本实用新型专利技术提供了一种测试平台定位工装及测试平台运输装置，涉及集成电路测试设备运输定位技术领域，本实用新型专利技术提供的测试平台定位工装包括底座和调节脚，底座用于安装在测试平台底座上，调节脚与底座连接，调节脚用于支撑测试平台并调整测试平台的高度。本实用新型专利技术提供的测试平台定位工装具有对机械加工误差包容性强、使用便捷、节省空间等优点。节省空间等优点。节省空间等优点。
【技术实现步骤摘要】
测试平台定位工装及测试平台运输装置
[0001]本技术涉及集成电路测试设备运输定位
，尤其是涉及一种测试平台定位工装及测试平台运输装置。
技术介绍
[0002]运输定位工装在半导体行业有着较为广泛的应用，尤其是晶圆测试设备在运输过程中都需要对测试平台进行固定，降低设备在运输时的碰撞损坏风险。晶圆测试设备在运输过程中需要保证测试平台与隔振器没有直接接触和保证测试平台固定牢靠；传统的定位运输工装都是使用螺栓将测试平台与运输工装直接连接，在运输完成之后将定位工装拆卸下来，放在别的地方，下次使用时再重新安装。
[0003]传统的运输定位工装有以下两个缺点：1、在结构上采用固定高度的焊接零件，然后在定位块上打孔连接，由于定位工装高度固定，如加工误差大，会导致定位工装上的孔位与测试平台上的连接孔对不上，进一步导致定位工装不能使用的问题；2、使用不够便捷，占用空间大，由于高度是固定的，因此当设备运输完毕，不需要定位工装支撑测试平台时，需要将定位工装拆下，放到设备旁边的空置空间上，占用空间大，再使用时需要再把定位工装装上去，反复拆卸浪费时间和精力。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种测试平台定位工装及测试平台运输装置，具有对机械加工误差包容性强、使用便捷、节省空间、保证测试平台运输过程的稳定性等优点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0006]第一方面，本技术提供一种测试平台定位工装，包括底座和调节脚，所述底座用于安装在测试平台底座上，所述调节脚与所述底座连接，所述调节脚用于支撑测试平台并调整测试平台的高度。
[0007]进一步地，所述调节脚包括支撑脚和调节组件，所述调节组件的两端分别与所述支撑脚和所述底座连接，所述调节组件用于调节所述支撑脚相对于所述底座的高度。
[0008]进一步地，上述测试平台定位工装包括与所述底座连接的限位板，所述限位板用于限定所述测试平台的位置。
[0009]进一步地，所述限位板上开设有第一限位孔，所述第一限位孔用于配合第一限位件沿竖向限定所述测试平台的位置。
[0010]进一步地，所述限位板上开设有第二限位孔，所述第二限位孔用于配合第二限位件沿横向限定所述测试平台的位置。
[0011]进一步地，所述限位板具有第一安装状态和第二安装状态；
[0012]当所述限位板处于所述第一安装状态时，所述限位板用于对准所述测试平台的侧面；
[0013]当所述限位板处于所述第二安装状态时，所述限位板用于对准所述测试平台下方
的空间。
[0014]进一步地，上述测试平台定位工装还包括转动销和定位件；
[0015]当所述限位板处于所述第一安装状态时，所述限位板通过所述转动销和所述定位件连接于所述底座上；
[0016]当所述限位板处于所述第二安装状态时，所述限位板通过所述转动销连接于所述底座上。
[0017]进一步地，所述底座包括支撑本体以及与所述支撑本体连接的加强筋；所述支撑本体用于安装在所述测试平台底座上；
[0018]当所述限位板处于所述第一安装状态时，所述限位板通过所述转动销与所述支撑本体转动连接，并通过所述定位件与所述支撑本体和/或所述加强筋固接；
[0019]当所述限位板处于所述第二安装状态时，所述限位板通过所述转动销与所述支撑本体转动连接。
[0020]第二方面，本技术还提供一种测试平台运输装置，包括至少两个上述方案所述的测试平台定位工装，各个所述测试平台定位工装分布在所述测试平台的两侧。
[0021]进一步地，上述测试平台运输装置还包括测试平台底座以及多个隔振器，多个所述隔振器以及多个所述测试平台定位工装中的底座均安装于所述测试平台底座上。
[0022]上述测试平台定位工装中，底座可以直接安装在测试平台底座上，在运输过程中，可通过调节脚调整测试平台的高度，保证测试平台与隔振器没有直接接触；运输完毕后，不需要使用工装支撑时，调整调节脚，使得调节脚的高度低于隔振器，实现测试平台的完全下放。
[0023]本技术第一方面提供的测试平台定位工装能产生如下有益效果：
[0024]1、本技术提供的测试平台定位工装高度可调，可在很大程度上包容机械的加工误差，实用性更强；
[0025]2、在运输过程中，需要使用测试平台定位工装支撑时，只需将调节脚的高度调节至高于隔振器，即可将测试平台定位工装作为测试平台的受力点，在不需要使用测试平台定位工装支撑时，只需将调节脚的高度调节至低于隔振器，即可使隔振器作为测试平台的受力点，使用方便快捷。
[0026]3、完成运输后，只需要将调节脚的高度调整至低于隔振器，即可实现测试平台的下放，测试平台定位工装无需自测试平台底座上拆卸下来，便不需要额外的空间放置，节省空间。
[0027]本技术第二方面提供的测试平台运输装置包括有至少两个测试平台定位工装，各个测试平台定位工装分布在测试平台的两侧，具有对机械加工误差包容性强、使用便捷、占用空间小、可对测试平台完全定位夹紧等优点。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术实施例提供的一种测试平台定位工装处于第一安装状态时的三维结构示意图；
[0030]图2为本技术实施例提供的一种测试平台定位工装处于第二安装状态时的三维结构示意图；
[0031]图3为本技术实施例提供的测试平台运输装置的三维结构示意图；
[0032]图4为本技术实施例提供的测试平台运输装置的正视图；
[0033]图5为本技术实施例提供的测试平台运输装置的俯视图。
[0034]图标：1
‑
底座；11
‑
支撑本体；12
‑
加强筋；2
‑
调节脚；21
‑
支撑脚；22
‑
调节组件；3
‑
限位板；31
‑
第一限位孔；32
‑
第二限位孔；4
‑
测试平台底座；5
‑
限位组件；51
‑
第一限位件；52
‑
第二限位件；6
‑
测试平台；7
‑
转动销；8
‑
定位件；9
‑
隔振器。
具体实施方式
[0035]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种测试平台定位工装，其特征在于，包括底座(1)和调节脚(2)，所述底座(1)用于安装在测试平台底座(4)上，所述调节脚(2)与所述底座(1)连接，所述调节脚(2)用于支撑测试平台(6)并调整测试平台(6)的高度。2.根据权利要求1所述的测试平台定位工装，其特征在于，所述调节脚(2)包括支撑脚(21)和调节组件(22)，所述调节组件(22)的两端分别与所述支撑脚(21)和所述底座(1)连接，所述调节组件(22)用于调节所述支撑脚(21)相对于所述底座(1)的高度。3.根据权利要求1或2所述的测试平台定位工装，其特征在于，还包括与所述底座(1)连接的限位板(3)，所述限位板(3)用于限定所述测试平台(6)的位置。4.根据权利要求3所述的测试平台定位工装，其特征在于，所述限位板(3)上开设有第一限位孔(31)，所述第一限位孔(31)用于配合第一限位件(51)沿竖向限定所述测试平台(6)的位置。5.根据权利要求3所述的测试平台定位工装，其特征在于，所述限位板(3)上开设有第二限位孔(32)，所述第二限位孔(32)用于配合第二限位件(52)沿横向限定所述测试平台(6)的位置。6.根据权利要求3所述的测试平台定位工装，其特征在于，所述限位板(3)具有第一安装状态和第二安装状态；当所述限位板(3)处于所述第一安装状态时，所述限位板(3)用于对准所述测试平台(6)的侧面；当所述限位板(3)处于所述第二安装状态...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈思乡，孟恒，杜振东，徐焕，雷传，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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