晶圆旋干组件制造技术

一种晶圆旋干组件包含腔体、旋转架、至少一个摇篮以及数个检知器。旋转架设置于腔体内并配置以旋干晶圆。旋转架包含底盘、顶环以及数个竖板。顶环位于底盘上方。竖板连接底盘以及顶环。至少一个摇篮设置于旋转架中并配置以容置晶圆。检知器设置于腔体外并配置以发射光。本实用新型专利技术的晶圆旋干组件可以避免位于晶篮中的晶圆在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他元件的故障。干机台的其他元件的故障。干机台的其他元件的故障。

【技术实现步骤摘要】
晶圆旋干组件


[0001]本技术有关于一种晶圆旋干组件。

技术介绍

[0002]在晶圆的旋干工艺中，将晶圆旋干的最常见的作法是将晶圆放入晶圆旋干机台中，然后再利用晶圆旋干机台中的旋转架使晶圆高速旋转以去除位于晶圆表面的水分。上述用以将晶圆旋干的晶圆旋干机台又分为垂直旋干机以及水平旋干机。在水平旋干机的实施方式中，于旋转架被启动旋转之前，首先晶圆会被置入晶篮中，此承载晶圆的晶篮再置入位于旋转架中的摇篮或摇篮。确定晶篮置入摇篮或摇篮中后，旋转架才允许被启动旋转。
[0003]然而，晶圆并非每次都被操作者适当的置入摇篮中。具体来说，即操作者有时未将承载晶圆的晶篮平整的放入摇篮中，此举会造成位于晶篮中的晶圆可能在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他相关元件的损坏。
[0004]因此，如何提出一种可解决上述问题的晶圆旋干组件，是目前业界亟欲投入研发资源解决的问题之一。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的一目的在于提出一种可有解决上述问题的晶圆旋干组件。
[0006]为了达到上述目的，依据本技术的一实施方式，一种晶圆旋干组件包含腔体、旋转架、至少一个摇篮以及数个检知器。旋转架设置于腔体内并配置以旋干晶圆。旋转架包含底盘、顶环以及数个竖板。顶环位于底盘上方。竖板连接底盘以及顶环。至少一个摇篮设置于旋转架中并配置以容置晶圆。检知器设置于腔体外并配置以发射光。
[0007]在本技术的一或多个实施方式中，至少一个摇篮连接竖板。
[0008]在本技术的一或多个实施方式中，至少一个摇篮的数量为四。
[0009]在本技术的一或多个实施方式中，至少一个摇篮还包含壳体，且壳体配置以容置承载晶圆的晶篮。
[0010]在本技术的一或多个实施方式中，检知器还包含数个晶篮检知器以及数个摇篮检知器。晶篮检知器配置以发射抵达承载晶圆的晶篮的底部的光。摇篮检知器配置以发射抵达至少一个摇篮的光。
[0011]在本技术的一或多个实施方式中，晶篮检知器设置于摇篮检知器上方。
[0012]在本技术的一或多个实施方式中，晶篮检知器还包含数个第一晶篮检知器以及数个第二晶篮检知器，且第一晶篮检知器设置于第二晶篮检知器下方。
[0013]在本技术的一或多个实施方式中，第二晶篮检知器设置于摇篮检知器上方。
[0014]在本技术的一或多个实施方式中，竖板之间连接有数个支撑梁。
[0015]在本技术的一或多个实施方式中，至少一个摇篮具有开孔配置以供检知器发射的光通过。
[0016]综上所述，在本技术的晶圆旋干组件中，由于晶圆旋干组件包含了检知器，使得操作者可以借此确认承载晶圆的晶篮是否被适当地置入摇篮中。在本技术的晶圆旋干组件中，通过将检知器设置在腔体外，使得在设置检知器时可以更容易完成检知器布线的工作。在本技术的晶圆旋干组件中，由于晶篮检知器发射的光能抵达晶篮的底部，故晶篮检知器可以更准确且直接地检知承载晶圆的晶篮是否置入摇篮，并进一步检知晶篮是否在摇篮中被平整的放置。在本技术的晶圆旋干组件中，通过摇篮检知器发射的光能抵达摇篮，故摇篮检知器可以进一步检知承载晶圆的晶篮平整置入摇篮后，摇篮是否被确实定位。本技术的晶圆旋干组件可以避免位于晶篮中的晶圆在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他元件的故障。
[0017]以上所述仅用以阐述本技术所欲解决的问题、解决问题的技术手段、及其产生的功效等等，本技术的具体细节将在下文的实施方式及相关附图中详细介绍。
附图说明
[0018]为让本技术的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：
[0019]图1绘示了根据本技术的一实施方式中的晶圆旋干组件的立体图。
[0020]图2绘示了根据本技术的一实施方式中的旋转架、摇篮以及检知器的立体图。
[0021]图3绘示了根据本技术的一实施方式中的承载第一晶圆的晶篮置入摇篮中的示意图。
[0022]图4绘示了根据本技术的一实施方式中的承载第一晶圆的晶篮置入摇篮中以及容置有承载第一晶圆的晶篮的摇篮被定位的剖面图。
[0023]图5绘示了根据本技术的一实施方式中的第一晶篮检知器检知承载第一晶圆的晶篮是否平整置入摇篮的侧视图。
[0024]图6绘示了根据本技术的一实施方式中的摇篮检知器检知容置有承载第一晶圆的晶篮的摇篮是否被定位的侧视图。
[0025]图7绘示了根据本技术的一实施方式中的承载第二晶圆的晶篮置入摇篮中的示意图。
[0026]图8绘示了根据本技术的一实施方式中的承载第二晶圆的晶篮置入摇篮中以及容置有承载第二晶圆的晶篮的摇篮被定位的剖面图。
[0027]图9绘示了根据本技术的一实施方式中的第二晶篮检知器检知承载第二晶圆的晶篮是否平整置入摇篮的侧视图。
[0028]图10绘示了根据本技术的一实施方式中的摇篮检知器检知容置有承载第二晶圆的晶篮的摇篮是否被定位的侧视图。
具体实施方式
[0029]以下将以附图说明本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些现有惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。在所有附图中
相同的标号将用于表示相同或相似的元件。
[0030]以下将详细介绍本实施方式的晶圆旋干组件100所包含的各元件的结构、功能以及各元件之间的连接关系。
[0031]请参考图1。图1为根据本技术的一实施方式中的晶圆旋干组件100 的立体图。如图1所示，晶圆旋干组件100包含腔体110、旋转架120、摇篮 130以及检知器组件140。旋转架120设置于腔体110内。旋转架120配置以执行离心步骤，此离心步骤使旋转架120旋转以将数个晶圆(未绘示)旋干。摇篮 130设置于旋转架120中，并配置以容置晶圆。检知器组件140包含晶篮检知器141以及摇篮检知器142。晶篮检知器141以及摇篮检知器142设置于腔体 110外，并配置以发射光L。
[0032]在一些实施方式中，如图1所示，腔体110包含过孔111以及过孔112。过孔111配置以供晶篮检知器141发射的光L通过。过孔112配置以供摇篮检知器142发射的光L通过。
[0033]在一些实施方式中，如图1所示，摇篮130的数量为四个，但本技术不意欲针对摇篮130的数量进行限制。
[0034]在一些实施方式中，如图1所示，晶圆旋干组件100进一步包含枢轴P。在一些实施方式中，枢轴P连接旋转架120以及摇篮130，使得摇篮130可以枢接于旋转架120上。
[0035]请参考图2。图2为根据本技术的一实施方式中的旋转架120、摇篮 130本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆旋干组件，其特征在于，包含：腔体；旋转架，设置于所述腔体内，配置以旋干晶圆，所述旋转架包含：底盘；顶环，位于所述底盘上方；以及多个竖板，连接所述底盘以及所述顶环；至少一个摇篮，设置于所述旋转架中，并配置以容置所述晶圆；以及多个检知器，设置于所述腔体外，并配置以发射光。2.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮连接所述多个竖板。3.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮的数量为四。4.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮进一步包含壳体，且所述壳体配置以容置承载所述晶圆的晶篮。5.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个检知器进一步包含：多个晶篮检知器，配置以发射抵达承载...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄信淇，简远铭，
申请(专利权)人：敦仪科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：