无尘车间新风系统自适应调节方法技术方案

本发明专利技术公开了无尘车间新风系统自适应调节方法,所述预警方法将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；本发明专利技术中的无尘车间新风系统自适应调节方法能够对新风系统实施前的各个新风系统调节阶段进行调整控制信号，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的新风系统风险管控效果。实施的新风系统风险管控效果。实施的新风系统风险管控效果。

【技术实现步骤摘要】
无尘车间新风系统自适应调节方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域,尤其涉及无尘车间新风系统自适应调节方法。

技术介绍

[0002]半导体芯片的生产环境的要求是极高的，需要在无尘车间内生产。无尘车间都配备有新风系统，新风系统由低温送风新风机组、空气净化装置、全热交换器、自动控制系统等组成。
[0003]传统情况下，新风系统的进风量大小采用简单控制方法，无法实现根据无尘车间的需求进行自适应调节。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术存在的缺点与不足,本专利技术提供无尘车间新风系统自适应调节方法。
[0005]本专利技术所采用的技术方案是，无尘车间新风系统自适应调节方法，其将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。
[0006]优选的，具体包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。2.如权利要求1所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤Q1：在新风系统配置PID控制器，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；构建模糊神经网络，然后根据无尘车间的新风系统进展程度对应生成各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，以及新风系统实施阶段的新风系统实施动态设定区间；步骤Q2：设定进风量状态变量，导入模糊化模块，生成模糊规则；模糊化模块用来对状态变量进行模糊量化和归一化处理，在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，将模糊规则导入神经网络模块，获得加权系数，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；步骤Q3：将神经网络的输出层输出对应于PID控制器的可调参数，根据新风系统的运行状态，调整加权系数，获得最优控制下的PID参数，在新风系统实施阶段获取对应的操控和监管数值，然后将新风系统实施阶段的操控和监管数值与对应的新风系统实施动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应新风系统实施动态设定区间时发出相应的调整控制信号，PID控制器对控制对象进行闭环控制。3.如权利要求2所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：步骤Q1中，还根据无尘车间的新风系统进展程度生成对应各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值；步骤Q2中，在新风系统人工智能控制阀发生时，将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀风险等级值作配比，并在操控和监管数值小于对应人工智能控制阀风险等级值时发出相应的调整控制信号。4.如权利要求2所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：步骤Q1中，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值小于其对应的人工智能控制阀动态设定区间时，根据该前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值和人工智能控制阀动态设定区间对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡增，钟生，彭鹏，
申请(专利权)人：中用科技有限公司，
类型：发明
国别省市：