石英管切割设备及石英管开管方法技术

本发明专利技术公开了一种石英管切割设备，包括基座，基座上设有工作台和刀架；工作台顶部设有管体夹具，管体夹具具有定位孔，定位孔内设有与石英管套装并联动的滚动轴承，工作台上还设置有能够驱动管体夹具往复升降的升降驱动装置以及能够驱动工作台沿水平方向往复移动的平移驱动装置；刀架上设置有刀套，刀套的一端设置有与装配于管体夹具中的石英管的切割端配合的旋转刀头，旋转刀头的转动轴线与装配于管体夹具中的石英管的轴线平行，工作台上设置有控制旋转刀头启停的电源开关。该石英管切割设备能够优化石英管的切割作业方法，从而避免由石英管内取出退火片时对退火片造成污染和破坏。本发明专利技术还公开了一种应用了该石英管切割设备的石英管开管方法。设备的石英管开管方法。设备的石英管开管方法。

【技术实现步骤摘要】
石英管切割设备及石英管开管方法


[0001]本专利技术涉及石英管切割技术及配套器材领域，特别涉及一种石英管切割设备。本专利技术还涉及一种应用了该石英管切割设备的石英管开管方法。

技术介绍

[0002]高纯石英管具有洁净度高、耐高温、热膨胀系数极小等特性，在热处理工段中应用广泛。在半导体材料研究过程中，高纯石英管需要用于外延原生片的N型退火，即采用高纯石英管在真空前提下封装外延片，放入退火炉中进行加热、恒温、冷却等处理。真空封管的目的是为了保证石英管内部几乎没有氧含量和水含量。
[0003]经过一定的退火工艺后，需要完整的取出石英管中的退火片，并且退火片表面不能有污染。常见的石英管切管机大多是在水流的环境下切穿石英管，并且以水流清除切割过程中伴随的石英粉尘。切割过程中污染较大、切割精度粗糙，不能满足洁净度的要求。并且尤为需要注意的是，真空封管的退火管在切断后一瞬间，管外压强大于管内压强，直接导致切割过程中伴随的石英粉末或者水流会快速进入管内，污染退火片。
[0004]由于退火管厚度较大，强度较好，不易断裂，对石英管实施直接破坏将损本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英管切割设备，其特征在于，包括水平设置的基座，所述基座上移动设置有工作台，所述基座上还设置有刀架；所述工作台的顶部设置有管体夹具，所述管体夹具中部具有供石英管贯穿的定位孔，所述定位孔内设置有与石英管套装并联动适配的滚动轴承，所述工作台上还设置有能够驱动所述管体夹具往复升降的升降驱动装置以及能够驱动所述工作台沿水平方向往复移动的平移驱动装置；所述刀架上设置有刀套，所述刀套的一端设置有与装配于所述管体夹具中的石英管的切割端配合的旋转刀头，所述旋转刀头的转动轴线与装配于所述管体夹具中的石英管的轴线平行，所述工作台上设置有控制所述旋转刀头启停的电源开关。2.如权利要求1所述的石英管切割设备，其特征在于，所述刀套中部具有水平延展的调整腔，所述调整腔内滑动设置有调节滑块，所述调节滑块的前端部联动设置有调节连杆，所述调节连杆的前端部伸出于所述刀套并与所述旋转刀头同轴联动连接。3.如权利要求2所述的石英管切割设备，其特征在于，所述刀套的侧壁上自外而内插装设置有伸入所述调整腔内的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的插入端与所述调节滑块的外壁压紧适配。4.如权利要求2所述的石英管切割设备，其特征在于，所述基座的中部具有安装孔，所述安装孔内嵌装有转动轴承，所述刀架的底端同轴插装于所述转动轴承内并与所述转动轴承联动。5.如权利要求4所述的石英管切割设备，其特征在于，所述刀架的底部设置有环形凸台，所述环形凸台上具有沿其周向延展的限位滑槽，所述限位滑槽内插装有与所述基座螺纹配合的限位螺栓。6.如权利要求2所述的石英管切割设备，其特征在于，所述刀套的一端设置有限位胶塞，所述限位胶塞的中部...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，李想，姚本东，许军，游阿峰，赵倩，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：