用于控制激光束的聚焦的装置和方法制造方法及图纸

公开了用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的装置、计算机程序、计算机可读介质及方法。将激光束接收至声光偏转器，并向声光偏转器提供声波。该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描。此外，调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。的期望聚焦。的期望聚焦。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于控制激光束的聚焦的装置和方法


[0001]本公开涉及声光偏转器，尤其涉及控制利用声光偏转器偏转的激光束的聚焦。

技术介绍

[0002]在图案生成领域中，例如在掩模印刷中，当在光敏抗蚀剂中印刷图案时，可以使用声光偏转器使一个或更多个光束偏转。声光偏转器包括承受在材料中引起压缩和凹陷的频率的声波的透明材料，例如晶体材料。假如声波的波长比以取决于声波频率的角度穿过材料的光束的光波长足够短，这会使得材料作为偏转光束的光栅。通常，偏转量(即，偏转角度)与声波的频率成正比。因此，通过随着时间增加声波的频率，能够增大偏转角度，从而使光束在被按照期望的图案曝光的光敏抗蚀剂的一部分上扫描(在本文中称为微扫描)。

技术实现思路

[0003]本专利技术人认识到，现有技术的使用声光偏转器的图案生成器的问题在于，激光束在与微扫描方向平行的方向上的焦点在微扫描的长度上变化，从而在微扫描的至少一些部分中，光束在与微扫描平行的方向上没有正确聚焦。这会在印刷图案中引入由微扫描期间的调制激光束产生的误差。当微扫描的长度增加时，焦点会改变得更多。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在微扫描期间控制激光束的聚焦的方法，该方法包括：将激光束接收至声光偏转器；以及向声光偏转器提供声波，其中该声波的频率随着时间变化，以随着时间改变激光束的偏转角度，从而实现激光束的微扫描，其中调整声波在微扫描时间内的频率变化率，使得在激光束穿过声光偏转器时，在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波在微扫描时间内的调整的频率差，其中所述在微扫描时间内的调整的频率差在微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。2.如权利要求1所述的方法，其中，所述在微扫描时间内的调整的频率差在整个微扫描期间引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。3.如权利要求1和2中任一项所述的方法，其中，按照一个函数在微扫描时间内调整声波的频率变化率，在微扫描时间内的每个时刻，在激光束穿过声光偏转器时，该函数在声光偏转器中在与微扫描平行的方向上在激光束宽度上引起声波的频率差，其中该频率差引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。4.如权利要求1
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3中任一项所述的方法，还包括：按照预定图案随着时间调制激光束，其中对激光束的调制进行调整，以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描内的位置变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。5.如权利要求1
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4中任一项所述的方法，还包括：调整微扫描期间的激光束强度以补偿因声波的频率随着时间变化而引起的微扫描速度的变化，从而引起激光束在与微扫描平行的方向上的期望聚焦。6.一种包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装置上被执行时使得处理装置执行如权利要求1
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5中任一项所述的方法。7.一种计算机可读介质，该计算机可读介质在其上存储有包含计算机可读指令的计算机程序，该计算机可读指令在处理装...

【专利技术属性】
技术研发人员：P斯坦斯特罗姆，A斯文森，JO拉森，
申请(专利权)人：迈康尼股份公司，
类型：发明
国别省市：