一种光刻胶瓶制造技术

本实用新型专利技术属于涂胶显影设备技术领域，具体涉及一种光刻胶瓶。包括瓶身和瓶盖；瓶盖上安装有进气短管以及出胶管；出胶管穿过瓶盖到达瓶身的底部；进气短管穿过瓶盖到达瓶身的顶部；进气短管的主体部分设置在瓶盖远离瓶身的一侧；出胶管基于固定接头安装在瓶盖上，固定接头设置在瓶盖远离瓶身的一侧。本实用新型专利技术将光刻胶瓶的进气短管以及出胶管的固定接头设置在瓶盖远离瓶身的一侧，避免光刻胶瓶的固定接头干涉光刻胶瓶，能够使光刻胶瓶采用不同口径的出胶管，使光刻胶瓶适用于为涂胶显影机供给不同粘度的光刻胶。给不同粘度的光刻胶。给不同粘度的光刻胶。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶瓶


[0001]本技术属于涂胶显影设备
，具体涉及一种光刻胶瓶。

技术介绍

[0002]光刻胶瓶用于放置光刻胶并安装在涂胶显影机上以供涂胶显影机所需光刻胶；供胶过程中，基于进气短管向光刻胶瓶内充类似于氮气的惰性气体使瓶内气压增大，进而将光刻胶自延伸至光刻胶瓶底部的出胶管挤出。
[0003]为了与涂胶显影机相配合以及生产标准化约束，光刻胶瓶瓶口直径一般是标准化的。当光刻胶的粘度的不同时，进气口、出胶管的管径需作出相应的适应性更改。但是限制于光刻胶瓶的瓶口口径固定，出胶管斜插进光刻胶瓶，因此光刻胶瓶的固定接头可能会干涉光刻胶瓶的瓶口。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提出一种光刻胶瓶，将光刻胶瓶的进气短管以及出胶管的固定接头设置在瓶盖远离瓶身的一侧，避免光刻胶瓶的固定接头干涉光刻胶瓶，能够使光刻胶瓶采用不同口径的出胶管，使光刻胶瓶适用于为涂胶显影机供给不同粘度的光刻胶。
[0005]为了实现上述技术目的，本技术所采用的具体技术方案为：
[0006]一种光刻胶瓶，包括：
[0007本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶瓶，其特征在于，包括：瓶身，同于容纳光刻胶；瓶盖，安装在所述瓶身上，用于封闭所述瓶身的开口；其中：所述瓶盖上安装有进气短管以及出胶管；所述出胶管穿过所述瓶盖到达所述瓶身的底部；所述进气短管穿过所述瓶盖到达所述瓶身的顶部；所述进气短管的主体部分设置在所述瓶盖远离所述瓶身的一侧；所述出胶管基于固定接头安装在所述瓶盖上，所述固定接头设置在所述瓶盖远离所述瓶身的一侧。2.根据权利要求1所述的光刻胶瓶，其特征在于，所述瓶盖包括外罩、转接体以及上固定环；所述转接体设置在所述外罩内，开设有进气短管安装孔和出胶管安装孔；进气短管安装孔连通所述瓶身内外；所述出胶管安装孔连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欢，
申请(专利权)人：上海众鸿半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：