图5为本技术的嵌合槽和方孔结构示意图；
[0024]图6为本技术的防护套结构示意图。
[0025]图中：1、抽气泵；2、进气管；21、第一开合组件；22、第二开合组件；23、内仓；221、固定板；2211、嵌合槽；2212、方孔；222、贴合板；2221、连接板；2222、连接环；2223、连接杆；223、连接块；224、电机；225、圆盘；2251、连接轴；3、出气管；4、防护套；41、第一电推杆；411、一号弧形固定块；4111、橡胶片；42、第二电推杆；421、二号弧形固定块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]为进一步了解本技术的内容，结合附图对本技术作详细描述。
[0028]结合图1
‑
图3，本技术的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，包括抽气泵1，抽气泵1的一侧安装有进气管2，进气管2连接在光刻机的内部，抽气泵1的另一侧安装有出气管3，进气管2的内部设置有第一开合组件21，第一开合组件21的一侧设置有第二开合组件22，且第一开合组件21和第二开合组件22为相同结构组成的构件，第一开合组件21与第二开合组件22之间设置有内仓23，第二开合组件22包括固定安装在进气管2内部的固定板221。
[0029]下面结合实施例对本技术作进一步的描述。
[0030]实施例一：
[0031]结合图3
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图5，固定板221的一侧设置有贴合板222，固定板221的一侧固定设置有
连接块223，连接块223的一侧固定安装有电机224，电机224的输出端设置有圆盘225，圆盘225的上端设置有连接轴2251，贴合板222的一侧固定设置有连接板2221，连接板2221的一侧安装有连接环2222，且连接环2222安装有两组，两组的连接环2222之间转动设置有连接杆2223，连接杆2223的一端活动连接在连接轴2251上，固定板221的一侧设置有嵌合槽2211，且嵌合槽2211设置有两组，贴合板222滑动嵌合在两组的嵌合槽2211内部，固定板221的内部开设有方孔2212，贴合板222与方孔2212相匹配。
[0032]本实施例中，通过启动第二开合组件22中的电机224，电机224带动圆盘225转动，圆盘225带动连接轴2251转动，由于连接轴2251的上端连接了连接杆2223，连接杆2223的一端转动连接在两组的连接环2222之间，所以当连接轴2251转动时，连接杆2223会带动连接板2221进行移动，由于贴合板222滑动嵌合在两组的嵌合槽2211中，所以当连接板2221移动时，贴合板222会在两组的嵌合槽2211中滑动，从而将方孔2212打开，通过抽气泵1将内仓23中的气经过出气管3抽出，此时内仓23中变为负压，同理通过第一开合组件21中的电机224将第一开合组件21中的方孔2212打开，通过抽气泵1将光刻机中的气从进气管2中吸入，从出气管3中排出，从而将光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自动负压机构的真空度调节装置，包括抽气泵(1)，其特征在于：所述抽气泵(1)的一侧安装有进气管(2)，抽气泵(1)的另一侧安装有出气管(3)，进气管(2)的内部设置有第一开合组件(21)，第一开合组件(21)的一侧设置有第二开合组件(22)，且第一开合组件(21)和第二开合组件(22)为相同结构组成的构件，第一开合组件(21)与第二开合组件(22)之间设置有内仓(23)，第二开合组件(22)包括固定安装在进气管(2)内部的固定板(221)。2.根据权利要求1所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述固定板(221)的一侧设置有贴合板(222)，固定板(221)的一侧固定设置有连接块(223)，连接块(223)的一侧固定安装有电机(224)。3.根据权利要求2所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述电机(224)的输出端设置有圆盘(225)，圆盘(225)的上端设置有连接轴(2251)。4.根据权利要求2所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：所述贴合板(222)的一侧固定设置有连接板(2221)，连接板(2221)的一侧安装有连接环(2222)，且连接环(2222)安装有两组。5.根据权利要求4所述的一种具有自动负压机构的真空度调节装置，其特征在于：两组所述的连接环(222...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘婷，陈项孟，
申请(专利权)人：苏开南京电力有限公司，
类型：新型
国别省市：