清洗槽及清洗设备制造技术

本申请涉及一种清洗槽及清洗设备。清洗槽包括槽体、分别设于槽体内的固定板和定位件以及紧固件，固定板上设有沿第一方向延伸的通孔，定位件用于定位晶圆载具，定位件朝向固定板的一侧设有用于穿设于通孔的连接件，连接件包括凸伸出通孔的抵接部，抵接部能够沿第一方向抵接于固定板背离定位件的一侧，连接件设有抵接部的一端的端面沿第一方向向连接件内凹陷形成第一安装孔，紧固件穿设于第一安装孔，以使连接件过盈配合于通孔内。上述清洗槽，设置紧固件，以为连接件提供沿第一安装孔的径向的支撑力，防止连接件在与第一方向垂直的方向上发生松动，通过设置抵接部，防止连接件沿第一方向脱出通孔，因此提高了晶圆载具在清洗槽内的定位精度。内的定位精度。内的定位精度。

【技术实现步骤摘要】
清洗槽及清洗设备


[0001]本申请涉及半导体清洗设备
，特别是涉及一种清洗槽及清洗设备。

技术介绍

[0002]清洗是半导体制程中的重要环节，在该环节中，通常将晶圆浸泡于清洗槽内的药液中，以进行晶圆的清洗。为便于将晶圆存取于清洗槽内，相关技术中提供了一种清洗设备，该清洗设备设置用于放置晶圆的晶圆载具，以通过晶圆载具实现对晶圆的搬运，并在清洗槽底部设置定位件，以在晶圆载具放置于清洗槽内时提供定位作用。
[0003]然而，相关技术中，用于将定位件固定在清洗槽底部的螺栓易松动变形，导致晶圆载具在清洗槽内定位精度较低。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对相关技术中晶圆载具在清洗槽内定位精度较低的问题，提供一种提高晶圆载具在清洗槽内的定位精度的清洗槽及清洗设备。
[0005]根据本申请的一个方面，提供一种清洗槽，用于清洗晶圆载具内的晶圆，所述清洗槽包括：
[0006]槽体；
[0007]分别设于所述槽体内且沿第一方向层叠设置的固定板和定位件，所述固定板上设有沿所述第一方向延伸的通孔，所述定位件用于定位所述晶圆载具，且所述定位件朝向所述固定板的一侧设有用于穿设于所述通孔的连接件，所述连接件包括凸伸出所述通孔的抵接部，所述抵接部被配置为能够沿所述第一方向抵接于所述固定板背离所述定位件的一侧，所述连接件设有所述抵接部的一端的端面沿所述第一方向向所述连接件内凹陷形成第一安装孔；以及
[0008]紧固件，穿设于所述第一安装孔，以使所述连接件过盈配合于所述通孔内。/>[0009]上述清洗槽，通过在定位件上设置连接件，并设置穿设于连接件内的紧固件，以通过紧固件为连接件提供沿第一安装孔的径向的支撑力，使连接件过盈配合于通孔内，防止连接件在与第一方向垂直的方向上发生松动。此外，通过在连接件上设置抵接部，抵接部能够沿第一方向与固定板相抵，从而防止连接件沿第一方向朝靠近定位件的一侧脱出通孔，使定位件与固定板连接可靠。因此，使定位件可靠固定于固定板上且不会发生晃动，避免定位件相对固定板偏移，从而提高了晶圆载具在清洗槽内的定位精度。
[0010]在其中一实施例中，所述连接件设有所述抵接部的一端的端面沿所述第一方向向所述连接件内凹陷形成间隙；
[0011]所述连接件的外周壁设有与所述间隙连通的开口；
[0012]所述间隙与所述开口相对的一侧与所述第一安装孔连通，以使所述连接件能够沿所述第一安装孔的径向发生弹性变形。
[0013]在其中一实施例中，所述间隙在所述第一方向上的尺寸大于所述抵接部在所述第
一方向上的尺寸。
[0014]在其中一实施例中，所述间隙的数量为多个，多个所述间隙绕所述第一安装孔的轴线彼此间隔设置。
[0015]在其中一实施例中，全部所述间隙呈圆形阵列排布。
[0016]在其中一实施例中，所述间隙的数量为两个，两个所述间隙分别设于所述抵接部在与所述第一方向垂直的第二方向上的相对两侧；
[0017]所述抵接部环绕所述第一安装孔的轴线设置，且所述抵接部在所述第二方向上的外径尺寸小于所述抵接部在第三方向上的外径尺寸；
[0018]其中，所述第三方向与所述第一方向垂直并与所述第二方向交叉设置。
[0019]在其中一实施例中，所述定位件内设有与所述第一安装孔连通的第二安装孔，所述第二安装孔与所述第一安装孔同轴设置；
[0020]所述紧固件沿所述第一方向远离所述抵接部的一端穿设于所述第二安装孔。
[0021]在其中一实施例中，所述第二安装孔沿所述第一方向贯穿所述定位件；
[0022]所述紧固件包括沿所述第一方向依次设置的第一螺纹部、第二螺纹部和头部，所述第一螺纹部穿设于所述第一安装孔内，所述第二螺纹部穿设于所述第二安装孔内；所述头部的径向尺寸大于所述第二螺纹部的径向尺寸，且所述头部被配置为能够沿所述第一方向抵接于所述定位件背离所述固定板的一侧。
[0023]在其中一实施例中，所述固定板上设有沿所述第一方向贯穿所述固定板的多个第一匀流孔。
[0024]在其中一实施例中，所述定位件上设有沿所述第一方向贯穿所述定位件的第二匀流孔；
[0025]每一所述第二匀流孔与其中一所述第一匀流孔对应，且每一所述第二匀流孔与对应的所述第一匀流孔同轴设置并与对应的所述第一匀流孔连通。
[0026]根据本申请的另一个方面，提供一种清洗设备，包括如上述任一项实施例所述的清洗槽。
附图说明
[0027]图1为相关技术中清洗槽和晶圆载具的使用示意图；
[0028]图2本申请一实施例中清洗槽的爆炸图；
[0029]图3为图2所示实施例中定位件、固定板和紧固件的装配示意图；
[0030]图4为图2所示实施例中定位件的结构示意图；
[0031]图5为图2所示实施例中定位件在另一视角下的结构示意图；
[0032]图6为图5所示实施例中C处的局部放大图；
[0033]图7为本申请另一实施例中清洗槽的爆炸图。
[0034]附图标记说明：
[0035]100、清洗槽；10、槽体；
[0036]20、固定板；21、通孔；22、第一匀流孔；
[0037]30、定位件；31、定位结构；32、第二安装孔；33、第二匀流孔；
[0038]40、紧固件；41、第一螺纹部；42、第二螺纹部；43、头部；
[0039]50、连接件；51、抵接部；511、第一部分；512、第二部分；52、第一安装孔；53、间隙；54、开口；
[0040]200、晶圆载具；201、定位部；
[0041]A、第一方向；B、第二方向。
具体实施方式
[0042]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0043]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0044]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗槽，用于清洗晶圆载具内的晶圆，其特征在于，所述清洗槽包括：槽体；分别设于所述槽体内且沿第一方向层叠设置的固定板和定位件，所述固定板上设有沿所述第一方向延伸的通孔，所述定位件用于定位所述晶圆载具，且所述定位件朝向所述固定板的一侧设有用于穿设于所述通孔的连接件，所述连接件包括凸伸出所述通孔的抵接部，所述抵接部被配置为能够沿所述第一方向抵接于所述固定板背离所述定位件的一侧，所述连接件设有所述抵接部的一端的端面沿所述第一方向向所述连接件内凹陷形成第一安装孔；以及紧固件，穿设于所述第一安装孔，以使所述连接件过盈配合于所述通孔内。2.根据权利要求1所述的清洗槽，其特征在于，所述连接件设有所述抵接部的一端的端面沿所述第一方向向所述连接件内凹陷形成间隙；所述连接件的外周壁设有与所述间隙连通的开口；所述间隙与所述开口相对的一侧与所述第一安装孔连通，以使所述连接件能够沿所述第一安装孔的径向发生弹性变形。3.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述间隙在所述第一方向上的尺寸大于所述抵接部在所述第一方向上的尺寸。4.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述间隙的数量为多个，多个所述间隙绕所述第一安装孔的轴线彼此间隔设置。5.根据权利要求4所述的清洗槽，其特征在于，全部所述间隙呈圆形阵列排布。6.根据权利要求4所述的清洗槽，其特征在于，所述间隙的数量为两个，两个所述间隙分别设于所述抵接部在与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨卫钢，严峰，刘峰松，沈显青，王宏奇，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：