【技术实现步骤摘要】
一种直写曝光机镜头标定装置
[0001]本技术涉及一种直写曝光机镜头标定装置。
技术介绍
[0002]目前市面上大多数的直写曝光机，采用吸盘相机进行镜头标定。吸盘相机是安装在吸附平台上的CCD或CMOS，通过电机轴带动，移动到各镜头下方，查看DMD投影的图像，完成各镜头中心位置、倍率、焦面、DMD斜排角度、镜头与平台垂直度等信息的测量和标定，根据以上信息，进一步对各镜头曝光情况进行调试和校正。
[0003]此种曝光机镜头标定装置有以下问题：
[0004]由于吸盘相机需要横向移动，有效行程接近整板曝光宽度，需要高精度长行程的滑台模组带动，不光增加设备成本，同时增加平台负载。对负载要求高的平台，吸盘相机组件无疑是一个负担。另外，吸盘相机组件与平台水平分布，占用Y轴方向的空间，也使得Y轴行程延长，业占用了部分曝光时间。
[0005]初次调试时，需要对相机运动轴与平台平行度，以及相机与平台面高度差进行标定和补偿。由于吸盘相机组件随平台运动，运动带来的震动易导致吸盘相机组件位置变化，后续维护镜头也需要不定期对吸盘相机组件进行标定。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于解决现有直写曝光机镜头标定装置占用空间大，操作不便的问题。
[0007]为解决本技术所提出的技术问题采用的技术方案为：本技术的直写曝光机镜头标定装置包括有用于给曝光机镜头摄像进行曝光机镜头标定的照相机，所述的镜头标定装置还包括有与曝光机的曝光平台配合的转接载板，沿X轴滑动设于转接载板上的滑台，以及设于滑台上的用于将...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种直写曝光机镜头标定装置，包括有用于给曝光机镜头摄像进行曝光机镜头标定的照相机，其特征在于：所述的镜头标定装置还包括有与曝光机的曝光平台配合的转接载板，沿X轴滑动设于转接载板上的滑台，以及设于滑台上的用于将曝光镜头发射的光线反射给照相机的反射镜，所述的照相机设于滑台上，照相机对应反射镜设置，转...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐占辉，吴德和，王玮北，
申请(专利权)人：深圳凯世光研股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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