用于钙钛矿太阳能模块的快速混合化学气相沉积制造技术

本文描述了用于执行快速混合化学气相沉积的系统和方法。在一个实施方式中，将第一类型的前体材料沉积在基板上。基板被放置在加热装置的接受器中，该加热装置被配置为向该接受器的至少一部分提供热量。将第二类型的前体材料放置在该加热装置的该接受器中，使得该有机化合物比该基板更靠近该加热装置的气源。创建通过该加热装置的该接受器的气流。该加热部件用于导致包括该基板和该第二类型的前体材料的该接受器的一部分被加热。在该加热过程期间，该第二类型的前体材料的至少一部分被沉积在该第一类型的前体材料的至少一部分上。在该第一类型的前体材料的至少一部分上。在该第一类型的前体材料的至少一部分上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于钙钛矿太阳能模块的快速混合化学气相沉积


[0001]本公开涉及用于制造钙钛矿太阳能电池的化学气相沉积技术。

技术介绍

[0002]本部分中所描述的方法是可以采用的方法，但不一定是先前设想或采用的方法。因此，除非另外指明，否则不应假定本部分中描述的任何方法仅仅因为它们包含在本部分中就有作为现有技术的资格。进一步，不应假定本部分中所描述的任何方法仅仅因为它们包含在本部分中就是已被充分理解、惯例或常规的。
[0003]钙钛矿作为一种低成本材料，将小面积(0.09cm2)单结太阳能电池的性能提高了高达25.2％，并且当假设1m2模块具有20％的效率和>15年的使用寿命时，预计均化发电成本(levelized cost of electricity,LCOE)低至3.5美分/kWh(相比之下，电网电力的LCOE为7.04
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11.90美分/kWh并且c
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Si太阳能电池的LCOE为9.78
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19.33美分/kWh)，并且这超过了美国能源部(US Department of 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，所述方法包括：在基板上沉积第一类型的前体材料；将所述基板放置在加热装置的接受器中，所述加热装置包括：加热部件，所述加热部件被配置为向所述接受器的至少一部分提供热量；将第二类型的前体材料放置在所述加热装置的所述接受器中，使得所述第二类型的前体材料比所述基板更靠近所述加热装置的气源；创建通过所述加热装置的所述接受器的气流；使用所述加热部件，导致所述包括所述基板和所述第二类型的前体材料的接受器的一部分被加热；其中在加热过程期间，所述第二类型的前体材料的至少一部分被沉积在所述基板上的所述第一类型的前体材料的至少一部分上。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述加热装置包括冷却部件，其中所述方法进一步包括在完成所述加热过程之后，使用所述冷却部件，导致所包括所述基板的述接受器的一部分被冷却。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述冷却部件包括一个或多个风扇、干冰或经冷却的干燥空气流。4.根据权利要求2或3所述的方法，其中所述冷却部件可相对于所述接受器机械地移动，并且其中导致所述接受器的包括所述基板的所述部分被冷却，包括将所述冷却部件移动到启动所述冷却部件的位置，导致所述接受器的包括所述基板的所述部分被冷却。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述加热部件包括红外加热部件。6.根据权利要求1或5所述的方法，其中所述加热部件可相对于所述接受器机械地移动，并且其中导致所述接受器的包括所述基板和所述第二类型的前体材料的所述部分被加热，包括将所述加热部件移动到启动所述加热部件的位置，导致所述接受器的包括所述基板和所述第二类型的前体材料的所述部分被加热。7.根据权利要求1所述的方法，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚亚冰，丘龙斌，何思斯，大野路易斯勝也，
申请(专利权)人：学校法人冲绳科学技术大学院大学学园，
类型：发明
国别省市：