条载波导调制结构、调制方法及调制系统技术方案

本公开提供的条载波导调制结构、调制方法及调制系统，所述调制结构包括：采用能对外加电信号产生相应物理性质响应的材料制成的薄膜，形成于薄膜层之上且折射率低于薄膜的条载波导，条载波导与薄膜共同用于引导TE模式的输入光信号在本调制结构中的行进方向并对输入光信号进行调制，以及形成于薄膜之上的条载波导两侧的第一电极和第二电极，两电极的折射率均低于条载波导，用于承载外加电信号，以在两电极之间的薄膜和条载波导中产生随外加电信号同步变化的电场。本公开可解决现有集成电光调制器加工技术壁垒高和电光调制性能差的问题，具有制备工艺简单、电光调制性能高的优点。电光调制性能高的优点。电光调制性能高的优点。

【技术实现步骤摘要】
条载波导调制结构、调制方法及调制系统


[0001]本公开属于集成光学、光通信
，特别涉及一种条载波导调制结构、调制方法及调制系统。

技术介绍

[0002]集成光通信器件具有小型化、高速化、低功耗的优势，正在逐渐取代传统晶体光通信器件成为数据中心的核心交换部件。集成电光调制器用来将数据处理系统所用的电信号转换为数据传输所用的光信号，是大型数据中心光网络和光通信系统中的核心组件。集成电光调制器利用能对外加电信号产生某种物理性质响应的材料，将外加电信号的频率、强度、相位等特性实时地转化到输入光信号上，使得光信号能够携带外加电信号的信息。
[0003]在集成电光调制器领域中，上述能对电信号产生某种物理性质响应的材料可为铌酸锂，这一响应通常为电光效应。当前大规模商用的铌酸锂电光调制器采用铌酸锂晶体和钛扩散波导技术制作，通常体积较大(封装长度约为10厘米量级)，调制速率较低(常见的调制速率为10GHz，20GHz或40GHz)。采用薄膜铌酸锂波导结构的调制器可将体积减小(封装长度约为3厘米)，调制速率提升(先进水平已可达到100GHz)，但加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种条载波导调制结构，其特征在于，包括：薄膜，所述薄膜采用能对外加电信号产生相应的物理性质响应的材料制成；条载波导，形成于所述薄膜层之上，所述条载波导的折射率低于所述薄膜的折射率但高于所述条载波导上方的介质的折射率，所述条载波导与所述薄膜共同用于引导输入光信号在所述条载波导调制结构中的行进方向并对所述输入光信号进行调制，所述输入光信号的模式为TE模式；以及第一电极和第二电极，形成于所述薄膜之上的所述条载波导两侧，所述第一电极和所述第二电极的折射率均低于所述条载波导的折射率，用于承载外加电信号，以在所述第一电极和所述第二电极之间的所述薄膜和所述条载波导中产生随外加电信号同步变化的电场。2.根据权利要求1所述的条载波导调制结构，其特征在于，所述外加电信号产生的电场的主方向、所述薄膜物理性质变化的主方向和所述输入光信号的偏振的主方向相同。3.根据权利要求1所述的条载波导调制结构，其特征在于，所述输入光信号在y、z方向主要被局域在位于所述条载波导正下方的所述薄膜之中，所述输入光信号在x方向沿所述条载波导传播，x、y、z方向分别沿所述条载波导的轴向、高度方向和宽度方向布设。4.根据权利要求1所述的条载波导调制结构，其特征在于，所述薄膜采用铌酸锂、氮化铝、钛酸锂、磷...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杨，祁一凡，郝婷，陆龙钊，
申请(专利权)人：珠海光库科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：