本实用新型专利技术涉及真空技术领域，公开一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，包括侧屏冷板(10)，侧屏冷板上固定有液氮进口管(11)，侧屏冷板(10)上环绕有数量为多根的分支管(12)，液氮进口管与分支管(12)都连通，侧屏冷板(10)底部安装有数量为多条的连接杆(13)，相邻连接杆(13)之间安装有数量为多片的障板叶片(14)，连接杆(13)上盘绕有液氮管路(15)，液氮管路(15)一端与分支管(12)连通，其另一端连接有液氮出口管(16)。本低温泵采用一进一出的液氮供应方式，并把侧屏冷板分解为侧屏和屏底，屏底采用制冷机一级来制冷，液氮流经的管路没有采用接头连接，减少了内部接头泄漏的风险。险。险。
【技术实现步骤摘要】
一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵
[0001]本技术涉及真空
，尤其涉及一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵。
技术介绍
[0002]在大口径低温真空泵中，降低低温制冷机的使用数量，采用液氮辅助制冷，目前市面上应用的液氮辅助低温泵有双进双出形式液氮泵(障板和侧屏分别一个液氮管路)，也有内部用接头连接障板和冷屏的液氮管路，内部接头容易发生泄漏风险，同时维护也较为不便，例如申请号为201911167018.X的一种柱状内置式低温泵。
技术实现思路
[0003]本技术针对现有技术中的缺点，提供一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术通过下述技术方案得以解决：
[0005]一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，包括侧屏冷板，侧屏冷板上固定有液氮进口管，侧屏冷板上环绕有数量为多根的分支管，液氮进口管与分支管都连通，侧屏冷板底部安装有数量为多条的连接杆，相邻连接杆之间安装有数量为多片的障板叶片，连接杆上盘绕有液氮管路，液氮管路一端与分支管连通，其另一端连接有液氮出口管。本低温泵采用一进一出的液氮供应方式，并把侧屏冷板分解为侧屏和屏底，屏底采用制冷机一级来制冷，液氮流经的管路没有采用接头连接，减少了内部接头泄漏的风险。
[0006]作为优选，侧屏冷板的外端侧壁设有数量与分支管数量相等的安装槽，分支管焊接在安装槽上。安装槽能够增加侧屏冷板与分支管之间的接触面，从而提高传热效率。
[0007]作为优选，侧屏冷板的数量至少为两块，两块侧屏冷板连接处分别安装有液氮进口管和汇流管，汇流管与液氮管路连通。
[0008]作为优选，还包括可拆卸的中间挡板，中间挡板的两侧都固定有若干数量的连接杆，汇流管的下端连通有分流管，分流管的两端都连接有液氮管路，汇流管与分流管焊接连接，对应端的液氮管路盘绕在对应端的连接杆上，两根液氮管路都与液氮出口管焊接连通。液氮管路两端的连接处都采用焊接结构，减少内部接头，降低泄漏风险。
[0009]作为优选，远离中间挡板一侧的连接杆上固定有可拆卸的侧挡板。
[0010]作为优选，液氮管路在多根连接杆上的盘绕的形状为方波形。
[0011]作为优选，侧屏冷板内外两侧都固有数量为多个的固定块。
[0012]本技术由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：
[0013]1、本氮的流向和液氮管路焊接方式进行优化，保证良好的热传递和侧屏温度的均衡；
[0014]2、利用分模块制作，整体焊接；
[0015]3、液氮流经的管道采用焊接结构，无连接接头，保证可靠性，
[0016]4、侧屏冷板冲压形成安装槽，增大分支管与侧屏冷板之间的接触面，提高热效率；连接杆增加与液氮管路相切面，增大与液氮管路的接触面，有效的提高的热传导。
[0017]5、中间挡板和侧挡板可整体拆装，便于后期的维保和检修。
附图说明
[0018]图1是本技术的立体结构示意图。
[0019]图2是图1中的主视结构示意图。
[0020]图3是图1中的液氮管路所在底面的结构示意图。
[0021]图4是液氮管路中液氮流动方向的示意图。
[0022]以上附图中各数字标号所指代的部位名称如下：
[0023]10—侧屏冷板
[0024]11—液氮进口管
[0025]12—分支管
[0026]13—连接杆
[0027]14—障板叶片
[0028]15—液氮管路
[0029]16—液氮出口管
[0030]17—汇流管
[0031]18—中间挡板
[0032]19—分流管
[0033]20—侧挡板
[0034]21—固定块。
具体实施方式
[0035]下面结合附图1
‑
4与实施例对本技术作进一步详细描述。
[0036]实施例1
[0037]一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，包括侧屏冷板10，侧屏冷板10上固定有液氮进口管11，液氮进口管11焊接在侧屏冷板10上，侧屏冷板10上环绕有数量为多根的分支管12，本实施例分支管12的数量为10根分支管，2根分支管环绕成一个环形，液氮进口管与所有分支管12焊接连接且都连通，侧屏冷板10底部安装有数量为多条的连接杆13，本实施例连接杆13的数量12条，相邻连接杆13之间安装有数量为多片的障板叶片14，连接杆13上盘绕有液氮管路15，液氮管路15一端与分支管12连通，其另一端连接有液氮出口管16。障板组件包括连接杆13与障板叶片14，侧屏冷板10与障板组件组合形成一体，液氮才能够侧屏冷板10上流到障板组件上。障板叶片14采用液氮管路15与连接杆13长距离直接接触，同时，连接杆13与侧屏冷板10接触处，采用螺栓连接，多点连接和传热，有效提高障板叶片14的热传递效率。
[0038]侧屏冷板10的外端侧壁设有数量与分支管12数量相等的安装槽，侧屏冷板10冲压形成安装槽，分支管12焊接在安装槽上，安装槽增大分支管12与侧屏冷板10之间的接触面，从而提高传热效率。
[0039]侧屏冷板10的数量至少为两块，本实施例侧屏冷板10为两块，两块侧屏冷板10连接处分别安装有液氮进口管11和汇流管17，汇流管17与液氮管路15连通。
[0040]液氮辅助低温泵还包括可拆卸的中间挡板18，中间挡板18的两侧都固定有若干数量的连接杆13，汇流管17的下端连通有分流管19，汇流管17与分流管19焊接连接，分流管19的两端都连接有液氮管路15，对应端的液氮管路15盘绕在对应端的连接杆13上，两根液氮管路15都与液氮出口管16连通。中间挡板18采用可拆卸式，便于中间吸附阵、侧屏冷板10和障板组件与壳体的安装。
[0041]远离中间挡板18一侧的连接杆13上固定有可拆卸的侧挡板20，两侧的侧挡板20采用可拆卸式，便于侧屏冷板10和障板组件与壳体的安装。
[0042]实施例2
[0043]实施例2与实施例1特征基本相同，不同的是液氮管路15在多根连接杆13上的盘绕的形状为方波形。
[0044]实施例3
[0045]实施例3与实施例1或2特征基本相同，不同的是侧屏冷板10内外两侧都固有数量为多个的固定块21，侧屏冷板10圆周采用8等分四氟隔热的固定块21，与低温泵泵壳固定。保持侧屏冷板10的圆度，以免发生和壳体接触，导致热损失。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，包括侧屏冷板(10)，侧屏冷板(10)上固定有液氮进口管(11)，侧屏冷板(10)上环绕有数量为多根的分支管(12)，液氮进口管与分支管(12)都连通，其特征在于：侧屏冷板(10)底部安装有数量为多条的连接杆(13)，相邻连接杆(13)之间安装有数量为多片的障板叶片(14)，连接杆(13)上盘绕有液氮管路(15)，液氮管路(15)一端与分支管(12)连通，其另一端连接有液氮出口管(16)。2.根据权利要求1所述的一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，其特征在于：侧屏冷板(10)的外端侧壁设有数量与分支管(12)数量相等的安装槽，分支管(12)焊接在安装槽上。3.根据权利要求2所述的一种带有一体化侧屏和障板的液氮辅助低温泵，其特征在于：侧屏冷板(10)的数量至少为两块，两块侧屏冷板(10)连接处分别安装有液氮进口管(11)和汇流管(17)，汇流管(17)与液氮管路(15)连通。4.根据权利要求3所述的一种带有一体化侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈家富，胡玉真，
申请(专利权)人：浙江博开机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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