一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，包括基座、分别用于夹紧旋转主轴两端的第一固定板和第二固定板，第一固定板相对第二固定板的一侧设置有限位凹凸部，第二固定板上设置有螺纹孔和螺丝杆，螺丝杆与螺纹孔配合，旋转主轴的一端与限位凹凸部配合，旋转主轴的另一端与螺丝杆的一端抵紧。本实用新型专利技术可以夹持研磨头旋转主轴，将研磨头旋转主轴的底部法兰与限位凹凸部配合固定，并摇动螺丝杆抵住旋转主轴的顶部，完成旋转主轴的固定，通过扳手对旋转主轴上的零部件进行拆卸，因此本实用新型专利技术可以完成旋转主轴的固定达到拆卸省力的目的，能够有效辅助旋转主轴的拆卸，保证研磨头及晶圆旋转顺畅，减少一定的机械摩擦带来的刮伤风险。带来的刮伤风险。带来的刮伤风险。

【技术实现步骤摘要】
一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具


[0001]本技术属于夹具
，具体属于一种用于研磨头旋转主轴的拆卸夹具。

技术介绍

[0002]随着大规模集成电路的发展，半导体元件以高密度聚集制造在晶圆表面，在生产晶圆时需要对晶圆进行精细地研磨，研磨时晶圆被研磨头吸附后与研磨垫接触并被加压，在设定的区域(例如沿着研磨垫的半径方向)作往复运动并旋转，通过摩擦对晶圆进行机械研磨，而研磨头作往复运动并旋转是由研磨头气控装置通过主轴到底部法兰连接研磨头吸附晶圆，并在主轴中间位置处套以研磨头旋转电机对研磨头进行旋转控制；
[0003]研磨头摆动电机及轨道对研磨头进行摆动控制，由于长期旋转摆动造成的机械摩擦，会对主轴造成一定的损害，会导致气控装置的气密性不够，发生漏气现象，同时长期的机械摩擦会产生碎屑，如果不及时清理，碎屑掉落到晶圆上造成刮伤，故定期检查或者对主轴进行拆装更换轴承等备件是一项必不可少的保养维护动作。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，本申请提供如下技术方案：
[0005]一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，包括基座、分别用于夹紧旋转主轴两端的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板相对第二固定板的一侧设置有限位凹凸部，所述第二固定板上设置有螺纹孔和螺丝杆，所述螺丝杆与所述螺纹孔配合，所述旋转主轴的一端与所述限位凹凸部配合，所述旋转主轴的另一端与所述螺丝杆的一端抵紧。
[0006]在一个可能的实施例中，所述第一固定板和第二固定板之间还设置有限位座，所述限位座的底部与所述基座可拆卸连接，所述限位座的两侧面均设置有限位缺口，所述限位缺口用于放置所述旋转主轴。
[0007]在一个可能的实施例中，所述螺丝杆远离旋转主轴的一端设置有旋转把手。
[0008]在一个可能的实施例中，所述限位凹凸部包括第一圆形凸起部和第一圆形凹槽部，所述第一圆形凸起部和第一圆形凹槽部分别与旋转主轴相对应的第二圆形凹槽部和第二圆形凸起部配合。
[0009]在一个可能的实施例中，所述第一固定板和第二固定板均为L型板，L型板的底部与所述基座可拆卸连接。
[0010]在一个可能的实施例中，该拆装夹具的材质为不锈钢。
[0011]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0012]本技术可以夹持研磨头旋转主轴，将研磨头旋转主轴的底部法兰与限位凹凸部配合固定，并摇动螺丝杆抵住旋转主轴的顶部，完成旋转主轴的固定，通过扳手和特定的拆卸手法对旋转主轴上的零部件进行拆卸，因此通过本技术可以完成旋转主轴的固定达到拆卸省力的目的，能够有效辅助旋转主轴的拆卸，保证研磨头及晶圆旋转顺畅，减少一
定的机械摩擦带来的刮伤风险。
[0013]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显和易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，做详细说明如下。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0015]图1是本技术的装配俯视角结构示意图。
[0016]图2是本技术的装配侧视角结构示意图。
[0017]附图标记：1
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基座；2
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第一固定板；3
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第二固定板；4
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螺栓杆；5
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限位凹凸部；6
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限位座；7
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旋转把手；8
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旋转主轴。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
[0019]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0020]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0021]实施例一
[0022]请参考图1和图2所示，本实施例一提供的一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，包括基座1、分别用于夹紧旋转主轴8两端的第一固定板2和第二固定板3，所述第一固定板2相对第二固定板3的一侧设置有限位凹凸部5，所述第二固定板3上设置有螺纹孔和螺丝杆4，所述螺丝杆4与所述螺纹孔配合，所述旋转主轴8的一端与所述限位凹凸部5配合，所述旋转主轴8的另一端与所述螺丝杆4的一端抵紧。所述第一固定板2和第二固定板3之间还设置有限位座6，所述限位座6的底部与所述基座1可拆卸连接，所述限位座6的两侧面均设置有限位缺口，所述限位缺口用于放置所述旋转主轴8；所述螺丝杆4远离旋转主轴8的一端设置有旋转把手7；所述限位凹凸部5包括第一圆形凸起部和第一圆形凹槽部，所述第一圆形凸起部和第一圆形凹槽部分别与旋转主轴8相对应的第二圆形凹槽部和第二圆形凸起部配合；所述第一固定板2和第二固定板3均为L型板，L型板的底部与所述基座1可拆卸连接。
[0023]具体实施时，沿基座1的长度方向依次设置第一固定板2、限位座6、第二固定板3和螺栓杆，其中基座1为长方形板，第一固定板2和第二固定板3均为L型板，限位座6为凹字型限位座6，且限位座6的两侧开设有限位缺口，第一固定板2、限位座6和第二固定板3都是通过螺栓固定在基座1上，于第一固定板2内侧设置限位凹凸部5，限位凹凸部5为第一圆形凸起部即一圆柱和第一圆形凹槽部即一圆孔，对应旋转主轴8法兰上的第二圆形凹槽部即又一圆孔和第二圆形凸起部即又一圆柱，第二固定板3上设置有螺丝杆4，摇动螺丝杆4可以控制螺丝杆4端部与基座1上方的长度。
[0024]使用时，首先将研磨机台上拆下的旋转主轴8放在本技术上，注意要将旋转主轴8的底部法兰上的第二凸起部与第二凹槽部对应第一固定板2上的第一凹槽部和第一凸起部，使其两两重合，然后旋转主轴8的中部是放置在限位座6的限位缺口内，旋转主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，其特征在于：包括基座(1)、分别用于夹紧旋转主轴(8)两端的第一固定板(2)和第二固定板(3)，所述第一固定板(2)相对第二固定板(3)的一侧设置有限位凹凸部(5)，所述第二固定板(3)上设置有螺纹孔和螺丝杆(4)，所述螺丝杆(4)与所述螺纹孔配合，所述旋转主轴(8)的一端与所述限位凹凸部(5)配合，所述旋转主轴(8)的另一端与所述螺丝杆(4)的一端抵紧。2.根据权利要求1所述的一种用于研磨头旋转主轴的拆装夹具，其特征在于：所述第一固定板(2)和第二固定板(3)之间还设置有限位座(6)，所述限位座(6)的底部与所述基座(1)可拆卸连接，所述限位座(6)的两侧面均设置有限位缺口，所述限位缺口用于放置所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张跃锋，
申请(专利权)人：上海沛镁机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：