本实用新型专利技术属于集成电路测试的技术领域，公开了一种对接装置、测试头及测试仪。对接装置用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳、运动组件以及驱动组件。外壳设置于测试头并设有供外部设备的销钉插入的对接孔；运动组件转动连接在外壳内，运动组件绕销钉的周向环设用于选择性抱紧销钉的多个锁紧端子。驱动组件与运动组件连接以驱动运动组件转动，使得多个锁紧端子随着运动组件的转动朝向靠近或远离销钉的一侧移动。该对接装置通过利用锁紧端子抱紧销钉，就可以快速完成测试头与外部设备对接锁紧，有效降低了对接难度，同时锁紧主要由销钉与锁紧端子的抵紧程度来决定，其受到干扰的方面较少，有利于提高测试头与外部设备的有效锁紧。的有效锁紧。的有效锁紧。
【技术实现步骤摘要】
一种对接装置、测试头及测试仪
[0001]本技术涉及集成电路测试的
，尤其涉及一种对接装置、测试头及测试仪。
技术介绍
[0002]集成电路测试是指对半导体集成电路的各个性能进行检测，该测试会用到ATE(Automatic Test Equipment，集成电路自动测试机)。ATE在CP(Chip probing，晶圆探针测试)和FT(Final Test，终测)的测试环节之前，需要与相应的prober(探针台)或handler(分选机)等外部设备对接。
[0003]在ATE与外部设备对接之后，需要保持二者的相对位置不发生变动，因此对接过程不仅需要较高精度的导向，还需要在对接后保持较好的锁紧。
[0004]现有技术中，外部设备与ATE对接时，需要先在二者上分别加装工装配件，比如在探针台上加装探针台对接板等，然后才能对二者进行对接及锁紧。但是探针台上的空间是非常有限的。因此，在探针台上加装工装配件，其受到探针台等外部设备的空间限制，不仅工装配件的加装难度较大，还需要将其与测试头和探针台分别适配连接，导致整个对接过程难度较大，而且ATE与外部设备对接之后，二者的锁紧程度受到工装的安装稳定性等多方面因素的干扰，其锁紧的有效性也较低。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种对接装置、测试头及测试仪，其解决了现有技术中测试头与外部设备对接时，由于需要在有限的空间内加装工装配件，导致对接难度较大，锁紧的有效性较低的问题。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：/>[0007]一种对接装置，用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳、运动组件以及驱动组件。所述外壳设置于所述测试头并设有供所述外部设备的销钉插入的对接孔；运动组件转动连接在所述外壳内，所述运动组件绕所述销钉的周向环设有用于选择性抱紧所述销钉的多个锁紧端子。驱动组件与所述运动组件连接以驱动所述运动组件转动，使得多个所述锁紧端子随着所述运动组件的转动朝向靠近或远离所述销钉的一侧移动。
[0008]可选地，所述锁紧端子为锁紧轴，所述锁紧轴的侧壁用于与所述销钉抵紧，所述运动组件包括：旋转盘，所述旋转盘绕所述销钉的周向环设多个供所述锁紧轴滑动的弧形孔，所述弧形孔朝向靠近所述销钉一侧延伸，所述驱动组件与所述旋转盘相连接以带动所述旋转盘转动，使得所述锁紧轴在所述弧形孔内朝向靠近所述销钉一侧滑动。
[0009]可选地，所述对接装置还包括：凹槽和可插入所述凹槽内的凸起，其中一个设置于所述锁紧轴，另一个设置于所述销钉。
[0010]可选地，所述运动组件还包括：固定底板，设置于所述旋转盘下方，所述固定底板设置有多个绕所述销钉周向分布的滑孔，所述锁紧轴远离所述销钉的一端滑动连接在所述
滑孔内。
[0011]可选地，所述驱动组件包括：旋转驱动件，与所述运动组件相连接以驱动所述运动组件绕所述销钉旋转。
[0012]可选地，所述运动组件滑动连接于所述外壳内，所述对接装置还包括：连接环，设置于所述外壳内，所述运动组件设有供所述连接环插入且滑动连接的连接槽，所述连接环的外侧壁、所述运动组件的顶部以及所述外壳的内壁之间形成密封腔；以及气路接口，设置于所述外壳并与外接气源连通，所述外接气源用于与所述驱动组件连通，所述驱动组件用于增大或减小所述密封腔的气压以驱动所述运动组件下降或上升，使得所述锁紧端子带动所述销钉相对于所述外壳移动。
[0013]可选地，所述对接装置还包括：第一密封圈，设置于所述运动组件的外侧并与所述外壳的内侧壁抵紧；第二密封圈，设置于所述连接槽的槽侧壁并与所述连接环的外侧壁抵紧。
[0014]可选地，所述外接气源为与所述气路接口连接的气动装置。
[0015]一种测试头，其包括：测试板；以及如上述中任一项所述的对接装置，设置在所述测试板上。
[0016]一种测试仪，其包括：如上述所述测试头；以及外部设备，所述外部设备设有用于插入所述测试头中对接装置的销钉。
[0017]本技术的有益效果：
[0018]通过该对接装置，外部设备的销钉插入对接孔内，通过驱动组件自动带动运动组件运行，从而将多个锁紧端子向靠近销钉的一侧移动，锁定端子在靠近销钉后，多个锁紧端子会从销钉的周边抱紧销钉，以快速将销钉固定于对接孔内。以此就可以快速完成测试头与外部设备对接锁紧，有效降低了对接难度，同时锁紧主要由销钉与锁紧端子的抵紧程度来决定，其受到干扰的方面较少，有利于提高测试头与外部设备的有效锁紧。
[0019]该测试头通过设置对接装置能够快速实现其与外部设备的对接锁紧，无需再加装工装配件，结构简单，操作方便，有效降低了二者在对接过程中的操作难度。
[0020]该测试仪在进行测试时，通过对接装置的设置，操作人员能够快速完成测试头与外部设备的对接锁紧，从而减少了设备安装连接过程中花费的时间，有效减少了测试过程中花费的时间，提高了测试效率。
附图说明
[0021]图1为本技术一些实施例中对接装置的结构示意图。
[0022]图2为本技术一些实施例中对接装置的爆炸结构示意图。
[0023]图3为本技术一些实施例中对接装置的旋转盘的结构示意图。
[0024]图4为本技术一些实施例中对接装置的仰视图。
[0025]图5为本技术一些实施例中对接装置的剖视图。
[0026]图6为本技术一些实施例中对接装置的旋转盘下降后的剖视图。
[0027]图7为本技术一些实施例中测试头的俯视图。
[0028]图中：
[0029]100、外壳；110、对接孔；120、凸起；130、凹槽；140、连接环；150、密封腔；160、第一
密封圈；170、第二密封圈；200、运动组件；210、旋转盘；211、弧形孔；212、驱动轴；213、连接槽；220、固定底板；221、滑孔；300、驱动组件；310、驱动齿轮；320、驱动齿条；400、销钉；500、锁紧轴；600、测试板。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0031]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对接装置，其特征在于，所述对接装置用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳(100)，设置于所述测试头并设有供所述外部设备的销钉(400)插入的对接孔(110)；运动组件(200)，转动连接在所述外壳(100)内，所述运动组件(200)绕所述销钉(400)的周向环设有用于选择性抱紧所述销钉(400)的多个锁紧端子；以及驱动组件(300)，与所述运动组件(200)连接以驱动所述运动组件(200)转动，使得多个所述锁紧端子随着所述运动组件(200)的转动朝向靠近或远离所述销钉(400)的一侧移动。2.根据权利要求1所述的对接装置，其特征在于，所述锁紧端子为锁紧轴(500)，所述锁紧轴(500)的侧壁用于与所述销钉(400)抵紧，所述运动组件(200)包括：旋转盘(210)，所述旋转盘(210)绕所述销钉(400)的周向环设多个供所述锁紧轴(500)滑动的弧形孔(211)，所述弧形孔(211)朝向靠近所述销钉(400)一侧延伸，所述驱动组件(300)与所述旋转盘(210)相连接以带动所述旋转盘(210)转动，使得所述锁紧轴(500)在所述弧形孔(211)内朝向靠近所述销钉(400)一侧滑动。3.根据权利要求2所述的对接装置，其特征在于，所述对接装置还包括：凹槽(130)和可插入所述凹槽(130)内的凸起(120)，其中一个设置于所述锁紧轴(500)，另一个设置于所述销钉(400)。4.根据权利要求2所述的对接装置，其特征在于，所述运动组件(200)还包括：固定底板(220)，设置在所述旋转盘(210)下方，所述固定底板(220)设置有多个绕所述销钉(400)周向分布的滑孔(221)，所述锁紧轴(500)远离所述销钉(400)的一端滑动连接在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张文，居宁，赵奔，
申请(专利权)人：北京华峰测控技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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