气浮组件及其制法制造技术

本发明专利技术公开了一种气浮组件及其制法，该制法包含：准备陶瓷生胚；烧结陶瓷生胚以获得烧结体，该烧结体具有相连的上部区域和下部区域，上部区域和下部区域中具有多个孔洞；将包含赋形剂的表面处理剂施加于上部区域的顶面，该表面处理剂的一部分覆盖于该顶面形成表面处理层，其余的表面处理剂从顶面渗透至上部区域和下部区域的界面形成表面节流层，该下部区域形成基底层，以获得复合多孔陶板；将复合多孔陶板设置于具有气体供给口的基座上，以得到该气浮组件；本发明专利技术的气浮组件及其制法可提供压力均匀的气垫层，并避免气锤振动现象，可以承载高重量物品，并且工序简单且原料成本便宜，故能降低制造成本。故能降低制造成本。故能降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】
气浮组件及其制法


[0001]本专利技术涉及一种非接触式载具，尤其涉及一种气浮组件及其制法。

技术介绍

[0002]在超精密加工技术中，无论是定位的精确性或是支承部件的稳定性、还是滑动部件的平顺性等都需要比传统加工技术更精确的力学控制。因此，可提供将空气流作为与工件之间润滑剂的气浮组件，由于没有和工件直接接触，而得以降低气浮组件和工件之间的磨擦力，进而具有产热少、磨损程度降到最低、确保高精度产出等优点。一般而言，气浮组件通常分为使用孔口板(orifice)或多孔介质(porous media)制成的部件以使气体能流动。其中，例如气体静压轴承(aerostatic bearing)是利用如压缩机等外部加压的方式使气体通过节流器导入轴承内，再从孔穿出以形成一气垫并产生静压力而得以负载工件，因此，气垫的刚度和气垫的均匀性对于气体静压轴承的负载能力至关重要。
[0003]虽然，韩国专利技术专利第KR101149350B1号已公开一种具有双层多孔结构的真空吸盘用陶瓷材料，其先由陶瓷原料粉末烧结出具有粗孔的支持层，再于该支持层的其中一表面涂布混合有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮组件的制法，其特征在于，包含以下步骤：步骤(A)：准备一陶瓷生胚，其中，所述陶瓷生胚包含的原料的平均粒径为大于或等于0.05微米且小于或等于3.0微米；步骤(B)：烧结所述陶瓷生胚，以获得一烧结体，其中，所述烧结体具有相连的一上部区域及一下部区域，所述上部区域和所述下部区域中具有多个孔洞；步骤(C)：将一表面处理剂施加于所述烧结体的所述上部区域的一顶面，所述表面处理剂的一部分覆盖于所述顶面形成一表面处理层，所述表面处理剂的其余部分从所述顶面渗透至所述烧结体的所述上部区域和所述烧结体的所述下部区域之间的界面并形成一表面节流层，所述烧结体的所述下部区域形成一基底层，以获得一复合多孔陶板；其中，所述表面处理剂包含一赋形剂；所述复合多孔陶板由上而下依次包括所述表面处理层、所述表面节流层和所述基底层，所述表面处理层具有多个小孔，所述多个小孔的平均孔径小于0.3微米，所述基底层具有多个孔洞，所述多个孔洞的平均孔径小于或等于1微米；以及步骤(D)：将所述复合多孔陶板设置于一基座上，以得到所述气浮组件；其中，所述基座具有一气体供给口，所述气体供给口与所述下部区域的所述孔洞、所述上部区域的所述孔洞、以及所述多个小孔相连通。2.如权利要求1所述的气浮组件的制法，其特征在于，于所述步骤(A)中，所述原料包含一金属氧化物、一硅化物、一碳化物中的一种或其任一组合。3.如权利要求2所述的气浮组件的制法，其特征在于，于所述步骤(A)中，所述原料还包含一增稠剂、一造孔填充剂、一黏结剂、一热膨胀控制剂、一导电控制剂、一静电防止剂、一机械强度控制剂、一摩擦系数调整剂中的一种或其任一组合。4.如权利要求1所述的气浮组件的制法，其特征在于，所述步骤(B)中的所述烧结体的烧结温度为700℃至1200℃。5.如权利要求1所述的气浮组件的制法，其特征在于，所述表面处理剂的所述赋形剂包含碳粉或二氧化钛。6.如权利要求1至5中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄昭竣，何嘉哲，陈泰甲，
申请(专利权)人：台湾中国砂轮企业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：