【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头及方法
[0001]本专利技术涉及快速抽真空及充气
,尤其涉及一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头及方法,该抽真空而后充装特种气体的抽真空及充气组合快速接头装置,特别是在抽真空过程中或充完特种气体后可直接将公接头拔出,不影响真空腔室内真空度的快速接头装置。
技术介绍
[0002]目前,真空腔室通常配置球阀,球阀固定安装在真空腔室上,一端与真空腔室相连,球阀处于截止状态,保持真空腔室的真空度。真空腔室抽真空时,球阀另一端与真空发生器相连,打开球阀,抽真空完毕,先关闭球阀,然后解除真空发生器与球阀连接。充气时,先将球阀另一端与特种气体管道相连,打开特种气体管道阀门、打开球阀,对真空腔体进行充气,充气完毕,先关闭球阀,然后关闭特种气体管道阀门,解除球阀与特种气体管道连接。
[0003]球阀具备操件简单的特点,但应用于高真空工况时,泄漏率大,且采用球阀需配套适用的管接头,增加真空泄漏点;球阀外形尺寸大,安装在真空腔室上不美观,影响真空腔体的整体集成。
技术实现思路
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头,其特征是:由公接头和母接头组成,所述母接头一端设置在真空腔室壁内,与真空腔室连通,母接头另一端与公接头一端插装对应,公接头另一端与抽真空装置或特种气体管道相连;所述母接头与公接头在分离状态、插入过程及结合状态均具有无泄漏真空密封功能;所述母接头设置成插装结构,包含母接头体(1)、弹簧座(2)、孔用挡圈(12)、O形圈(13)、弹簧(4)、母接头阀芯(3)、母接头阀芯密封件(14)、O形圈(15),母接头体(1)外侧设置两道密封沟槽及连接螺纹,配两件密封圈与真空腔室壁插装孔密封,其连接螺纹与真空腔体连接螺纹配合连接;母接头体(1)内腔一端依序设置弹簧座(2)、弹簧(4)、母接头阀芯(3)、母接头阀芯密封件(14);孔用挡圈(12)将弹簧座(2)轴向限位,弹簧(4)装置在弹簧座(2)与母接头阀芯(3)之间,弹簧(4)弹簧力推动母接头阀芯(3)及装在母接头阀芯(3)上的母接头阀芯密封件(14)进入母接头体(1)内腔密封孔内形成密封;母接头体(1)内腔另一端设置O形圈(15),用于公接头与母接头快速插接时,O形圈(15)先与公接头上公接头体(5)接触形成密封装置。2.根据权利要求1所述的一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头,其特征是:所述母接头体(1)内腔孔口处为方孔结构,方孔后设置内槽,与方孔形成台阶面,作为公接头体(5)的锁止面;母接头体(1)外端面设置两只定位销孔,作为公接头上定位套(7)轴向定位孔。3.根据权利要求1所述的一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头,其特征是:所述母接头阀芯(3)与母接头体(1)内腔孔配合的外圆表面设置流道槽,用于实现母接头阀芯(3)在公接头(5)顶推移动后保持与母接头体(1)内孔配合,同时形成母接头与公接头插接后的连通流道;其中母接头阀芯(3)一端设置弹簧定位台阶面,保持弹簧(4)安装对中,母接头阀芯(3)另一端设置外圆锥结构,用于当母接头与公接头快速插接时,该外圆锥与公接头阀芯(9)端部设置的内圆锥孔结合,保持母接头与公接头结合后母接头阀芯(3)与公接头阀芯(9)位置对中。4.根据权利要求1所述的一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头,其特征是:所述弹簧(4)预装载荷对母接头阀芯(3)产生的推力大于大气压对母接头阀芯(3)产生的推力,用于实现母接头对真空腔室的可靠真空密封。5.根据权利要求1所述的一种真空腔室抽真空及充气组合快速接头,其特征是:所述公接头包含公接头体(5)、锁紧定位销(6)、轴用挡圈(16)、定位套(7)、公接头阀芯密封件(17)、定位套弹簧(8)、公接头阀芯(9)、公接头阀芯弹簧(10)、外接接头(11)、外接头密封件(18),公接头与母接头连接采用快插啮齿结构,外接采用螺纹、法兰结构,公接头为螺纹,公接头体(5)内孔内设置公接头阀芯(9)、公接头阀芯密封件(17)、公接头阀芯弹簧(10)及外接接头(11)、外接头密封件(18);公接头体(5)与公接头阀芯(9)配合面采用锥孔配合定位,控制径向与轴向自由度;公接头阀芯密封件(17)设置在公接头阀芯(9)锥面上,用于公接头阀芯(9)在公接头阀芯弹簧(10)弹簧力作用下,公接头阀芯(9)锥面与接头体(5)接触,压紧公接头阀芯密封件(17)为公接头入口的外接接...
【专利技术属性】
技术研发人员:王海露,赵栋,丁幸波,沈锦喜,
申请(专利权)人:中国人民解放军军事科学院国防工程研究院工程防护研究所,
类型:发明
国别省市:
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