【技术实现步骤摘要】
一种探针台显微镜调节装置
[0001]本专利技术涉及探针台显微镜调节
，特别是涉及一种探针台显微镜调节装置。
技术介绍
[0002]通常探针台显微镜通过三点支撑的方式悬挂在探针台的横梁上，用于测量产品载台上的待测产品，通过调节三点支撑的高度来达到显微镜轴线与产品载台垂直的目的。
[0003]上述三点支撑的连接方式，在调节任意一个支撑点的高度时会同时引起俯仰角和滚转角的变化，因此增加了将显微镜的轴线调节至与产品载台垂直的难度，需要反复调节支撑点的高度才能达到调节目标，因此调节效率低，调节难度高。
技术实现思路
[0004]本专利技术的一个目的是提供一种探针台显微镜调节装置，提高了显微镜齐焦调节的效率并降低了调节难度。
[0005]本专利技术的另一个目的是保证整个探针台的测试作用不受低频振动的影响。
[0006]本专利技术进一步的一个目的是要在满足第一调节板的调节需求的同时实现第一调节板和第一连接板的固定。
[0007]本专利技术更进一步的一个目的是要提高调节的精度。>[0008]特别地本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针台显微镜调节装置，用于将显微镜调节至其轴线与产品载台垂直，其特征在于，所述探针台显微镜调节装置包括：固定架，固定设置在操作台处；第一调节机构，包括第一连接板和第一调节板，所述第一连接板与所述固定架固定连接，所述第一调节板配置成可相对于所述第一连接板绕第一轴线转动；以及第二调节机构，包括第二连接板和第二调节板，所述第二连接板直接或间接地与所述第一调节板连接，所述第二调节板与所述显微镜固定连接，所述第二调节板配置成可相对于所述第二连接板绕第二轴线转动，所述第一轴线和所述第二轴线均水平布置且互相垂直。2.根据权利要求1所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括：第一转轴，穿设于所述第一连接板和所述第一调节板之间；第一顶出机构，其一端与所述第一调节板相连，用于施加促使所述第一调节板绕所述第一转轴转动的作用力；所述第一连接板和第一调节板之间还通过多个第一紧固件相连，且多个所述第一紧固件配置成在所述第一调节板进行转动调节时拧松，在所述第一调节板调节至目标位置时拧紧。3.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一连接板处设有第一螺纹孔，所述第一调节板处设有第一安装孔，所述第一安装孔的尺寸大于所述螺纹孔的尺寸。4.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一顶出机构包括：第一固定板，与所述第一连接板固定连接，所述第一固定板处还设有第二螺纹孔；第一调节件，与所述第二螺纹孔配合且其一端与所述第一调节板抵接。5.根据权利要求2所述的探针台显微镜调节装置，其特征在于，所述第一转轴和所述第一顶出机构分别位于所述第一调节板的两端。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，谢智寅，吴永红，唐仁伟，赵山，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。