阵列波导光栅制造技术

本申请涉及一种阵列波导光栅，阵列波导光栅包括输入耦合器、波导阵列和输出耦合器；波导阵列耦接于输入耦合器和输出耦合器之间，波导阵列包括多个波导，输入耦合器用于将接收的光信号分配至多个波导，波导用于引导分配的光信号，输出耦合器用于耦合多个波导上传输的光信号。其中，输入耦合器具有第一折射率，波导具有第二折射率，输出耦合器具有第三折射率，第一折射率和第三折射率均大于第二折射率。该阵列波导光栅可以兼顾解决星型耦合器的插入损耗较高的问题和因波导的侧壁粗糙度而造成的相位误差较大的问题，且该阵列波导光栅的插入损耗较低。损耗较低。损耗较低。

【技术实现步骤摘要】
阵列波导光栅


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种阵列波导光栅。

技术介绍

[0002]阵列波导光栅通常用于波分复用系统中的光复用器，这些设备能够把许多波长的光复合到单一的光纤中，从而提高光纤网络的传播效率。
[0003]阵列波导光栅包括星型耦合器和波导阵列，一方面，如果需要降低星型耦合器的插入损耗，通常需要减小星型耦合器的通道间距（星型耦合器的通道间距是指星型耦合器的相邻的两个通道之间的间隔），但这会明显提升相邻的两个通道所形成的倏逝波串扰。另一方面，波导阵列容易受限于工艺（比如被波导阵列的波导的侧壁粗糙度等因素影响），导致相位误差较大，从而导致波导阵列的通道的插入损耗较大，串扰提升，频谱漂移。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对星型耦合器的插入损耗较高的问题和因波导阵列的波导的侧壁粗糙度而造成的相位误差较大的问题，提供一种阵列波导光栅。
[0005]本申请提供了一种阵列波导光栅，包括输入耦合器、波导阵列和输出耦合器；所述波导阵列耦接于所述输入耦合器和所述输出耦合器之间，所述波导阵本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列波导光栅，其特征在于，包括输入耦合器、波导阵列和输出耦合器；所述波导阵列耦接于所述输入耦合器和所述输出耦合器之间，所述波导阵列包括多个波导，所述输入耦合器用于将接收的光信号分配至所述多个波导，所述多个波导用于引导分配的光信号，所述输出耦合器用于耦合所述多个波导上传输的光信号；其中，所述输入耦合器具有第一折射率，所述多个波导具有第二折射率，所述输出耦合器具有第三折射率，所述第一折射率和所述第三折射率均大于所述第二折射率。2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述第一折射率和所述第三折射率均大于3；所述第二折射率小于2.5。3.根据权利要求1或2所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述输入耦合器采用高精度光刻工艺制作；和/或所述输出耦合器采用高精度光刻工艺制作。4.根据权利要求3所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述输入耦合器和所述输出耦合器的材质均包括硅。5.根据权利要求1或2所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述波导的材质包括非温敏性材料。6.根据权利要求5所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述波导的材质包括氮化硅或氮氧化硅。7.根据权利要求1或2所述的阵列波导光栅，其特征在于，所述波导的数量为n，所述输入耦合器用于将接收的光分配为m路光信号，并耦合至n个所述波导上传输，所述输出耦合器用于耦合n个所述波导上传输的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：滕旻，郑学哲，
申请(专利权)人：苏州旭创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：