一种坩埚清洗槽及坩埚清洗流水线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚清洗槽，包括敞口的槽体，槽体具有竖向的第一槽壁；还包括挡板和进液机构；挡板配置为抵接坩埚锅口的至少底端；挡板通过横移驱动机构和升降驱动机构与第一槽壁连接；横移驱动机构配置为驱动挡板抵接和脱离坩埚，升降机构配置为驱动挡板随坩埚同步升降；进液机构配置为向坩埚内进液。该坩埚清洗槽结构合理，在载有坩埚的托架下行至清洗槽过程中，挡板抵挡于锅口的至少底端后随坩埚下行，进液机构向坩埚内进液，利用坩埚中水的重力抵消至少部分清洗液的粘滞阻力，降低锅口上翘幅度。本实用新型专利技术还公开了一种包括坩埚清洗槽的坩埚清洗流水线。清洗槽的坩埚清洗流水线。清洗槽的坩埚清洗流水线。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚清洗槽及坩埚清洗流水线


[0001]本技术涉及石英坩埚生产
，具体涉及一种坩埚清洗槽及坩埚清洗流水线。

技术介绍

[0002]用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅、发展大规模集成电路必不可少的基础装置。石英坩埚的生产工艺依次包括熔制、脱模、切边、打磨、清洗、烘干等步骤，其中清洗分多步依次在流水线中不同的清洗容器中完成，如CN112452986A所公开的预洗槽、酸洗槽、冷水槽、超声槽、热水槽和真空干燥件，又如CN202824030U所公开的纯水鼓泡槽、氢氟酸浸泡槽、超声波清洗槽、喷水间。除真空干燥件和喷水间外，其余清洗槽中均注有清洗液。
[0003]CN202824030U的公开方案中，吊架上的坩埚敞口朝向水平侧方，在一些改进的方案中，坩埚敞口也可选为略倾斜向下。吊装的坩埚以一定速度在清洗液中下行时，坩埚受清洗液向上的粘滞阻力影响，粘滞阻力与坩埚下行速度成正比。锅口一端的自重较小，因此粘滞阻力会导致锅口相对于锅底上翘，增加坩埚与托架的碰撞几率，进而影响坩埚的表面质量。
[0004]为了克服这一缺陷，改进的技术方案在托架上设置限位件，限位件挡设于坩埚上方，虽然锅口上翘幅度明显减小，但是将坩埚放置于托架的步骤更为繁琐，不利于提高生产效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的之一在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种坩埚清洗槽，利用挡板抵挡坩埚锅口后，进液管向坩埚中进液，减弱粘滞阻力对坩埚的影响。
[0006]为了实现上述技术效果，本技术的技术方案为：一种坩埚清洗槽，包括敞口的槽体，所述槽体具有竖向的第一槽壁；还包括挡板和进液机构；
[0007]所述挡板配置为抵接坩埚锅口的至少底端；所述挡板通过横移驱动机构和升降驱动机构与所述第一槽壁连接；所述横移驱动机构配置为驱动所述挡板抵接和脱离坩埚，所述升降机构配置为驱动所述挡板随坩埚同步升降；
[0008]所述进液机构配置为向坩埚内进液。
[0009]优选的技术方案为，所述进液机构包括液体泵和进液管，所述进液管贯穿所述挡板且与所述挡板固定连接。
[0010]优选的技术方案为，槽体内设置有升降导向件，所述升降导向件与所述挡板相对设置，所述升降导向件与所述挡板间隔设置有坩埚托架升降通道。
[0011]优选的技术方案为，所述进液机构的进液口设置于所述槽体内。
[0012]优选的技术方案为，所述槽体的敞口凸出且固定设置有安装架；
[0013]所述升降驱动机构包括升降导轨、挡板座和驱动件；所述升降导轨固定设置于所
述安装架，所述驱动件与所述挡板座连接，所述挡板座沿所述升降导轨移动，所述挡板座通过横移驱动机构与所述挡板连接。
[0014]优选的技术方案为，所述横移驱动机构包括第一伸缩件和第二伸缩件，所述第一伸缩件设置于所述第二伸缩件的上方，沿伸缩方向所述第一伸缩件和第二伸缩件的一端与所述挡板座固定连接，另一端通过水平销轴与所述挡板转动连接。
[0015]优选的技术方案为，所述挡板具有与坩埚抵接的第一表面，所述第一表面设置有凹陷部，所述凹陷部配置为与坩埚托架凹凸配合。
[0016]优选的技术方案为，所述挡板设置有避让缺口，所述避让缺口配置为容纳所述坩埚托架。
[0017]优选的技术方案为，所述升降驱动机构和横移驱动机构位于所述槽口上方；
[0018]所述挡板与所述第一槽壁之间设置有第一槽盖；所述第一槽盖具有相对且具有伸缩间距的第一侧边和第二侧边，所述第一侧边与第一槽壁密封连接，所述第二侧边设置有配重杆；所述挡板顶边至底边的间距方向为第一方向，所述配重杆与所述挡板的第一方向导轨滑动配合。
[0019]本技术的目的之二在于提供一种坩埚清洗流水线，包括上述的坩埚清洗槽。
[0020]本技术的优点和有益效果在于：
[0021]该坩埚清洗槽结构合理，在载有坩埚的托架下行至清洗槽过程中，挡板抵挡于锅口的至少底端后随坩埚下行，进液机构向坩埚内进液，利用坩埚中水的重力抵消至少部分清洗液的粘滞阻力，降低锅口上翘幅度；
[0022]在设置挡板和进液机构的基础上，可简化托架结构，和/或加快托架下行速度，使坩埚放置于托架的操作更便捷，利于提高清洗流水线的生产效率。
附图说明
[0023]图1是实施例坩埚清洗槽的主视结构示意图；
[0024]图2是实施例坩埚清洗槽另一使用状态的主视结构示意图；
[0025]图3是另一实施例中挡板、升降导轨、槽体和升降导向件的组装结构示意图；
[0026]图4是托架的立体结构示意图；
[0027]图5是另一实施例中挡板的一剖视结构示意图；
[0028]图6是另一实施例中挡板的主视结构示意图；
[0029]图7是另一实施例中安装架、槽体和挡板的组装结构示意图；
[0030]图中：1、槽体；2、挡板；3、进液机构；31、进液管；4、安装架；5、升降导轨；6、挡板座；7、驱动件；8、第一伸缩件；9、第二伸缩件；10、凹陷部；11、避让缺口；12、第一槽盖；121、第一侧边；122、第二侧边；123、配重杆；13、升降导向件；
[0031]a、托架；a1、阻挡件。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0033]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0034]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
实施例
[0035]如图1
‑
3所示，实施例坩埚清洗槽包括敞口的槽体1，槽体1具有竖向的第一槽壁11；还包括挡板2和进液机构3；挡板2配置为抵接坩埚锅口的至少底端；挡板2通过横移驱动机构和升降驱动机构与第一槽壁11连接；横移驱动机构配置为驱动挡板2抵接和脱离坩埚，升降机构配置为驱动挡板2随坩埚同步升降；进液机构3配置为向坩埚内进液。
[0036]挡板2的第一表面与坩埚的锅口抵接，当横移驱动机构驱动挡板2水平移动时，第一表面与坩埚锅口相互平行，挡板2的位置根据托架上坩埚锅口的朝向确定；坩埚锅口朝向水平侧方，则挡板2的第一表面为沿铅锤方向延伸的平面；坩埚锅口的朝向为倾斜向下时，则挡板2的第一表面也为与铅垂方向夹设夹角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚清洗槽，包括敞口的槽体，所述槽体具有竖向的第一槽壁；其特征在于，还包括挡板和进液机构；所述挡板配置为抵接坩埚锅口的至少底端；所述挡板通过横移驱动机构和升降驱动机构与所述第一槽壁连接；所述横移驱动机构配置为驱动所述挡板抵接和脱离坩埚，升降机构配置为驱动所述挡板随坩埚同步升降；所述进液机构配置为向坩埚内进液。2.根据权利要求1所述的坩埚清洗槽，其特征在于，所述进液机构包括液体泵和进液管，所述进液管贯穿所述挡板且与所述挡板固定连接。3.根据权利要求1所述的坩埚清洗槽，其特征在于，槽体内设置有升降导向件，所述升降导向件与所述挡板相对设置，所述升降导向件与所述挡板间隔设置有坩埚托架升降通道。4.根据权利要求1所述的坩埚清洗槽，其特征在于，所述进液机构的进液口设置于所述槽体内。5.根据权利要求1所述的坩埚清洗槽，其特征在于，所述槽体的敞口凸出且固定设置有安装架；所述升降驱动机构包括升降导轨、挡板座和驱动件；所述升降导轨固定设置于所述安装架，所述驱动件与所述挡板座连接，所述挡板座沿所述升降导轨移动，所述挡板座通过横移驱动机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱海炳，舒晓峰，徐晓军，季军，许桂青，
申请(专利权)人：江阴泓潮科技有限公司，
类型：新型
国别省市：