固持机构、拆装装置、单晶炉、移动式及固定式拆装设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种固持机构、拆装装置、单晶炉、移动式及固定式拆装设备，固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件，其中：齿盘安装在安装支架上，齿盘驱动机构驱动齿盘相对于安装支架旋转；各齿轮均安装在安装支架上且与齿盘啮合；滑轨与齿轮一一对应设置，各个滑轨均安装在安装支架上并能够在安装支架上滑动，每个滑轨上均设有与齿轮啮合的齿条；固持组件与滑轨一一对应设置且均安装对应的滑轨的端部；齿盘旋转时经齿轮驱动各滑轨同步滑动，以带动各固持组件向中间靠拢或向四周分开。本实用新型专利技术通过齿盘、齿轮及滑轨构成的传动机构来驱动多个固持组件向中间靠拢或向四周分开以实施对目标物体的固持，提升了固持稳定度。提升了固持稳定度。提升了固持稳定度。

【技术实现步骤摘要】
固持机构、拆装装置、单晶炉、移动式及固定式拆装设备


[0001]本技术涉及单晶炉领域，具体地说是一种固持机构、拆装装置、单晶炉及移动式拆装设备。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，其用石墨坩埚将多晶硅等多晶材料熔化用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]为了对坩埚内的硅液进行保温，坩埚与单晶炉炉壁间一般设置有环形的单晶炉保温层。保温层经过长时间使用后，需要进行更换。除此之外，在对单晶炉的内部结构实施维护时，需要将单晶炉炉盖从单晶炉炉壁上移除后，再将单晶炉炉壁从底座上拆除。
[0004]常规的拆装装置一般采用夹爪件夹持住待拆装对象以实施对待拆装对象的拆装，随着单晶炉保温层、单晶炉炉盖或炉壁的尺寸及重量的逐渐增大，人工作业已经难以完成对上述各单晶炉部件的拆装，从而影响了对单晶炉部件的拆装效率。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种固持机构，其详细技术方案如下：
[0006]一种固持机构，包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件，其中：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固持机构，其特征在于，所述固持机构包括安装支架、齿盘、齿盘驱动机构、N个齿轮、N个滑轨及N个固持组件，其中：所述齿盘安装在所述安装支架上且与所述齿盘驱动机构的驱动端传动连接，所述齿盘驱动机构用于驱动所述齿盘相对于所述安装支架旋转；各所述齿轮均安装在所述安装支架上且均与所述齿盘啮合；所述滑轨与所述齿轮一一对应设置，各个所述滑轨均安装在所述安装支架上并被配置为能够在所述安装支架上滑动，每个所述滑轨上均设有与对应的所述齿轮啮合的齿条；所述固持组件与所述滑轨一一对应设置，每个所述固持组件均安装在与所述固持组件对应的滑轨的端部；所述齿盘旋转时经各个所述齿轮驱动各个所述滑轨同步滑动，以带动各个所述固持组件向中间靠拢或向四周分开，以固持目标物体；N为≥2的整数。2.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述安装支架上设置有N个与N个所述滑轨一一对应的滑槽，所述滑轨滑动安装在对应的所述滑槽内。3.如权利要求2所述的固持机构，其特征在于，所述滑槽为燕尾型滑槽，所述滑轨为与所述燕尾型滑槽匹配的燕尾型滑轨。4.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持机构还包括轴承座及轴承，其中，所述轴承座固定连接在所述安装支架上，所述轴承套设在所述轴承座上，所述齿盘套设在所述轴承上。5.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，N取值为3，其中，3个所述齿轮按正三角形均匀分布在所述安装支架上，3个所述滑轨的延长线相交于所述齿盘的中心，相邻两个所述滑轨之间的夹角为120
°
。6.如权利要求1所述的固持机构，其特征在于，所述固持组件包括安装部和固持部，其中，所述安装部的上端固定连接在对应的所述滑轨上，所述固持部安装在所述安装部上。7.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部为固持板，所述固持板的内侧表面为固持面，N个所述固持板向中间靠拢时夹紧位于N个所述固持板内侧的目标物体；和/或所述固持板的外侧表面为固持面，N个所述固持板向四周分开时撑紧位于N个所述固持板外侧的目标物体。8.如权利要求7所述的固持机构，其特征在于，所述固持面为弧形曲面，所述固持面上敷设有缓冲层。9.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部为滚筒夹爪，所述滚筒夹爪套设于所述安装部上且能绕所述安装部转动，所述滚筒夹爪的周壁上设有防滑结构。10.如权利要求6所述的固持机构，其特征在于，所述固持部的底部设置有延伸出所述固持部的支撑部，所述支撑部相对于所述固持部可旋转调节，所述支撑部用于从下方支撑目标物体。11.如权利要求6所述的固持机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄剑雄，倪晋杰，顾彬彬，周旺超，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：新型
国别省市：