一种混气装置、方法及半导体工艺系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种混气装置、方法及半导体工艺系统，包括第一气体输送单元、第二气体输送单元、浓度监测单元、混合缓冲单元、排气单元、泄压单元和吹扫单元。其优点在于，通过浓度监测单元可以进行高精度、低浓度的气体稀释，从而满足不同的工艺要求；利用混合缓冲单元将第一气体输送单元输送的第一气源和第二气体输送单元输送的第二气源进行现场混合稀释以达到工艺要求的浓度，延长了第二气源的单次使用时间，降低更换第二气源的的频率，进提高工艺效率；通过排气单元、泄压单元和吹扫单元的配合，可以对混气装置的管路以及混合缓冲单元进行排空、吹扫、泄压，满足洁净要求，避免残留前次工艺气源，从而可以进行更换气源操作。从而可以进行更换气源操作。从而可以进行更换气源操作。

【技术实现步骤摘要】
一种混气装置、方法及半导体工艺系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种混气装置、方法及半导体工艺系统。

技术介绍

[0002]在半导体生产工艺中，一般会用到混合气体，例如20PPM～200PPM的PH3/H2、B2H6/H2等、3％～5％的H2/N2等等不同比例的混合气体。对于外延设备而言，其会用到很多低浓度的PH3/H2、B2H6/H2。半导体工艺在使用这些气体时，对气体浓度的稳定性有很高的要求，一般气体的供应方式是40L或47L的成品混气钢瓶。
[0003]在每次钢瓶使用完后，都需要对管路重新进行吹扫置换，以清除管路内残存的混合气体，然后进行钢瓶更换。然而，一旦用气量增大，若无法使用大钢瓶进行供气，则更换钢瓶的频率就会增加，不仅增加工艺成本，还会影响到工艺的效率。
[0004]此外，由于部分混合气体有保质期。若长时间不使用混合气体，混合气体会分解，进而影响气体浓度，无法保证气体浓度的精确性，从而影响工艺效率。
[0005]为了解决上述问题，现有技术中采用现场混气的方式。一般地，将两种不同的气源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混气装置，其特征在于，包括：第一气体输送单元，用于向下游输送第一气源；第二气体输送单元，用于向下游输送第二气源；浓度监测单元，所述浓度监测单元与所述第二气体输送单元连通，用于监测所述第二气源的浓度；混合缓冲单元，所述混合缓冲单元分别与所述第一气体输送单元、所述第二气体输送单元连通，用于将所述第一气源和所述第二气源混合以得到混合气源，并将所述混合气源向工艺腔室输送；排气单元，所述排气单元分别与所述第一气体输送单元、所述第二气体输送单元、所述混合缓冲单元连通；泄压单元，所述泄压单元分别与所述第一气体输送单元、所述第二气体输送单元、所述混合缓冲单元、所述排气单元连通；吹扫单元，所述吹扫单元分别与所述第一气体输送单元、所述第二气体输送单元连通。2.根据权利要求1所述的混气装置，其特征在于，所述第一气体输送单元包括：第一气体输送元件，与所述混合缓冲单元连通，用于向所述混合缓冲单元输送第一气源；第一阀元件，所述第一阀元件设置于分别与所述第一气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于控制管路开闭；第二阀元件，所述第二阀元件设置于分别与所述第一气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，并位于所述第一阀元件的下游，用于控制管路开闭；第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于分别与所述第一气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于监测管路压力；第一流量监测元件，所述第一流量监测元件设置于分别与所述第一气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于监测所述第一气源的流量。3.根据权利要求1所述的混气装置，其特征在于，所述第二气体输送单元包括：第二气体输送元件，与所述混合缓冲单元连通，用于向所述混合缓冲单元输送第二气源；第三阀元件，所述第三阀元件设置于分别与所述第二气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于控制管路开闭；第四阀元件，所述第四阀元件设置于分别与所述第二气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，并位于所述第三阀元件的下游，用于控制管路开闭；第二压力监测元件，所述第二压力监测元件设置于分别与所述第二气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于监测管路压力；第二流量监测元件，所述第二流量监测元件设置于分别与所述第二气体输送元件、所述混合缓冲单元连通的管路，用于监测所述第二气源的流量。4.根据权利要求1所述的混气装置，其特征在于，所述混合缓冲单元包括：混合缓冲元件，所述混合缓冲元件分别与所述第一气体输送单元、所述第二气体输送单元、所述排气单元、所述泄压...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，范威威，纪雪峰，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：