一种3D光学轮廓仪制造技术

本实用新型专利技术涉及光学轮廓仪技术领域，尤其是一种3D光学轮廓仪，包括工作台，防护组件和放置台，所述工作台的上方设有主体，所述主体固定连接所述工作台，所述联动件贴合连接所述放置板，所述联动件位于联动杆的两端，所述联动件固定连接所述联动杆的上方，所述联动件嵌入活动连接所述凹槽的内部；最终保证了显微镜对光束干涉测量的准确性，进而保证了所转化的干涉条纹信号的准确性，从而提高测量的精度；最终使得工作人员能够快速便捷的调节镜面的角度，节省时间，从而提高了工作效率。从而提高了工作效率。从而提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种3D光学轮廓仪


[0001]本技术涉及光学轮廓仪
，尤其涉及一种3D光学轮廓仪。

技术介绍

[0002]光学轮廓仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
[0003]现有的3D光学轮廓仪，运作时在装置光源发出两束光经过反射汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，但两束光反射的过程中极易受到外界的干扰，进而干扰干涉条纹信号准确性，从而影响最终的测量的精度；且在测量不同的物件时，需要调整镜面，保证两束光能发生干涉从而让显微镜产生干涉条纹信号，但面对不同的物件镜面调节需要不断地调试，进而浪费了时间，限制了工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种3D光学轮廓仪。
[0005]具体技术方案如下：
[0006]设计一种3D光学轮廓仪，包括工作台，防护组件和放置台，所述工作台的上方设有主体，所述主体固定连接所述工作台，所述主体的下方设有底盘，所述底盘固定连接所述工作台，所述底盘的上方设有所述放置台，所述放置台活动连接所述底盘，所述主体洞穿固定连接所述防护组件，所述防护组件位于所述放置台的上方，所述放置台的顶部开设有均匀分布的凹槽，所述凹槽的内部设有放置板，所述放置板活动连接所述放置台，所述放置板的下方设有联动件，所述联动件贴合连接所述放置板，所述联动件位于联动杆的两端，所述联动件固定连接所述联动杆的上方，所述联动件嵌入活动连接所述凹槽的内部。
[0007]优选的，所述防护组件的下方设有抗干扰罩，所述抗干扰罩固定连接所述防护组件，所述抗干扰罩的下方设有联动座，所述抗干扰罩固定连接所述联动座。
[0008]优选的，所述联动座的上方设有均匀分布的插杆，所述插杆洞穿活动连接所述防护组件的底部。
[0009]优选的，所述插杆的顶部设有联动端，所述联动端固定连接所述插杆，所述插杆的两侧设有限定件，所述限定件嵌入活动连接所述防护组件的内部。
[0010]优选的，所述联动端的下方设有复位件，所述复位件的下方设有联动环，所述复位件固定连接所述联动端，所述复位件固定连接所述联动环，所述联动环被插杆贯穿活动连接。
[0011]优选的，所述放置台的一侧设有调节钮，所述调节钮靠近所述放置台的一侧设有固定连接的衔接杆，所述衔接杆洞穿活动连接所述放置台。
[0012]优选的，所述衔接杆远离所述调节钮的一端设有啮合连接的齿条.所述齿条的上
方设有固定连接的联动杆。
[0013]上述技术方案具有如下优点或有益效果：
[0014]1、通过设置的工作台和防护组件，在工作人员放置好被测量的物件至放置台的上方后，先推动联动座向上，再下拉，从而将折叠的抗干扰罩展开，隔绝外部光束的干扰，同时在测量完毕后重新将联动座向上拉起并和防护组件卡接，进而节省空间，最终保证了显微镜对光束干涉测量的准确性，进而保证了所转化的干涉条纹信号的准确性，从而提高测量的精度。
[0015]2、通过设置的工作台和放置台，旋转调节钮使得联动杆以及联动件进行上下位移，进而对嵌入活动连接的放置板以及上方所放置的镜面，进行倾斜角度的调节，再配合主体底部的显微镜以及通过电线连接的计算机的观察，最终使得工作人员能够快速便捷的调节镜面的角度，节省时间，从而提高了工作效率。
附图说明
[0016]参考所附附图，以更加充分的描述本技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本技术范围的限制。
[0017]图1为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的防干扰前结构示意图；
[0019]图3为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的防干扰后结构示意图；
[0020]图4为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的防护组件及其物件结构示意图；
[0021]图5为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的图4中A部分放大图；
[0022]图6为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的放置台及其物件结构示意图；
[0023]图7为本技术提出的一种3D光学轮廓仪的图6中B部分放大图。
[0024]上述附图标记表示：工作台10；底盘11；主体12；防护组件20；抗干扰罩21；联动座22；插杆23；联动端24；复位件25；联动环26；限定件27；放置台30；凹槽31；调节钮32；衔接杆33；齿条34；联动杆35；联动件36；放置板37。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0027]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。
[0028]参照图1
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7，一种3D光学轮廓仪，包括工作台10，防护组件20和放置台30，工作台10的上方设有主体12，主体12固定连接工作台10，主体12的下方设有底盘11，底盘11固定连接工作台10，底盘11的上方设有放置台30，放置台30活动连接底盘11，主体12洞穿固定连接防护组件20，防护组件20位于放置台30的上方，放置台30的顶部开设有均匀分布的凹槽31，凹
槽31的内部设有放置板37，放置板37活动连接放置台30，放置板37的下方设有联动件36，联动件36贴合连接放置板37，联动件36位于联动杆35的两端，联动件36固定连接联动杆35的上方，联动件36嵌入活动连接凹槽31的内部；工作台10的上方设有拱形件用于固定连接主体12，主体12为常见的光学轮廓仪，其底部设有发光件以及显微镜，同时通过电线连接外部的计算机，并将显微镜所测量到的干涉条纹转为三维图像。
[0029]进一步的，防护组件20的下方设有抗干扰罩21，抗干扰罩21固定连接防护组件20，抗干扰罩21的下方设有联动座22，抗干扰罩21固定连接联动座22；防护组件20及其物件均为环形，抗干扰罩21为防干扰材质，从而配合联动座22展开后能隔绝外部的干扰光线。
[0030]进一步的，联动座22的上方设有均匀分布的插杆23，插杆23洞穿活动连接防护组件20的底部；防护组件20对应插杆23所洞穿的位置设有对应的滑槽，且限定件27嵌入活动连接滑槽内壁，插杆23分布在联动座22四个顶角附近。
[0031]进一步的，插杆23本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种3D光学轮廓仪，其特征在于：包括工作台(10)，防护组件(20)和放置台(30)，所述工作台(10)的上方设有主体(12)，所述主体(12)固定连接所述工作台(10)，所述主体(12)的下方设有底盘(11)，所述底盘(11)固定连接所述工作台(10)，所述底盘(11)的上方设有所述放置台(30)，所述放置台(30)活动连接所述底盘(11)，所述主体(12)洞穿固定连接所述防护组件(20)，所述防护组件(20)位于所述放置台(30)的上方，所述放置台(30)的顶部开设有均匀分布的凹槽(31)，所述凹槽(31)的内部设有放置板(37)，所述放置板(37)活动连接所述放置台(30)，所述放置板(37)的下方设有联动件(36)，所述联动件(36)贴合连接所述放置板(37)，所述联动件(36)位于联动杆(35)的两端，所述联动件(36)固定连接所述联动杆(35)的上方，所述联动件(36)嵌入活动连接所述凹槽(31)的内部。2.根据权利要求1所述的一种3D光学轮廓仪，其特征在于：所述防护组件(20)的下方设有抗干扰罩(21)，所述抗干扰罩(21)固定连接所述防护组件(20)，所述抗干扰罩(21)的下方设有联动座(22)，所述抗干扰罩(21)固定连接所述联动座(22)。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘思嘉，文中辉，刘洋，
申请(专利权)人：苏州黑河电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：