版图拆分方法及计算机介质技术

本发明专利技术涉及光刻技术领域，特别涉及一种版图拆分方法及计算机介质，本发明专利技术的拆分方法包括以下步骤：获取初始版图，通过预设方式将获取的初始版图分割成多个预设板块；将预设板块依据空间布局进行判定及定义；采用预设排列方式，基于定义的结果将所述预设板块进行重构，得到重构版图；将重构版图的预设板块基于预设标准进行着色拆分并分组；基于分组结果进行预设排布得到需求版图。通过将初始版图进行分割、重构及分组，使初始版图的间隙扩大，空间周期加倍，进而使得获取的需求版图可以实现图形的转移，更利于工作，提高了拆分的一致性及稳定性，处理速度，同时平衡了预设板块面积的占比。比。比。

【技术实现步骤摘要】
版图拆分方法及计算机介质


[0001]本专利技术涉及光刻
，特别涉及一种版图拆分方法及计算机介质。

技术介绍

[0002]随着集成电路设计特征尺寸发展得越来越小，当前曝光系统在光刻时图形会产生严重的畸变，这使得浸没式光刻，光学临近效应修正等分辨率增强技术逐渐被广泛应用。目前主流使用的是光刻机是193nm浸没式光刻机，能够处理28nm节点的芯片制造，但对于更小的尺寸，比如14nm节点，就需要双重光刻乃至多重光刻技术；目前的双层掩膜板技术其后段拆分行为多采用解算机进行处理，使得其拆分结果对于同类型版图具有随机性，且对于多间隙共存的版图，不能优先拆开间隙更小的版图，使得拆分后版图的处理和曝光更为困难。

技术实现思路

[0003]为平衡了两张版图多边形面积占比的密度，本专利技术提供了一种版图拆分方法及计算机介质。
[0004]本专利技术解决技术问题的方案是提供一种版图拆分方法包括以下步骤：获取初始版图，通过预设方式将获取的初始版图分割成多个预设板块；将预设板块依据空间布局进行判定及定义；采用预设排列方式，基于定义的结果将所述预设板块进行重构，得到重构版图；将重构版图的预设板块基于预设标准进行着色拆分并分组；基于分组结果进行预设排布得到需求版图。
[0005]优选地，所述预设方式获取预设板块包括以下步骤：确定获取的初始版图的空间布局；将初始版图基于所述空间布局分成多个不同形状的预设板块。
[0006]优选地，将预设板块依据空间布局进行判定及定义具体包括如下步骤：获取相邻两个预设板块的间距信息；比较所述间距信息与预设间距阈值的大小；若相邻两个预设板块的间距信息大于所述预设间距阈值，则判定为冲突板块；若相邻两个预设板块的间距信息小于所述预设间距阈值，则判定为非冲突板块。
[0007]优选地，基于预设标准进行着色具体为先针对冲突板块进行着色，然后再对非冲突板块着色，对冲突板块进行着色包括以下步骤：将所述冲突板块进行分组；将每一组的部分冲突板块进行第一颜色的预着色；在同一组内对未着色的预设板块依据冲突进行第二颜色预着色或绑定着色；第一颜色及第二颜色依次反转着色直到所述冲突板块完全着色。
[0008]优选地，进行第二颜色预着色或绑定着色时，会优先考虑距离最近的已着色预设板块进行反转。
[0009]优选地，对所述非冲突板块着色包括以下步骤：设置多层级空间阈值；基于冲突板块的着色结果及所述多层级空间阈值对所述非冲突板块进行分组；将所述冲突板块的预着色及绑定着色作为着色起点，所述非冲突板块基于所述着色起点进行反转着色。
[0010]优选地，基于多层级空间阈值，相邻两个层级的所述预设板块基于上一层级的着色结果进行整体反转放置。
[0011]优选地，同一组中未着色非冲突板块会以已着色预设板块作为起点进行反转着色。
[0012]优选地，所述预设排布方式包括相邻两个不同分组共用一个预着色为着色起点和/或相邻两个不同层级共用一个预着色为着色起点。
[0013]本专利技术为解决上述技术问题还提供一种计算机介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于：所述处理器执行所述计算机程序时，实现如上所述的版图拆分方法。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的一种版图拆分方法及计算机介质具有以下优点：
[0015]1、本专利技术的版图拆分方法，包括以下步骤：获取初始版图，通过预设方式将获取的初始版图分割成多个预设板块；将预设板块依据空间布局进行判定及定义；采用预设排列方式，基于定义的结果将所述预设板块进行重构，得到重构版图；将重构版图的预设板块基于预设标准进行着色拆分并分组；基于分组结果进行预设排布得到需求版图。通过将初始版图进行分割、重构及分组，使初始版图的间隙扩大，空间周期加倍，进而使得获取的需求版图可以实现图形的转移，更利于工作，提高了拆分的一致性及稳定性，处理速度，同时平衡了预设板块面积的占比。
[0016]2、本专利技术的版图拆分方法，预设方式获取预设板块包括以下步骤：确定获取的初始版图的空间布局；将初始版图基于空间布局分成多个不同形状的预设板块。空间布局包括预设板块之间的距离，预设板块的形状以及周围预设板块的摆放位置，通过处理器进行分析并获取，为后续对预设板块的重构及种类定义提供基础。
[0017]3、本专利技术的版图拆分方法，将预设板块依据空间布局进行判定及定义具体包括如下步骤：获取相邻两个预设板块的间距信息；比较所述间距信息与预设间距阈值的大小；若相邻两个预设板块的间距信息大于预设间距阈值，则判定为冲突板块；若相邻两个预设板块的间距信息小于预设间距阈值，则判定为非冲突板块。通过此方法，将预设板块大致分为两种类型，为后续对预设板块的重构及着色进一步打下基础。
[0018]4、本专利技术的版图拆分方法，基于预设标准进行着色具体为先针对冲突板块进行着色，然后再对非冲突板块着色，对冲突板块进行着色包括以下步骤：将冲突板块进行分组；将每一组的部分冲突板块进行第一颜色的预着色；在同一组内对未着色的预设板块依据冲突进行第二颜色预着色或绑定着色；第一颜色及第二颜色依次反转着色直到冲突板块完全着色。通过此方法，将冲突板块进行重构并分组，再通过预着色及反转着色使冲突板块依次排列，提高了着色的一致性和稳定性，进而平衡了多张版图预设板块面积的占比密度。
[0019]5、本专利技术的版图拆分方法，进行第二颜色预着色或绑定着色时，会优先考虑距离最近的已着色预设板块进行反转。通过此方法，可以降低处理器的运算量，提高运算效率，且优先选择距离最近的已着色预设板块做参考并反转能防止长距离移动将移动路径上的预设板块空间布局打散，增加工作量。
[0020]6、本专利技术的版图拆分方法，对非冲突板块着色包括以下步骤：设置多层级空间阈值；基于冲突板块的着色结果及多层级空间阈值对非冲突板块进行分组；将冲突板块的预着色及绑定着色作为着色起点，非冲突板块基于着色起点进行反转着色。通过此方法，进一步提高了着色的一致性及稳定性，且非冲突板块与冲突板块的穿插结构能进一步降低预设板块移动的距离，进而降低运算量，提高工作效率。
[0021]7、本专利技术的版图拆分方法，基于多层级空间阈值，相邻两个层级的预设板块基于上一层级的着色结果进行整体反转放置。通过此方法，进一步提高了着色的一致性及稳定性。
[0022]8、本专利技术的版图拆分方法，同一组中未着色非冲突板块会以已着色预设板块作为起点进行反转着色。未着色的非冲突板块会以已着色的预设板块作为参考点进行反转着色，使结果的着色一致性进一步提高。
[0023]9、本专利技术的版图拆分方法，预设排布方式包括相邻两个不同分组共用一个预着色为着色起点和/或相邻两个不同层级共用一个预着色为着色起点。通过此方法，进一步提高了着色的一致性及稳定性。
[0024]10、本专利技术还提供一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于：处理器执行计算机程序时，实现如上所述的版图拆分方法，具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种版图拆分方法，其特征在于：包括以下步骤：获取初始版图，通过预设方式将获取的初始版图分割成多个预设板块；将预设板块依据空间布局进行判定及定义；基于定义的结果将所述预设板块进行重构，得到重构版图；将重构版图的预设板块基于预设标准进行着色拆分并分组；基于分组结果进行预设排布得到需求版图。2.如权利要求1所述的版图拆分方法，其特征在于：所述预设方式获取预设板块包括以下步骤：确定获取的初始版图的空间布局；将初始版图基于所述空间布局分成多个不同形状的预设板块。3.如权利要求1所述的版图拆分方法，其特征在于：所述将预设板块依据空间布局进行判定及定义具体包括如下步骤：获取相邻两个预设板块的间距信息；比较所述间距信息与预设间距阈值的大小；若相邻两个预设板块的间距信息大于所述预设间距阈值，则判定为冲突板块；若相邻两个预设板块的间距信息小于所述预设间距阈值，则判定为非冲突板块。4.如权利要求3所述的版图拆分方法，其特征在于：基于预设标准进行着色具体为先针对冲突板块进行着色，然后再对非冲突板块着色，对冲突板块进行着色包括以下步骤：将所述冲突板块进行分组；将每一组的部分冲突板块进行第一颜色的预着色；在同一组内对未着色的预设板块依据冲突进行第二颜色预着色或绑定着色；第...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓星磊，陈钊，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：