真空箱自动隔离闸门及真空箱制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空箱自动隔离闸门及真空箱，该真空箱自动隔离闸门包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块，通过在闸门口的两侧设置有导轨，密封板通过连杆与安装块转动连接，配合驱动器驱动安装块在导轨上滑动，带动密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，能够对闸门口进行封闭和开启，密封板通过平移的方式对闸门口进行封闭和开启，减少了真空箱自动隔离闸门开合所需的空间，便于自动上下料设备向真空箱内进行上下料。料。料。

【技术实现步骤摘要】
真空箱自动隔离闸门及真空箱


[0001]本技术涉及真空箱
，特别涉及一种真空箱自动隔离闸门及真空箱。

技术介绍

[0002]在电子元器件的加工过程中，例如进行真空镀膜或离子蚀刻时，均需要在真空的环境下进行，常需要使用到真空箱为其提供真空的工作环境。
[0003]现有的真空箱的隔离闸门，通常为以铰链或合页连接，以扇形开合的方式来运作，打开或关闭的过程中都会占用一个较大的扇形空间，开合的隔离闸门占用较大的空间，自动上下料设备向真空箱内进行上下料时，需要避开隔离闸门而移动更长的行程，不便于自动上下料进行上下料。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种真空箱自动隔离闸门及真空箱。
[0005]本技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种真空箱自动隔离闸门，包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块；
[0006]所述基板上开设有闸门口，所述闸门口用于与真空箱的内部连通，所述密封圈设置在所述基板上，且所述密封圈环绕设置在所述闸门口的外侧；
[0007]两个所述导轨间隔设置在所述闸门口的两侧，每一所述安装块滑动设置在一所述导轨上，每一所述安装块上转动设置有连杆，所述连杆的第一端与所述安装块转动连接，所述连杆的第二端与所述密封板的一端转动连接；
[0008]每一所述安装块上设置有固定座，每一所述固定座上设置有弹性件，每一所述弹性件的第一端与一所述固定座连接，每一所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接；
[0009]所述驱动器设置在所述基板上，所述驱动器用于驱动所述安装块在所述导轨上滑动，以带动所述密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，所述基板上设置有第一限位块，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述密封板的第一侧与所述第一限位块活动抵接。
[0010]在一个实施例中，还包括：横杆，所述驱动器的输出端与所述横杆连接，所述横杆的两端分别设置有推杆，每一所述推杆的第一端与所述横杆的一端连接，每一所述推杆的第二端与一所述安装块连接。
[0011]在一个实施例中，所述基板上间隔设置有两个导向块，每一所述导向块上开设有导向孔，每一所述推杆穿设在一所述导向孔内，且所述推杆的外侧表面与所述导向孔的侧壁活动抵接。
[0012]在一个实施例中，所述基板上设置有第二限位块，所述第一限位块与所述第二限位块间隔分布在所述闸门口的两侧，所述第二限位块与所述密封板的第二侧活动抵接。
[0013]在一个实施例中，所述密封板的第一侧上设置有滚轮，当所述驱动器驱动所述安
装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述滚轮与所述第一限位块活动抵接。
[0014]在一个实施例中，所述密封板的第一侧上设置有转动座，所述转动座上开设有转动槽，所述滚轮转动设置在所述转动槽，且所述滚轮至少部分凸出于所述转动槽的外侧。
[0015]在一个实施例中，所述第一限位块的数量设置为两个或两个以上，所述滚轮的数量设置为两个或两个以上，且所述第一限位块的数量与所述滚轮的数量相等。
[0016]在一个实施例中，每一所述安装块上的所述连杆的数量设置为两个，两个所述连杆的第一端间隔转动设置在所述安装块上，两个所述连杆的第二端间隔转动设置在所述密封板的一端上，所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接。
[0017]在一个实施例中，所述密封板的两端分别设置有连接板，所述连接板的第一端与所述密封板连接，所述连接板的第二端与所述连杆的第二端转动连接。
[0018]本技术还提供一种真空箱，包括上述任一项实施例中所述的真空箱自动隔离闸门。
[0019]本技术的有益效果是：本技术提供的一种真空箱自动隔离闸门，通过在闸门口的两侧设置有导轨，密封板通过连杆与安装块转动连接，配合驱动器驱动安装块在导轨上滑动，带动密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，能够对闸门口进行封闭和开启，密封板通过平移的方式对闸门口进行封闭和开启，减少了真空箱自动隔离闸门开合所需的空间，便于自动上下料设备向真空箱内进行上下料。
附图说明
[0020]图1为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的结构示意图；
[0021]图2为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的一状态下的结构示意图；
[0022]图3为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的一方向的结构示意图。
[0023]附图中，10、真空箱自动隔离闸门；100、基板；110、闸门口；120、密封圈；200、密封板；210、滚轮；220、连接板；300、导轨；400、安装块；410、连杆；420、固定座；430、弹性件；500、驱动器；510、横杆；520、推杆；530、导向块；610、第一限位块；620、第二限位块。
具体实施方式
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。以下将结合本技术实施例的附图，对本技术的技术方案做进一步描述，本技术不仅限于以下具体实施方式。
[0025]需要理解的是，实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件。在本技术的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0026]在一个实施例中，如图1、图2和图3所示，一种真空箱自动隔离闸门10，包括：基板100、密封板200、密封圈120、驱动器500、两个导轨300和两个安装块400；所述基板100上开设有闸门口110，所述闸门口110用于与真空箱的内部连通，所述密封圈120设置在所述基板
100上，且所述密封圈120环绕设置在所述闸门口110的外侧；两个所述导轨300间隔设置在所述闸门口110的两侧，每一所述安装块400滑动设置在一所述导轨300上，每一所述安装块400上转动设置有连杆410，所述连杆410的第一端与所述安装块400转动连接，所述连杆410的第二端与所述密封板200的一端转动连接；每一所述安装块400上设置有固定座420，每一所述固定座420上设置有弹性件430，每一所述弹性件430的第一端与一所述固定座420连接，每一所述弹性件430的第二端与一所述连杆410的第二端连接；所述驱动器500设置在所述基板100上，所述驱动器500用于驱动所述安装块400在所述导轨300上滑动，以带动所述密封板200做靠近或远离所述闸门口110的方向的运动，所述基板100上设置有第一限位块610，当所述驱动器500驱动所述安装块400带动所述密封板200移动至所述闸门口110时，所述密封板200的第一侧与所述第一限位块610本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空箱自动隔离闸门，其特征在于，包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块；所述基板上开设有闸门口，所述闸门口用于与真空箱的内部连通，所述密封圈设置在所述基板上，且所述密封圈环绕设置在所述闸门口的外侧；两个所述导轨间隔设置在所述闸门口的两侧，每一所述安装块滑动设置在一所述导轨上，每一所述安装块上转动设置有连杆，所述连杆的第一端与所述安装块转动连接，所述连杆的第二端与所述密封板的一端转动连接；每一所述安装块上设置有固定座，每一所述固定座上设置有弹性件，每一所述弹性件的第一端与一所述固定座连接，每一所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接；所述驱动器设置在所述基板上，所述驱动器用于驱动所述安装块在所述导轨上滑动，以带动所述密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，所述基板上设置有第一限位块，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述密封板的第一侧与所述第一限位块活动抵接。2.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，还包括：横杆，所述驱动器的输出端与所述横杆连接，所述横杆的两端分别设置有推杆，每一所述推杆的第一端与所述横杆的一端连接，每一所述推杆的第二端与一所述安装块连接。3.根据权利要求2所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述基板上间隔设置有两个导向块，每一所述导向块上开设有导向孔，每一所述推杆穿设在一所述导向孔内，且所述推杆的外侧表面与所述导向孔的侧壁活动抵接。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁智高，吴立勤，
申请(专利权)人：研创自动化设备惠州有限公司，
类型：新型
国别省市：