无尘车间新风系统自适应调节方法技术方案

本发明专利技术公开了无尘车间新风系统自适应调节方法,所述预警方法将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；本发明专利技术中的无尘车间新风系统自适应调节方法能够对新风系统实施前的各个新风系统调节阶段进行调整控制信号，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的新风系统风险管控效果。实施的新风系统风险管控效果。实施的新风系统风险管控效果。

【技术实现步骤摘要】
无尘车间新风系统自适应调节方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域,尤其涉及无尘车间新风系统自适应调节方法。

技术介绍

[0002]半导体芯片的生产环境的要求是极高的，需要在无尘车间内生产。无尘车间都配备有新风系统，新风系统由低温送风新风机组、空气净化装置、全热交换器、自动控制系统等组成。
[0003]传统情况下，新风系统的进风量大小采用简单控制方法，无法实现根据无尘车间的需求进行自适应调节。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术存在的缺点与不足,本专利技术提供无尘车间新风系统自适应调节方法。
[0005]本专利技术所采用的技术方案是，无尘车间新风系统自适应调节方法，其将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。
[0006]优选的，具体包括如下步骤：
[0007]步骤Q1：在新风系统配置PID控制器，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；构建模糊神经网络，然后根据无尘车间的新风系统进展程度对应生成各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，以及新风系统实施阶段的新风系统实施动态设定区间；
[0008]步骤Q2：设定进风量状态变量，导入模糊化模块，生成模糊规则；模糊化模块用来对状态变量进行模糊量化和归一化处理，在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，将模糊规则导入神经网络模块，获得加权系数，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；
[0009]步骤Q3：将神经网络的输出层输出对应于PID控制器的可调参数，根据新风系统的运行状态，调整加权系数，获得最优控制下的PID参数，在新风系统实施阶段获取对应的操控和监管数值，然后将新风系统实施阶段的操控和监管数值与对应的新风系统实施动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应新风系统实施动态设定区间时发出相应的调整控制信号，PID控制器对控制对象进行闭环控制。
[0010]优选的，步骤Q1中，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值小于其对应的人工智能控制阀动态设定区间时，根据该前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管
数值和人工智能控制阀动态设定区间对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整。
[0011]优选的，步骤Q3中具体包括以下步骤：
[0012]步骤Q31：在新风系统实施阶段的送审信息通过后，获取新风系统实施阶段的初步风险等级和进展风险等级；
[0013]步骤Q32：将初步风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若初步风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；
[0014]步骤Q33：将进展风险等级与对应新风系统实施动态设定区间作配比，若进展风险等级大于新风系统实施动态设定区间，则发出相应的调整控制信号；否则，进入下一步骤；
[0015]步骤Q34：进入无尘车间PID参数调节计算环节。
[0016]优选的，新风系统实施动态设定区间为无尘车间新风系统进展程度的百分之九十九。
[0017]优选的，步骤Q1中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为新风系统开始人工智能控制阀、新风系统中期人工智能控制阀、新风系统修改人工智能控制阀和新风系统完成人工智能控制阀。
[0018]本专利技术还公开了无尘车间新风系统自适应调节方法，其基于上述的新风系统实施管控调整控制信号方法实施，具体包括：
[0019]无尘车间新风系统调整模块，用于将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；
[0020]无尘车间新风系统人工智能控制阀监测模块，用于在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，以及该无尘车间的新风系统进展程度；
[0021]无尘车间新风系统运行控制模块，用于将新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值输入至预先建立的新风系统调整控制模型内并获取新风系统调整控制模型输出的新风系统调整控制结果；所述新风系统调整控制模型根据新风系统进展程度生成对应新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，当操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时，输出相应的新风系统风险故障并发出调整控制信号作为新风系统调整控制结果。
[0022]优选的，所述新风系统调整控制模型根据新风系统各维度数值和历史新风系统信息建立；所述新风系统各维度数值包括新风系统人工智能控制阀、新风系统人工智能控制阀起止时间、新风系统风险因素、新风系统人为工作内容和新风系统进展程度；所述新风系统调整控制模型根据人工神经网络模型计算对应的人工智能控制阀动态设定区间。
[0023]本专利技术中的新风系统实施管控调整控制信号方法及系统与现有技术相比，具有如下优点：
[0024]本专利技术中，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，并对各个新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值进行了管控，能够避免无尘车间在新风系统调节超过设定标准，进而能够在一定程度上避免无尘车间在新风系统实施阶段出现新风系统风险的问题，从而能够提升对无尘车
间新风系统实施的管控效果，并能够辅助提升无尘车间质量。其次，本专利技术根据新风系统进展程度，以及历史数据或经验值提前计算生成了人工智能控制阀动态设定区间和新风系统实施动态设定区间，使得对于各个新风系统人工智能控制阀和新风系统实施阶段的设备状态管控效果更好，从而能够提升对无尘车间新风系统实施的管控效果。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本专利技术实施例一中无尘车间新风系统自适应调节方法的第一流程框图；
[0027]图2为本专利技术实施例二中无尘车间新风系统自适应调节方法的第二流程框图；
[0028]图3为本专利技术实施例三中无尘车间新风系统自适应调节方法使用模块图。
具体实施方式
[0029]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合,下面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀，然后在各个新风系统人工智能控制阀发生时将其操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间进行配比，并在新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值超过对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号。2.如权利要求1所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于，具体包括如下步骤：步骤Q1：在新风系统配置PID控制器，将无尘车间新风系统实施阶段当中的新风系统调节阶段对应调整为不同等级的新风系统自适应调节人工智能控制阀；构建模糊神经网络，然后根据无尘车间的新风系统进展程度对应生成各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间，以及新风系统实施阶段的新风系统实施动态设定区间；步骤Q2：设定进风量状态变量，导入模糊化模块，生成模糊规则；模糊化模块用来对状态变量进行模糊量化和归一化处理，在新风系统人工智能控制阀发生时获取该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值，将模糊规则导入神经网络模块，获得加权系数，然后将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应人工智能控制阀动态设定区间时发出相应的调整控制信号；步骤Q3：将神经网络的输出层输出对应于PID控制器的可调参数，根据新风系统的运行状态，调整加权系数，获得最优控制下的PID参数，在新风系统实施阶段获取对应的操控和监管数值，然后将新风系统实施阶段的操控和监管数值与对应的新风系统实施动态设定区间作配比，并在操控和监管数值大于对应新风系统实施动态设定区间时发出相应的调整控制信号，PID控制器对控制对象进行闭环控制。3.如权利要求2所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：步骤Q1中，还根据无尘车间的新风系统进展程度生成对应各个新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀风险等级值；步骤Q2中，在新风系统人工智能控制阀发生时，将该新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值与对应的人工智能控制阀风险等级值作配比，并在操控和监管数值小于对应人工智能控制阀风险等级值时发出相应的调整控制信号。4.如权利要求2所述的无尘车间新风系统自适应调节方法，其特征在于：步骤Q1中，当前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值小于其对应的人工智能控制阀动态设定区间时，根据该前一新风系统人工智能控制阀的操控和监管数值和人工智能控制阀动态设定区间对后一新风系统人工智能控制阀的人工智能控制阀动态设定区间进行调整。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡增，钟生，彭鹏，
申请(专利权)人：中用科技有限公司，
类型：发明
国别省市：