【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于将基片和制图设备相对于彼此地定位在一个制图位置的方法,在该位置激活该制图设备以便将图案应用到该基片上。实际上,已经知道通过制图设备将图案应用到基片上的过程,该过程可以是许多种类产品的制造过程的一部分。该将图案应用到基片上的过程可以以多种方式实现,例如通过印刷或激光记录。一般地,印刷包括向该基片上铺设(lay down)一层墨水,而激光记录包括去除该基片上的部分。为了该提供图案的目的,将基片放置在制图机(patterningmachine)中,其中设置有制图设备。通常,该制图机包括用于支撑和移动该基片的可移动工作台。图案形成过程通过相对于该制图设备移动支撑该基片的工作台和间歇性激活该制图设备来进行。在该基片上产生的图案一方面通过该制图设备的输出来确定,另一方面通过该支撑基片的工作台相对于该制图设备的选定位置来确定。在需要形成由多层构成的图案的情况下,该图案形成过程包括多个图案形成步骤,其中这些层被铺设在该基片上。每个图案形成步骤需要非常精确地进行,以防止不同层的偏差和该图案的失真。包括多个图案形成步骤的图案形成过程的例子是显示器的喷墨印刷 ...
【技术保护点】
用于将基片(30)和制图设备(20)相对于彼此地定位在制图位置的方法,在该位置激活该制图设备(20)以将图案(35)应用到基片(30)上,该方法包括确定在基片(30)和制图设备(20)相对于彼此的制图位置与该图案(35)在基片(30)上的位置之间的实际关系的步骤。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:DB凡达姆,LJC凡登贝塞拉阿,
申请(专利权)人:皇家飞利浦电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:NL[荷兰]
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