一种改良型的激光直写曝光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改良型的激光直写曝光机，涉及到激光直写曝光机技术领域，包括机体，机体上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨，两个电动滑轨的相对一侧均固定连接有安装壳，两个安装壳内壁的相反一侧均固定有弹簧，两个弹簧相对的一端均固定连接有挡板，两个挡板的相对一侧均固定连接有三角定位板，两个三角定位板相对的一侧分别贯穿相应的安装壳的内壁一侧，机体内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台。本实用新型专利技术从而能够将放置基板的放置台能够与光刻镜头进行定位对其，使得基板能够与光刻镜头进行校准定位对其，确保了在后续基板光刻的时候能够让光刻镜头准确有效的进行光刻，进而提高了对基板光刻的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种改良型的激光直写曝光机


[0001]本技术涉及激光直写曝光机
，特别涉及一种改良型的激光直写曝光机。

技术介绍

[0002]激光直写曝光机是一种用于物理学、电子与通信
的工艺试验仪器，主要功能制备光刻版，微纳图形光刻，激光直写是制作衍射光学元件的主要技术之一，激光直写是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光，显影后在抗蚀层表面形成所要求的浮雕轮廓，激光直写系统的基本是由计算机控制高精度激光束扫描，在光刻胶上直接曝光写出所设计的任意图形，从而把设计图形直接转移到掩模上，可在光刻胶的表面直接写入多台阶、连续位相浮雕微结构，与二元光学方法相比，工艺简单，避免了多套掩模之间的套刻对准环节，改善了DOE的加工精度。
[0003]在现有的激光直写曝光机在使用的时候，都需要手动将基板放置到光刻镜头下指定位置对其光刻，而在校准的时候人工手动很难将基板与光刻镜头进行对其，使得基板与光刻镜头之间出现偏差和错位情况出现，导致光刻镜头无法准确有效的与基板进行光刻处理，进而降低了光刻的效果和准确性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种改良型的激光直写曝光机，以解决上述
技术介绍
中提出的在现有的激光直写曝光机在使用的时候，都需要手动将基板放置到光刻镜头下指定位置对其光刻，而在校准的时候人工手动很难将基板与光刻镜头进行对其，使得基板与光刻镜头之间出现偏差和错位情况出现，导致光刻镜头无法准确有效的与基板进行光刻处理，进而降低了光刻的效果和准确性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种改良型的激光直写曝光机，包括机体，所述机体上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨，两个所述电动滑轨的相对一侧均固定连接有安装壳，两个所述安装壳内壁的相反一侧均固定有弹簧，两个所述弹簧相对的一端均固定连接有挡板，两个所述挡板的相对一侧均固定连接有三角定位板，两个所述三角定位板相对的一侧分别贯穿相应的安装壳的内壁一侧，所述机体内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台，两个所述放置台的相反一侧均固定连接有定位板，两个所述定位板的相反一侧均开设有定位槽，两个所述放置台的上表面均开设有放置槽。
[0006]优选的，所述运动机构包括电机，两个所述电机位于机体内壁上方左右两侧均固定连接，两个所述电机的输出端均固定连接有第一齿轮，两个所述第一齿轮的一侧表面均啮合连接有第二齿轮，两个所述第二齿轮的右侧表面均固定连接有螺杆，两个所述螺杆的杆臂表面螺纹连接有运动块。
[0007]优选的，两个所述运动块下表面均固定连接有滑块，两个所述滑块的相对一侧均滑动连接有滑轨，两个所述滑轨的上表面分别与机体内壁的左右两侧固定连接。
[0008]优选的，所述机体上表面的左右两侧均固定连接有第一电动滑轨，两个所述第一电动滑轨的内壁均滑动连接有第一电动滑块，两个所述第一电动滑块的上方表面均固定连接有L形支撑架，两个所述L形支撑架上方的一端表面均固定连接有移动块。
[0009]优选的，所述机体的上表面的后方中心位置固定连接有支撑板，所述支撑板两侧上方表面的前后处均固定连接有支撑块，多个所述支撑块相对一侧的表面均固定连接有导向杆，多个所述导向杆的杆臂表面分别与相应的移动块内壁滑动连接。
[0010]优选的，两个所述L形支撑架的下方表面均固定连接有第二电动滑轨，两个所述第二电动滑轨的内壁均滑动连接有第二电动滑块，两个所述第二电动滑块的下方表面均固定连接有光刻镜头。
[0011]优选的，两个所述放置槽的相对一侧均开设有弧形开口，所述机体的下方表面的四角处均固定连接有万向轮。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013]1、通过设置机体、条形开口、安装壳、弹簧、挡板、三角定位板、放置台、放置槽、弧形开口、定位板、定位槽，从而能够将放置基板的放置台能够与光刻镜头进行定位对其，使得基板能够与光刻镜头进行校准定位对其，确保了在后续基板光刻的时候能够让光刻镜头准确有效的进行光刻，进而提高了对基板光刻的效果。
[0014]2、通过设置电机、第一齿轮、第二齿轮、螺杆、运动块、滑轨、滑块，从而能够在对放置板进行前后移动时，确保运动块移动时不会旋转，能够达到对其进行固定与导向作用。
[0015]3、通过设置第一电动滑轨、第一电动滑块、形支撑架，从而能够对L形支撑架进行前后不同的位置移动处理，支撑板、支撑块、导向杆、移动块，从而能够在光刻运动下达到对L形支撑架的前后导向作用，第二电动滑轨、第二电动滑块、光刻镜头、万向轮，使得光刻镜头能够在光刻的时候进行左右不同的位置的处理，进而使得光刻效果提高。
附图说明
[0016]图1为本技术的立体结构示意图。
[0017]图2为本技术的展示立体结构示意图。
[0018]图3为本技术的机体正面剖面结构示意图。
[0019]图4为本技术的L形支架正面刨面结构示意图。
[0020]图5为本技术的L形支架立体结构示意图。
[0021]图6为本技术的安装壳侧面剖解结构示意图
[0022]图7为本技术的图2中的A放大结构示意图
[0023]图中：1、机体；3、安装壳；4、弹簧；5、挡板；6、三角定位板；7、运动块；8、放置台；9、定位板；2、定位槽；10、放置槽；11、电机；12、第一齿轮；13、第二齿轮；14、螺杆；15、滑轨；16、滑块；17、第一电动滑轨；18、第一电动滑块；19、L形支撑架；20、移动块；21、支撑板；22、支撑块；23、导向杆；24、第二电动滑轨；25、第二电动滑块；26、光刻镜头；27、弧形开口；28、万向轮。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]本技术提供了如图1
‑
7所示的一种改良型的激光直写曝光机，包括机体1，机体1上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨17，两个第一电动滑轨17的相对一侧均固定连接有安装壳3，安装壳3通过磨具浇灌打磨成型，两个安装壳3内壁的相反一侧均固定有弹簧4，两个弹簧4相对的一端均固定连接有挡板5，两个挡板5的相对一侧均固定连接有三角定位板6，两个三角定位板6相对的一侧分别贯穿相应的安装壳3的内壁一侧，机体1内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台8，两个放置台8的相反一侧均固定连接有定位板9，两个定位板9的相反一侧均开设有定位槽2，定位槽2通过砂轮切割打磨成型，两个放置台8的上表面均开设有放置槽10，两个放置槽10的相对一侧均开设有弧形开口27，弧形开口27通过车床进行冲洗打磨形成，机体1的下方表面的四角处均固定连接有万向轮28，从而能够将放置基板的放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改良型的激光直写曝光机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)上表面的两侧均固定连接有第一电动滑轨(17)，两个所述电动滑轨(15)的相对一侧均固定连接有安装壳(3)，两个所述安装壳(3)内壁的相反一侧均固定有弹簧(4)，两个所述弹簧(4)相对的一端均固定连接有挡板(5)，两个所述挡板(5)的相对一侧均固定连接有三角定位板(6)，两个所述三角定位板(6)相对的一侧分别贯穿相应的安装壳(3)的内壁一侧，所述机体(1)内壁上方的两侧均通过运动机构连接有放置台(8)，两个所述放置台(8)的相反一侧均固定连接有定位板(9)，两个所述定位板(9)的相反一侧均开设有定位槽(2)，两个所述放置台(8)的上表面均开设有放置槽(10)。2.根据权利要求1所述的一种改良型的激光直写曝光机，其特征在于：所述运动机构包括电机(11)，两个所述电机(11)位于机体(1)内壁上方左右两侧均固定连接，两个所述电机(11)的输出端均固定连接有第一齿轮(12)，两个所述第一齿轮(12)的一侧表面均啮合连接有第二齿轮(13)，两个所述第二齿轮(13)的右侧表面均固定连接有螺杆(14)，两个所述螺杆(14)的杆臂表面螺纹连接有运动块(7)。3.根据权利要求2所述的一种改良型的激光直写曝光机，其特征在于：两个所述运动块(7)下表面均固定连接有滑块(16)，两个所述滑块(16)的相对一侧均滑动连接有滑轨(15...

【专利技术属性】
技术研发人员：王新辉，郑昌成，宁吉强，
申请(专利权)人：苏州市大衍智能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：