尾气排放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种尾气排放装置，包括：水洗塔，连接至所述装置的反应腔；吸附桶，连接至所述反应腔以及所述水洗塔，用于吸附反应腔内的有害气体；以及阀门，连接至所述反应腔；在反应腔内存在有害气体的状态下，阀门切换使所述反应腔与所述吸附桶导通。上述技术方案，增加吸附桶对有害气体进行吸附回收，并通过切换阀门控制尾气流向，在反应腔内存在有害气体的状态下，先进入吸附桶再进入水洗塔，实现对尾气排放的精准控制。现对尾气排放的精准控制。现对尾气排放的精准控制。

【技术实现步骤摘要】
尾气排放装置


[0001]本技术涉及半导体外延工艺领域，尤其涉及一种尾气排放装置。

技术介绍

[0002]半导体在生产时需要用到外延炉，外延炉尾气排放装置是用于净化外延炉排出的空气的设备。常规的外延工艺，一个腔体一个外延尾气出口。目前外延生长中排出的尾气主要有两种处理方式：第一种是湿式处理法，即用自来水与尾气反应，把可处理的尾气溶于水中或反应后沉积在水中，对于无法溶于水的气体如氢气、氮气等经过尾气处理装置排放口排放；第二种是燃烧式处理法，即将尾气中的氢气经过燃烧变成水，剩下的氮气通过排放口排放于大气中。
[0003]然而，在需要特殊工艺如砷外延或者锗硅外延等工艺的时候，会产生诸如砷烷、锗烷、硅烷等有害气体，而目前的设备无法实现对气体的安全回收与处理。
[0004]因此，如何改善尾气排放装置，安全回收与处理有害气体，是目前需要解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是如何改善尾气排放装置，安全回收与处理有害气体。
[0006]为了解决上述问题，本技术提供了一种尾气排放装置，包括：水洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气排放装置，其特征在于，包括：水洗塔，连接至所述装置的反应腔；吸附桶，连接至所述反应腔以及所述水洗塔，用于吸附反应腔内的有害气体；以及阀门，连接至所述反应腔；在所述反应腔内存在有害气体的状态下，所述阀门切换至所述吸附桶，使所述反应腔与所述水洗塔通过所述吸附桶导通。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述吸附桶包括：药剂桶，位于所述吸附桶内；气压监控装置，位于所述吸附桶入口，用于检测进气气压；气体浓度检测器，位于所述吸附桶出口，用于检测有害气体以及氢气的浓度；以及位置检测感应器，位于所述吸附桶内，用于检测药剂桶的位置。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述有害气体包括：砷烷、锗烷、以及硅烷。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴庆东，陶玉佳，黄俊，李晓标，诸良，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：