光耦合附接到玻璃衬底的管芯的玻璃衬底内的光波导制造技术

本文描述的实施例可以涉及针对半导体封装的玻璃层内的光互连和光波导的装置、工艺和技术，其中与玻璃层物理且光耦合的管芯经由光波导彼此光耦合。一个或多个反射器可以用于引导光路径穿过玻璃层。可以描述和/或要求保护其他实施例。其他实施例。其他实施例。

【技术实现步骤摘要】
光耦合附接到玻璃衬底的管芯的玻璃衬底内的光波导


[0001]本公开的实施例总体上涉及半导体封装领域，具体而言，涉及使用玻璃衬底的管芯的光耦合。

技术介绍

[0002]计算和移动设备的持续增长将不断增加对半导体封装内的管芯数量的需求。
附图说明
[0003]图1示出了根据各种实施例的包括使用玻璃层内的波导与其他管芯光耦合的计算管芯的封装的截面侧视图和俯视图。
[0004]图2示出了根据各种实施例的包括使用多个玻璃层内的多个波导与其他管芯光耦合的计算管芯的封装的截面侧视图。
[0005]图3示出了根据各种实施例的包括与玻璃层中的波导光耦合的计算管芯的封装的截面侧视图，所述波导位于玻璃层内的多个深度处。
[0006]图4示出了根据各种实施例的包括与多个光波导串联光耦合的计算管芯的封装的截面侧视图。
[0007]图5示出了根据各种实施例的包括利用不同类型的光反射器与多层波导光耦合的计算管芯的封装的截面侧视图。
[0008]图6A
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6E示出了根据各种实施例的玻璃层中的多个波导的制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装置，包括：玻璃衬底，具有第一侧以及与所述第一侧相反的第二侧；第一光路径，从所述玻璃衬底的所述第一侧朝向所述玻璃衬底的所述第二侧延伸；以及所述玻璃衬底内的光波导，所述光波导具有与所述第一光路径光耦合的第一端、以及与所述第一端相反的第二端，所述第二端与第二光路径耦合。2.根据权利要求1所述的装置，还包括所述玻璃衬底内的反射器，所述反射器的部分与所述第一光路径相交并与所述光波导的所述第一端对准。3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述反射器选自以下中的一个：平面反射器或曲面反射器。4.根据权利要求2所述的装置，还包括从所述反射器的所述部分延伸到所述光波导的所述第一端的第三光路径。5.根据权利要求2所述的装置，其中，所述第二光路径延伸到在所述玻璃衬底的边缘处的光耦合器。6.根据权利要求2所述的装置，其中，所述反射器是第一反射器；并且还包括所述玻璃衬底内的第二反射器，所述第二反射器的部分与所述第二光路径相交并与所述光波导的所述第二端对准。7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述第二反射器选自以下中的一个：平面反射器或曲面反射器。8.根据权利要求6所述的装置，还包括从所述第二反射器的所述部分延伸到所述光波导的所述第二端的第四光路径。9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第二光路径延伸到从以下中所选择的一个：所述玻璃衬底的所述第一侧或所述玻璃衬底的所述第二侧。10.根据权利要求6所述的装置，其中，所述光波导是第一光波导；并且还包括：所述玻璃衬底内的第二光波导，所述第二光波导具有第一端以及与所述第一端相反的第二端，所述第二光波导的所述第一端与所述第二光路径光耦合。11.根据权利要求10所述的装置，还包括：所述玻璃衬底内的第三反射器，所述第三反射器的部分与所述第二光路径相交并与所述第二光波导的所述第一端对准；以及从所述光波导的所述第二端延伸的第五光路径。12.根据权利要求10所述的装置，其中，所述第一光波导和所述第二光波导在距所述玻璃层的所述第一侧的不同距离处。13.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一光路径和所述第二光路径包括空气。14.根据权利要求1所述的装置，其中，所述光波导平行于所述玻璃衬底的所述第一侧。15.根据权利要求1所述的装置，其中，所述光波导具有平行于所述玻璃层的所述第一侧的第一部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志超，P，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：