一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构制造技术

本发明专利技术公开了一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构，涉及显微成像技术领域，其技术方案要点是：包括物点、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和像平面；所述物点位于第一反射镜前方，所述像平面位于第三反射镜后；所述第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜串联放置，并在小掠入射角条件下工作；所述第一反射镜和第二反射镜构成高分辨率成像的双镜结构，并在第二反射镜后端的光路中放置用于工作能点调整的第三反射镜。能够有效弥补现有掠入射反射式光学系统一旦完成设计难以改变工作能点的不足；本发明专利技术的光学结构使得诊断系统更具适应性，具备高空间分辨率和工作能点连续可调的特点，能够更好地服务于X射线显微成像。能够更好地服务于X射线显微成像。能够更好地服务于X射线显微成像。

【技术实现步骤摘要】
一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构


[0001]本专利技术涉及显微成像
，更具体地说，它涉及一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构。

技术介绍

[0002]激光惯性约束聚变(ICF,Inertial Confinement Fusion)是和平时期发展受控核聚变的有效技术途径之一。包含氘氚热核燃料的内爆靶丸在极短的时间内被压缩至几十微米的空间尺度，物质状态达到类似于星球内部的高温、高压状态。
[0003]高精密的X射线显微成像光学仪器成为深入理解内爆过程和定量化反演内爆参数的关键。常见的X射线成像诊断设备主要包括针孔相机、Kirkpatrick
‑
Baez(KB)显微镜和球面弯晶等。其中，针孔相机的分辨率受限于有效口径，一般在8
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10μm，难以实现高分辨率的显微成像。KB显微镜和球面弯晶一般设计成针对特定工作能点响应，一旦完成诊断设备的设计与研制，将难以再次改变系统的工作能点。
[0004]高品质的内爆过程诊断对高分辨率、工作能点可调的X射线显微成像光学系统具有迫切本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构，其特征是：包括物点(1)、第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第三反射镜(4)和像平面(5)；所述物点(1)位于第一反射镜(2)前方，所述像平面(5)位于第三反射镜(4)后；所述第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第三反射镜(4)串联放置，并在小掠入射角条件下工作；所述第一反射镜(2)和第二反射镜(3)构成高分辨率成像的双镜结构，并在第二反射镜(3)后端的光路中放置用于工作能点调整的第三反射镜(4)。2.根据权利要求1所述的一种可变工作能点的掠入射X射线显微成像光学结构，其特征是：以所述物点(1)为原点建立直角坐标系，所述物点(1)指向像平面(5)为X轴正向，所述物点(1)竖直向上为Z轴正向，所述第三反射镜(4)在光路中的放置位置为(D_x,D_z)，则第三反射镜(4)在光路中的竖直坐标D_z的计算公式为：其中，M是系统放大倍数，u是物点(1)至第一反射镜(2)中心的距离，D_x是第三反射镜(4)中心的横坐标，C_x是第二反射镜(3)中心的横坐标，θ1是第一反射镜(2)的掠入射角度；第三反射镜(4)的掠入射工作角度θ3计算公式为：其中，θ1是第一反射镜(2)的掠入射角度，M是系统放大倍数，θ
axis_3
是第三反射镜(4)与中心轴线之间的夹角；调节所述第三反射镜(4)的掠入射工作角度，实现对系统工作能点的连续调整，其公式如下：其中，E是系统的工作能点，d是X射线周期多层膜的周期厚度，θ3是第三反射镜(4)的掠入射角度，δ是角度修正小量；计算出经过三次反射后生成的像点在像...

【专利技术属性】
技术研发人员：李亚冉，孙涵涵，陈亮，李文杰，穆宝忠，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：