晶圆清洗设备制造技术

本实用新型专利技术属于半导体芯片制造技术领域，尤其是一种晶圆清洗设备，针对现有的清洗没有连续性，杂质容易堵塞管道的问题，现提出如下方案，其包括晶圆清洗箱，所述晶圆清洗箱的底部栓接有水箱，所述水箱右侧底部的孔洞连通有变频调速水泵，所述变频调速水泵的出水端贯穿晶圆清洗箱右侧的孔洞并连通有高压喷头，所述水箱的内部栓接有电加热棒，在晶圆冲洗过程中便可以将待清洗晶圆放入其他工位中，利用晶圆夹持转台的转动可以切换工位，增强清洗的连续性，而且利用晶圆夹持转台的快速转动可以对晶圆进行甩干，利用过滤网袋的活动可以有效地对废水进行过滤，避免杂质与废水共同进入管道，避免杂质堵塞管道。避免杂质堵塞管道。避免杂质堵塞管道。

【技术实现步骤摘要】
晶圆清洗设备


[0001]本技术涉及半导体芯片制造
，尤其涉及一种晶圆清洗设备。

技术介绍

[0002]晶圆是半导体芯片制造中重要的原材料，其主要是硅晶片，因为其呈圆形结构所以叫晶圆，晶圆加工过程中需要进行清洗，这时便需要使用到晶圆清洗设备，晶圆清洗设备主要是利用喷头对准晶圆进行高压喷洗，利用高压水流冲洗晶圆。
[0003]但是上述技术方案往往只有一个工位，在清洗完晶圆后还需要将清洗好的晶圆取下才能将待清洗的晶圆放入工位中进行冲洗，晶圆清洗没有连续性，效率低，并且晶圆的干燥还需要借助吹风设备或加热烘干设备，十分不便，而且清洗后的废水多是直接排出，由于废水中含有大量的杂质在其排出过程中容易堵塞管道，造成排水不畅，影响晶圆的清洗。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在清洗没有连续性，杂质容易堵塞管道的缺点，而提出的晶圆清洗设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]晶圆清洗设备，包括晶圆清洗箱，所述晶圆清洗箱的底部栓接有水箱，所述水箱右侧底部的孔洞连通有变频调速水泵，所述变频调速水泵的出水端贯穿晶圆清洗箱右侧的孔洞并连通有高压喷头，所述水箱的内部栓接有电加热棒，所述晶圆清洗箱内部的底端栓接有支撑箱，所述支撑箱顶部的孔洞转动套接有晶圆夹持转台，所述晶圆夹持转台的底端延伸到支撑箱的内部并栓接有副锥形齿轮，所述副锥形齿轮的齿牙啮合有主锥形齿轮，所述晶圆清洗箱的内部栓接有引导板，所述引导板左侧的孔洞卡接有过滤网袋，所述主锥形齿轮的表面栓接有传动机构，所述传动机构与过滤网袋转动连接，传动机构通过主锥形齿轮可以带动副锥形齿轮转动，副锥形齿轮通过晶圆夹持转台可以带动晶圆转动，利用转动的晶圆可以切换对晶圆固定的工位，方便连续性的对晶圆进行冲洗，传动机构可以带动过滤网袋上下晃动，利用过滤网袋可以对废水进行过滤，将废水中的杂质过滤下来，在晶圆冲洗过程中便可以将待清洗晶圆放入其他工位中，利用晶圆夹持转台的转动可以切换工位，增强清洗的连续性，而且利用晶圆夹持转台的快速转动可以对晶圆进行甩干，利用过滤网袋的活动可以有效地对废水进行过滤，避免杂质与废水共同进入管道，避免杂质堵塞管道。
[0007]优选的，所述传动机构包括变频调速电机、蜗杆和蜗轮，所述变频调速电机的底部与支撑箱的内部栓接，所述变频调速电机的输出端与蜗杆的右端栓接，所述蜗杆的表面与蜗轮的底部啮合，所述蜗轮的后侧与主锥形齿轮的表面栓接，所述传动机构还包括与蜗杆栓接的驱动组件。
[0008]进一步地，接通变频调速电机的电源，变频调速电机可以带动蜗杆转动，蜗杆通过轴承与支撑箱转动设置，让蜗杆可以平稳地转动，蜗杆通过轴承与晶圆清洗箱转动设置，让蜗杆可以平稳地转动，蜗杆可以带动蜗轮顺时针转动，蜗轮可以带动主锥形齿轮转动，蜗杆
可以带动驱动组件转动，利用变频调速电机可以控制转速，在变频调速电机低速转动时可以切换晶圆夹持转台的工位，在变频调速电机高速转动时利用带动晶圆夹持转台高速转动，利用离心将晶圆甩干。
[0009]优选的，所述驱动组件包括偏心轮和滑辊，所述偏心轮轴心处的顶部与蜗杆表面的左端栓接，所述偏心轮的顶部与滑辊的底部滑动连接，所述滑辊的轴心处与过滤网袋的底部转动连接。
[0010]进一步的，蜗杆可以带动偏心轮转动，偏心轮利用与蜗杆之间的偏心结构可以带动偏心轮上下移动，偏心轮可以带动滑辊转动并带动滑辊上下移动，滑辊可以带动过滤网袋上下移动，滑辊利用转动可以避免偏心轮与过滤网袋之间的摩擦，避免过滤网袋磨损。
[0011]优选的，所述水箱左侧的顶部连通有注水管，所述变频调速水泵的左侧与水箱的右侧栓接，所述高压喷头的右侧与晶圆清洗箱内部的右侧栓接。
[0012]进一步的，注水管用于向水箱的内部注入清洗水，变频调速水泵的进水端通过抽水管与水箱连通，变频调速水泵通过出水管与高压喷头连通，并且利用变频调速水泵的特性可以调节高压喷头喷出的水压。
[0013]优选的，所述晶圆夹持转台由转台、转台顶部的四周均栓接晶圆夹具和转台底部的转杆构成，所述转杆表面的顶端与支撑箱顶部的孔洞转动套接。
[0014]进一步的，转台的顶部设置晶圆清洗工位，并且可以按照转台的尺寸设置多个，清洗工位便是晶圆夹具，用于对晶圆进行定位，方便进行清洗，转杆通过轴承与支撑箱转动设置，让转杆可以平稳地转动。
[0015]优选的，所述晶圆清洗箱左侧的开口铰接有挡板，所述主锥形齿轮的轴心处与支撑箱的内部转动连接，所述引导板的右侧向上倾斜。
[0016]进一步的，挡板用于阻挡清洗水外溢，并且在晶圆清洗箱的内部形成一定封闭的空间，方便对晶圆进行清洗，主锥形齿轮通过轴承与支撑箱转动设置，引导板的倾斜方便废水向左汇聚。
[0017]有益效果：
[0018]1、传动机构通过主锥形齿轮可以带动副锥形齿轮转动，副锥形齿轮通过晶圆夹持转台可以带动晶圆转动，利用转动的晶圆可以切换对晶圆固定的工位，方便连续性的对晶圆进行冲洗；
[0019]2、传动机构可以带动过滤网袋上下晃动，利用过滤网袋可以对废水进行过滤，将废水中的杂质过滤下来；
[0020]本技术中：在晶圆冲洗过程中便可以将待清洗晶圆放入其他工位中，利用晶圆夹持转台的转动可以切换工位，增强清洗的连续性，而且利用晶圆夹持转台的快速转动可以对晶圆进行甩干，利用过滤网袋的活动可以有效地废水进行过滤，避免杂质与废水共同进入管道排出，避免杂质堵塞管道。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的晶圆清洗设备的正视结构示意图；
[0022]图2为本技术提出的晶圆清洗设备的支撑箱内部结构示意图；
[0023]图3为本技术提出的晶圆清洗设备的副锥形齿轮后视结构示意图；
[0024]图4为本技术提出的晶圆清洗设备的传动机构立体示意图。
[0025]图中：1、晶圆清洗箱；2、传动机构；21、变频调速电机；22、蜗杆；23、蜗轮；24、偏心轮；25、滑辊；3、水箱；4、变频调速水泵；5、高压喷头；6、电加热棒；7、支撑箱；8、晶圆夹持转台；9、副锥形齿轮；10、主锥形齿轮；11、引导板；12、过滤网袋。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]实施例一
[0028]参照图1
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4，晶圆清洗设备，包括晶圆清洗箱1，晶圆清洗箱1的底部栓接有水箱3，水箱3右侧底部的孔洞连通有变频调速水泵4，变频调速水泵4的出水端贯穿晶圆清洗箱1右侧的孔洞并连通有高压喷头5，水箱3的内部栓接有电加热棒6，晶圆清洗箱1内部的底端栓接有支撑箱7，支撑箱7顶部的孔洞转动套接有晶圆夹持转台8，晶圆夹持转台8的底端延伸到支撑箱7的内部并栓接有副锥形齿轮9，副锥形齿轮9的齿牙啮合有主锥形齿轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆清洗设备，包括晶圆清洗箱(1)，其特征在于，所述晶圆清洗箱(1)的底部栓接有水箱(3)，所述水箱(3)右侧底部的孔洞连通有变频调速水泵(4)，所述变频调速水泵(4)的出水端贯穿晶圆清洗箱(1)右侧的孔洞并连通有高压喷头(5)，所述水箱(3)的内部栓接有电加热棒(6)，所述晶圆清洗箱(1)内部的底端栓接有支撑箱(7)，所述支撑箱(7)顶部的孔洞转动套接有晶圆夹持转台(8)，所述晶圆夹持转台(8)的底端延伸到支撑箱(7)的内部并栓接有副锥形齿轮(9)，所述副锥形齿轮(9)的齿牙啮合有主锥形齿轮(10)，所述晶圆清洗箱(1)的内部栓接有引导板(11)，所述引导板(11)左侧的孔洞卡接有过滤网袋(12)，所述主锥形齿轮(10)的表面栓接有传动机构(2)，所述传动机构(2)与过滤网袋(12)转动连接。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备，其特征在于，所述传动机构(2)包括变频调速电机(21)、蜗杆(22)和蜗轮(23)，所述变频调速电机(21)的底部与支撑箱(7)的内部栓接，所述变频调速电机(21)的输出端与蜗杆(22)的右端栓接，所述蜗杆(22)的表面与蜗轮(...

【专利技术属性】
技术研发人员：任凯，何雅彬，
申请(专利权)人：上海博纳微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：