一种电泳工装夹具与电泳系统技术方案

本申请提供了一种电泳工装夹具与电泳系统，该电泳工装夹具包括承片台、主体以及至少一个电极板，承片台安装于主体，至少一个电极板与主体可拆卸连接，承片台用于连接第一极性的电源，电极板用于连接第二极性的电源，且第一极性与玻璃粉的带电极性相同，第二极性与玻璃粉的带电极性相反；承片台包括台体与固定件，台体与固定件连接；其中，台体用于承载晶圆，固定件用于与晶圆的侧边抵持。本申请提供的电泳工装夹具与电泳系统具有稳定性更强的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种电泳工装夹具与电泳系统


[0001]本申请涉及器件钝化
，具体而言，涉及一种电泳工装夹具与电泳系统。

技术介绍

[0002]GPP钝化(Glassivation、passivation、parts)的工艺分为手术刀法，光阻玻璃法，电泳法三种。手术刀法是指将玻璃粉配置成玻璃糊，通过手术刀，将玻璃糊填充于钝化槽内，通过高温烧结的方式，形成保护PN结的钝化层；光阻法是通过旋涂带有玻璃粉的光刻胶，通过曝光显影的方式，保留沟槽内的玻璃粉，通过高温烧结的方式形成保护保护PN结的玻璃膜；电泳法是将玻璃粉导电的方式，使得玻璃粉带电，在电场作用下，玻璃粉迁移至沟槽内，通过高温烧结的方式形成保护保护PN结的玻璃膜。
[0003]其中，电泳玻璃钝化产品质量的好坏，与电泳的工装夹具有着很强的相关性；目前市面上的电泳工装夹具，存在接触不良，电极间距不稳定导致电流密度不稳定，电泳过程增重不稳定的稳定，导致产品的稳定性较差。
[0004]综上，现有技术中存在器件产品在电泳钝化中稳定性较差的问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电泳工装夹具，其特征在于，所述电泳工装夹具包括承片台、主体以及至少一个电极板，所述承片台安装于所述主体，所述至少一个电极板与所述主体可拆卸连接，所述承片台用于连接第一极性的电源，所述电极板用于连接第二极性的电源，且所述第一极性与玻璃粉的带电极性相反，所述第二极性与玻璃粉的带电极性相同；所述承片台包括台体与固定件，所述台体与所述固定件连接；其中，所述台体用于承载晶圆，所述固定件用于与所述晶圆的侧边抵持。2.如权利要求1所述的电泳工装夹具，其特征在于，所述台体与所述固定件转动连接；当处于载片状态时，所述固定件与所述台体成第一夹角，以使所述固定件与所述晶圆抵持；当处于非载片状态时，所述固定件与所述台体件成第二夹角，其中，所述第一夹角大于所述第二夹角。3.如权利要求1所述的电泳工装夹具，其特征在于，所述台体设置有第一承片支点与第二承片支点，所述第一承片支点与所述第二承片支点等高，所述固定件设置有固定支点，所述第一承片支点、第二承片支点以及所述固定支点位于同一平面，当处于载片状态时，所述第一承片支点与所述第二承片支点用于夹持所述晶圆，所述固定支点用于抵持所述晶圆，且所述固定支点高于所述第一承片支点与所述第二承片支点。4.如权利要求3所述的电泳工装夹具，其特征在于，所述第一承片支点、所述第二承片支点以所述固定支点均由导电材料制作而成，所述承...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈怡东，徐冠东，张超，胡潘婷，
申请(专利权)人：捷捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：