本发明专利技术涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，炉体的内侧固定安装有环形板，环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。同尺寸的水冷热屏的问题。同尺寸的水冷热屏的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉生产用智能水冷装置
[0001]本专利技术涉及单晶炉生产
，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置。
技术介绍
[0002]单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法。单晶炉通过直拉法制造单晶硅时，要将多晶硅置于石英坩埚中，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的籽晶在周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。传统的控温方式是通过在单晶炉中增加水冷热屏，在水冷热屏中通入冷却液体，晶棒在向上移动经过水冷热屏时，通过水冷热屏带走结晶产生的热量。
[0003]现有的技术中，水冷热屏的结构较为固定，当生产不同直径的单晶硅棒时，为了保证单晶硅棒和水冷热屏之间有较小的间隔且加快单晶硅棒的冷却，需要在生产加工前更换合适大小的水冷热屏，当上一组单晶硅棒刚刚生产完成时，单晶炉内的温度较高，难以立刻对水冷热屏进行更换，而现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏。
[0004]基于此，本专利技术设计了一种单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种具有可以改变水冷热屏尺寸的功能的单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述
技术介绍
中提出了的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，所述炉体的内侧固定安装有环形板，所述环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，所述驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个所述第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，所述连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干所述第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，所述通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外。
[0007]作为本专利技术的进一步方案，所述连接机构包括第二水冷板靠近环形板中心的一侧皆开设的连接槽，所述第一水冷板相互靠近的一侧皆固定安装有连接块，所述连接块皆处于连接槽的内侧并与之滑动相连接，所述第一水冷板的端部皆与第二水冷板的侧壁紧密贴合，所述第一水冷板的顶端固定安装有第一连接板，所述第二水冷板的顶端皆固定安装有第二连接板，所述第二连接板的底端皆与环形板的顶端滑动连接，所述第一连接板的底端皆与第二连接板的顶端滑动连接，所述第一连接板远离第一水冷板的一端设置有密封机构，所述密封机构用于对第一连接板与连接环之间进行密封。
[0008]作为本专利技术的进一步方案，所述第一水冷板的中部皆开设有第一水槽，所述第二
水冷板的中部皆开设有第二水槽，所述第二水槽的内侧皆滑动连接有两个水板，所述连接块远离环形板中心的一端皆固定安装有C形杆，所述C形杆的底端靠近第二水冷板的一侧皆穿过第二水冷板，并与水板固定相连接，相邻的两个所述C形杆的竖直端长度不同，所述C形杆的底端皆固定安装有密封板，所述密封板皆与第二水冷板紧密贴合且对第二水冷板与C形杆的接口处进行遮挡。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述密封机构包括第一连接板远离环形板中心的一端皆固定安装的弧形杆，所述弧形杆的底端皆与环形板相贴合，所述弧形杆的两端皆固定安装有滑杆，所述滑杆的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆，所述L形杆皆与第一连接板和第二连接板紧密贴合。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述驱动机构包括第一连接板顶端皆固定安装的固定块，所述环形板的顶端固定安装有若干与固定块一一对应的安装块，所述安装块的顶端皆转动连接有螺杆，所述螺杆靠近第一水冷板的一端皆穿过固定块并与之螺纹连接，所述安装块靠近固定块的一侧皆固定安装有导向杆，所述导向杆的另一端皆穿过固定块并与之滑动相连接，若干所述螺杆之间通过同步机构相连接，所述同步机构用于从炉体的外侧驱动若干螺杆同步转动。
[0011]作为本专利技术的进一步方案，所述同步机构包括环形板顶端固定安装的若干限位块，若干所述限位块的顶端滑动连接有第一环形锥齿轮，若干所述限位块用于限制第一环形锥齿轮稳定转动，所述螺杆靠近安装块的一端外侧皆固定安装有第二环形锥齿轮，所述第二环形锥齿轮皆与第一环形锥齿轮相啮合，所述炉体的左端转动连接有转动杆，所述转动杆的右端固定安装有传动锥齿轮，所述传动锥齿轮与第一环形锥齿轮相啮合。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述通水机构包括环形板顶端固定安装的第一环形管，所述第一环形管远离炉体内壁的一侧固定安装有若干第一套管并与之相连通，所述第一水冷板的顶端皆固定安装有异形管，所述异形管的底端皆与第一水槽相连通，且所述异形管的另一端皆穿过第一套管并与之滑动相连接，所述第二水冷板的顶端皆固定安装有进水管，所述进水管的底端皆与第二水槽相连通，且所述进水管的另一端皆穿过第一套管并与之滑动相连接，所述第一环形管的右端穿过炉体并与外界相连通，所述第一水冷板和第二水冷板的底端设置有排水机构，所述排水机构用于将第一水槽和第二水槽内的液体排到炉体外。
[0013]作为本专利技术的进一步方案，所述排水机构包括炉体内壁固定安装的第二环形管，所述第二环形管远离炉体内壁的一侧固定安装有若干第二套管并与之相连通，所述第一水冷板底端和第二水冷板的底端皆固定安装有排水管，若干所述排水管的其中一端分别与第一水槽和第二水槽相连通，且若干所述排水管的另一端皆穿过第二套管并与之滑动相连接。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]1.本专利技术通过第一水冷板和第二水冷板，驱动机构启动带动若干第一水冷板同步向炉体的内壁移动，第一水冷板移动的同时推动第二水冷板向炉体的内壁移动，从而使得第一水冷板和第二水冷板所围成的范围增大，方便了工作人员根据所需生产的硅棒直径进行调节，使得该装置可以适用于不同尺寸硅棒的生产时使用，增加了本装置的适用性。
[0016]2.本专利技术通过设置驱动机构，使得工作人员在炉体的外部即可对第一水冷板和第
二水冷板进行调节，当炉体刚刚完成一组生产并需要继续生产其他尺寸的硅棒时，工作人员无需将炉体打开进行调节和更换，避免了更换过程中炉体内热量的流失，减少了能源的浪费，同时节省了生产加工的成本，操作步骤十分简单，给工作人员的工作带来了便利，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。
附图说明
[0017]图1为本专利技术总体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术前视角内部结构剖面结构示意图；
[0019]图3为本专利技术前俯视角内部结构阶梯剖结构示意图；
[0020]图4为本专利技术图3中A处放大结构示意图；
[0021]图5为本专利技术中第一套管和异形管连接结构示意图；
[0022]图6为本专利技术图5中B处放大结构示意图；
[0023]图7为本专利技术中第二水槽和进水管连接结构示意图；...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)的内侧固定安装有环形板(2)，所述环形板(2)的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板(2)孔洞内壁环形阵列的第一水冷板(3)，所述驱动机构用于驱动若干第一水冷板(3)同步向环形板(2)的中心移动或远离其中心，相邻的两个所述第一水冷板(3)相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板(4)，所述连接机构用于当第一水冷板(3)移动时带动若干第二水冷板(4)同步移动，且二者之间的角度不变，若干所述第一水冷板(3)和若干第二水冷板(4)之间设置有通水机构，所述通水机构用于将冷却水从第一水冷板(3)和第二水冷板(4)的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体(1)外。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述连接机构包括第二水冷板(4)靠近环形板(2)中心的一侧皆开设的连接槽(5)，所述第一水冷板(3)相互靠近的一侧皆固定安装有连接块(6)，所述连接块(6)皆处于连接槽(5)的内侧并与之滑动相连接，所述第一水冷板(3)的端部皆与第二水冷板(4)的侧壁紧密贴合，所述第一水冷板(3)的顶端固定安装有第一连接板(7)，所述第二水冷板(4)的顶端皆固定安装有第二连接板(8)，所述第二连接板(8)的底端皆与环形板(2)的顶端滑动连接，所述第一连接板(7)的底端皆与第二连接板(8)的顶端滑动连接，所述第一连接板(7)远离第一水冷板(3)的一端设置有密封机构，所述密封机构用于对第一连接板(7)与连接环之间进行密封。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述第一水冷板(3)的中部皆开设有第一水槽(9)，所述第二水冷板(4)的中部皆开设有第二水槽(10)，所述第二水槽(10)的内侧皆滑动连接有两个水板(11)，所述连接块(6)远离环形板(2)中心的一端皆固定安装有C形杆(12)，所述C形杆(12)的底端靠近第二水冷板(4)的一侧皆穿过第二水冷板(4)，并与水板(11)固定相连接，相邻的两个所述C形杆(12)的竖直端长度不同，所述C形杆(12)的底端皆固定安装有密封板(13)，所述密封板(13)皆与第二水冷板(4)紧密贴合且对第二水冷板(4)与C形杆(12)的接口处进行遮挡。4.根据权利要求2所述的一种单晶炉生产用智能水冷装置，其特征在于：所述密封机构包括第一连接板(7)远离环形板(2)中心的一端皆固定安装的弧形杆(14)，所述弧形杆(14)的底端皆与环形板(2)相贴合，所述弧形杆(14)的两端皆固定安装有滑杆(15)，所述滑杆(15)的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆(16)，所述L形杆(16)皆与第一连接板(7)和第二连接板(8)紧密贴合。5.根据权利要求2所述的一种单晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩永龙，罗乾，苏鑫，薛占福，杨福，余圈珠，高玉顺，高生全，张培顺，伊清华，
申请(专利权)人：阳光能源青海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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