高精度波长测量用干涉仪装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括

【技术实现步骤摘要】
高精度波长测量用干涉仪装置


[0001]本专利技术属于高精度波长测量领域，具体涉及一种高精度波长测量用干涉仪装置。

技术介绍

[0002]在光谱研究、光通信等科研和生产领域的大量应用需要进行高精度波长测量，干涉法是进行波长测量最常用的方法，其中利用费索干涉仪的等厚干涉可实现脉冲激光和连续激光的波长测量。高精度波长测量需要厚度不等的多个费索干涉仪联合应用，通常需要利用较复杂的光学系统将测量光准直并分束后，或者分束后再准直，同时输入多个干涉仪中，造成系统光路较复杂。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种高精度波长测量用干涉仪装置，以解决上述存在的一个或多个技术问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括
Ⅴ
号干涉仪后腔镜和以及设置于其前方的
Ⅴ
号干涉仪前腔镜；所述组合干涉仪包括组合后腔镜和以及设置于其前方的组合干涉仪前腔镜，组合后腔镜包括自下而上依次叠放的Ⅰ号干涉仪后腔镜、Ⅱ号干涉仪后腔镜、Ⅲ号干涉仪后腔镜和Ⅳ号干涉仪后腔镜。
[0006]在上述技术方案中，所述壳体包括主框架、设置于主框架两端的盖板、透光窗和真空调节结构；所述盖板中间形成透光孔；所述透光窗设置于盖板与主框架之间；所述真空调节结构包括形成于主框架顶面的透气孔以及真空阀杆，透气孔为竖直设置的通孔，真空阀杆水平设置，且穿过透气孔，真空阀杆与主框架1顶面可旋转连接，且其上形成连通孔。
[0007]在上述技术方案中，所述主框架为左右两端均敞口的长方框型结构；所述盖板与主框架通过螺钉固定连接。
[0008]在上述技术方案中，所述盖板与透光窗接触的一侧形成固定槽，透光窗嵌入固定槽内，且与固定槽槽底粘接。
[0009]在上述技术方案中，所述透光窗与主框架之间设置密封圈；所述主框架与透光窗接触端面形成密封槽，密封圈嵌入密封槽内。
[0010]在上述技术方案中，所述真空阀杆表面与透气孔表面通过真空脂进行密封。
[0011]在上述技术方案中，所述光学机构通过光学底板安装于主框架内底面；所述Ⅰ号干涉仪后腔镜与光学底板之间设置垫块。
[0012]在上述技术方案中，所述Ⅰ号干涉仪后腔镜、Ⅱ号干涉仪后腔镜、Ⅲ号干涉仪后腔镜和Ⅳ号干涉仪后腔镜远离组合干涉仪前腔镜的一侧端面平齐设置，且四个干涉仪后腔镜光束方向的长度不同；所述
Ⅴ
号干涉仪后腔镜和
Ⅴ
号干涉仪前腔镜之间的距离大于任意组合干涉仪中前后腔镜之间的距离。
[0013]在上述技术方案中，所述Ⅰ号干涉仪后腔镜11和Ⅱ号干涉仪后腔镜12、Ⅱ号干涉仪后腔镜12和Ⅲ号干涉仪后腔镜13、Ⅲ号干涉仪后腔镜13和Ⅳ号干涉仪后腔镜14之间，以及Ⅰ号干涉仪后腔镜11和垫块之间、垫块与光学底板之间、
Ⅴ
号干涉仪后腔镜与光学底板之间、
Ⅴ
号干涉仪前腔镜与光学底板之间均采用光胶的方式互相粘接。
[0014]在上述技术方案中，所述光学机构采用融石英玻璃。
[0015]本专利技术的有益效果是：
[0016]本专利技术提供了一种高精度波长测量用干涉仪装置，在一个密封腔体中集成五个费索干涉仪，简化测量光学系统，可实现10
‑7波长测量精度。
附图说明
[0017]图1是本专利技术高精度波长测量用干涉仪装置的外部结构示意图；
[0018]图2是本专利技术高精度波长测量用干涉仪装置的剖面图；
[0019]图3是本专利技术高精度波长测量用干涉仪装置中光学机构的结构示意图。
[0020]其中：
[0021]1主框架
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2盖板
[0022]3透光孔
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4透气孔
[0023]5密封槽
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6真空阀杆
[0024]7连通孔
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8透光窗
[0025]9光学底板
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10垫块
[0026]11Ⅰ号干涉仪后腔镜
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12Ⅱ号干涉仪后腔镜
[0027]13Ⅲ号干涉仪后腔镜
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14Ⅳ号干涉仪后腔镜
[0028]15组合干涉仪前腔镜
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16
Ⅴ
号干涉仪后腔镜
[0029]17
Ⅴ
号干涉仪前腔镜
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18Ⅰ号干涉条纹
[0030]19Ⅱ号干涉条纹。
[0031]对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据以上附图获得其他的相关附图。
具体实施方式
[0032]为了使本
的人员更好地理解本专利技术技术方案，下面结合说明书附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0033]如图1～3所示，一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构。
[0034]所述壳体包括主框架1、设置于主框架1两端的盖板2、透光窗8和真空调节结构。
[0035]所述主框架1为左右两端均敞口的长方框型结构；所述盖板2与主框架1通过螺钉固定连接，所述盖板2中间形成透光孔3；所述透光窗8设置于盖板2与主框架1之间。
[0036]在本实施例中，为了确保透光窗8的稳固安装，所述盖板2与透光窗8接触的一侧形成固定槽，透光窗8嵌入固定槽内，且与固定槽槽底粘接。
[0037]在本实施例中，为了进一步提高壳体内部密封性，所述透光窗8与主框架1之间设置密封圈。
[0038]在本实施例中，为了便于密封圈的固定，所述主框架1与透光窗8接触端面形成密封槽5，密封圈嵌入密封槽5内。
[0039]所述真空调节结构包括形成于主框架1顶面的透气孔4以及真空阀杆6，透气孔4为竖直设置的通孔，连通主框架1内腔与外部空间，真空阀杆6水平设置，且穿过透气孔4，真空阀杆6与主框架1顶面可旋转连接，且其上形成连通孔7，当连通孔7旋转至与透气孔4平行时，主框架1内腔与大气连通，可进行主框架1内腔的抽空操作，抽空完成，旋转真空阀杆6，使得连通孔7与透气孔4偏离，实现对主框架1内腔的密封。
[0040]在本实施例中，为了提高主框架1内腔的密封性，所述真空阀杆6表面与透气孔4表面通过真空脂进行密封。
[0041]在本实施例中，为了降低环境对测量的影响，满足10
‑7测量精度要求，对主框架1内腔进行抽空时，抽空压强至帕量级。
[0042]所述光学机构通过光学底板9安装于主框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度波长测量用干涉仪装置，其特征在于：包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括
Ⅴ
号干涉仪后腔镜(16)和以及设置于其前方的
Ⅴ
号干涉仪前腔镜(17)；所述组合干涉仪包括组合后腔镜和以及设置于其前方的组合干涉仪前腔镜(15)，组合后腔镜包括自下而上依次叠放的Ⅰ号干涉仪后腔镜(11)、Ⅱ号干涉仪后腔镜(12)、Ⅲ号干涉仪后腔镜(13)和Ⅳ号干涉仪后腔镜(14)。2.根据权利要求1所述的高精度波长测量用干涉仪装置，其特征在于：所述壳体包括主框架(1)、设置于主框架(1)两端的盖板(2)、透光窗(8)和真空调节结构；所述盖板(2)中间形成透光孔(3)；所述透光窗(8)设置于盖板(2)与主框架(1)之间；所述真空调节结构包括形成于主框架(1)顶面的透气孔(4)以及真空阀杆(6)，透气孔(4)为竖直设置的通孔，真空阀杆(6)水平设置，且穿过透气孔(4)，真空阀杆(6)与主框架1顶面可旋转连接，且其上形成连通孔(7)。3.根据权利要求2所述的高精度波长测量用干涉仪装置，其特征在于：所述主框架(1)为左右两端均敞口的长方框型结构；所述盖板(2)与主框架(1)通过螺钉固定连接。4.根据权利要求2所述的高精度波长测量用干涉仪装置，其特征在于：所述盖板(2)与透光窗(8)接触的一侧形成固定槽，透光窗(8)嵌入固定槽内，且与固定槽槽底粘接。5.根据权利要求2所述的高精度波长测量用干涉仪装置，其特征在于：所述透光窗(8)与主框架(1)之间设置密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春红，程国军，代晓珂，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：发明
国别省市：