用于制造显示装置的沉积装置制造方法及图纸

用于制造显示装置的沉积装置包括：沉积器，被配置成喷射沉积物质；以及热成像摄像机模块，其中，所述热成像摄像机模块包括：热成像摄像机，被配置成测量被摄体的温度；透镜，包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，并且与所述热成像摄像机相邻布置；以及热电偶，连接到所述透镜，并且被配置成测量所述透镜的温度。温度。温度。

【技术实现步骤摘要】
用于制造显示装置的沉积装置


[0001]本技术涉及用于制造显示装置的沉积装置。更详细地，本技术涉及将腔室的内部维持在真空状态的用于制造显示装置的沉积装置。

技术介绍

[0002]在制造显示装置的情况下，正在广泛地使用将基板和图案化的金属材质的掩模水平布置在腔室的内部，然后通过朝向所述掩模喷射沉积物质来将所述沉积物质沉积到所述基板的水平向上沉积方法。
[0003]所述水平向上沉积方法为，将相对于所述腔室的底表面水平布置的所述基板和所述掩模相互对准后粘接，并在水平状态下将有机物沉积到所述基板的方法。
[0004]另一方面，当所述基板和所述掩模在未对准的状态下粘接时，可能会发生所述沉积物质渗透到所述基板与所述掩模之间从而导致沉积图案扩散的阴影(shadow)现象。

技术实现思路

[0005]要解决的技术问题
[0006]本技术的一目的是提供工艺可靠性提高的用于制造显示装置的沉积装置。
[0007]然而，本技术的目的不限于上述目的，并且可以在不脱离本技术的思想及领域的范围内进行各种扩展。<br/>[0008]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制造显示装置的沉积装置，其特征在于，包括：沉积器，被配置成喷射沉积物质；以及热成像摄像机模块，其中，所述热成像摄像机模块包括：热成像摄像机，被配置成测量被摄体的温度；透镜，包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，并且与所述热成像摄像机相邻布置；以及热电偶，连接到所述透镜，并且被配置成测量所述透镜的温度。2.根据权利要求1所述的用于制造显示装置的沉积装置，其特征在于，还包括：基板，与所述沉积器相对，并且所述沉积物质沉积到所述基板；掩模，布置在所述基板与所述沉积器之间；以及静电卡盘，布置在所述基板之下，并且支承和固定所述基板。...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹踊晧，朴俊河，全洪柱，许明洙，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：