一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法技术

本发明专利技术公开了一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法，包括以下步骤：S1：将需要进行粗糙处理的石英部件表面进行打磨，将粗糙面打磨之后进行抛光；S2：在对抛光后的石英部件表面进行清洗，清洗后采用鼓风的烘干设备对于石英部件表面进行鼓风烘干。再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中，最后进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进行浸泡，之后再将石英部件表面的附着物进行充分地清洗，并在清洗结束之后再通过等离子水进行冲洗一遍，从而达到了通过化学反应方式进行处理石英表面粗糙度的效果，实现了满足更高程度的应用需求的效果。实现了满足更高程度的应用需求的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法


[0001]本专利技术涉及石英加工
，尤其涉及一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法。

技术介绍

[0002]石英，地质学专业术语，一般指低温石英(α
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石英)，是石英族矿物中分布最广的一个矿物，广义的石英还包括高温石英(β
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石英)、柯石英等。主要成分是SiO2，无色透明，常含有少量杂质成分，而变为半透明或不透明的晶体，质地坚硬。石英是一种物理性质和化学性质均十分稳定的矿产资源，晶体属三方晶系的氧化物矿物，石英块又名硅石，主要是生产石英砂(又称硅砂)的原料，也是石英耐火材料和烧制硅铁的原料，由二氧化硅组成的矿物，化学式SiO2。纯净的石英无色透明，因含微量色素离子或细分散包裹体，或存在色心而呈各种颜色，并使透明度降低；玻璃光泽，断口呈油脂光泽。硬度7；无解理；贝壳状断口。比重2.65。具压电性。无色、透明的石英，希腊人称为"Krystallos"，意思是"洁白的冰"，他们确信石英是耐久而坚固的冰。中国古代人认为嘴里含上冷的水晶能够止渴。
[0003]目前在对石英进行加工过程中，对于石英表面的粗糙处理基本是通过打磨和抛光的方式进行，但是这种方式处理的光滑程度有限，难以满足更高的应用需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法。
[0005]一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法，包括以下步骤：
[0006]S1：将需要进行粗糙处理的石英部件表面进行打磨，将粗糙面打磨之后进行抛光；
[0007]S2：在对抛光后的石英部件表面进行清洗，清洗后采用鼓风的烘干设备对于石英部件表面进行鼓风烘干；
[0008]S3：配置对于石英表面粗糙进行处理耳朵化学反应溶液，采用浓度为36.5％
‑
42.5％的氢氟酸气体水溶液和浓度为85％以上的氟化铵混合制成，其中氢氟酸气体水溶液和氟化铵的质量比为1:1.85，得出预备溶液；
[0009]S4：再对质量比为质量比为1:1.85的氢氟酸气体水溶液和氟化铵进行混合，使得氟化铵溶解在氢氟酸气体水溶液之中，再将该溶液与纯乙酸配溶液进行混合，得出最终溶液；
[0010]S5：再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中；
[0011]S6：对于步骤S5中浸润入石英部件的最终溶液进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进行浸泡。
[0012]S7：对于加热并进行浸泡后的石英部件取出，对石英部件的表面进行充分清洗，将石英部件表面的附着物进行充分地清洗，并在清洗结束之后再通过等离子水进行冲洗一遍，再进行烘干。
[0013]优选的；步骤S4中参与混合的纯乙酸配溶液的浓度为98％.5以上。
[0014]优选的；步骤S5中对于石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中浸润的时间为四十五分钟到五十五分钟。
[0015]优选的；步骤S6中对于浸润入石英部件的最终溶液加热后维持的时间为25分钟至35分钟。
[0016]优选的；步骤S6中对于浸润入石英部件的最终溶液加热后维持的时间为15分钟至20分钟。
[0017]本专利技术提出的一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法,通过配置浓度为36.5％
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42.5％的氢氟酸气体水溶液和浓度为85％以上的氟化铵混合，再对质量比为质量比为1:1.85的氢氟酸气体水溶液和氟化铵进行混合，使得氟化铵溶解在氢氟酸气体水溶液之中，再将该溶液与纯乙酸配溶液进行混合，再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中，最后进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进行浸泡，之后再将石英部件表面的附着物进行充分地清洗，并在清洗结束之后再通过等离子水进行冲洗一遍，从而达到了通过化学反应方式进行处理石英表面粗糙度的效果，实现了满足更高程度的应用需求的效果。
具体实施方式
[0018]下面结合具体实施例对本专利技术作进一步解说。
[0019]实施例1：本专利技术提出的一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法，包括以下步骤：
[0020]S1：将需要进行粗糙处理的石英部件表面进行打磨，将粗糙面打磨之后进行抛光；
[0021]S2：在对抛光后的石英部件表面进行清洗，清洗后采用鼓风的烘干设备对于石英部件表面进行鼓风烘干；
[0022]S3：配置对于石英表面粗糙进行处理耳朵化学反应溶液，采用浓度为36.5％
‑
42.5％的氢氟酸气体水溶液和浓度为85％以上的氟化铵混合制成，其中氢氟酸气体水溶液和氟化铵的质量比为1:1.85，得出预备溶液；
[0023]S4：再对质量比为质量比为1:1.85的氢氟酸气体水溶液和氟化铵进行混合，使得氟化铵溶解在氢氟酸气体水溶液之中，再将该溶液与纯乙酸配溶液进行混合，得出最终溶液；
[0024]S5：再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中；
[0025]S6：对于步骤S5中浸润入石英部件的最终溶液进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进行浸泡。
[0026]S7：对于加热并进行浸泡后的石英部件取出，对石英部件的表面进行充分清洗，将石英部件表面的附着物进行充分地清洗，并在清洗结束之后再通过等离子水进行冲洗一遍，再进行烘干。
[0027]其中，步骤S4中参与混合的纯乙酸配溶液的浓度为98％.5以上。
[0028]其中，步骤S5中对于石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中浸润的时间为四十五分钟到五十五分钟。
[0029]其中，步骤S6中对于浸润入石英部件的最终溶液加热后维持的时间为25分钟至35
分钟。
[0030]实施例2：本专利技术提出的一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法，包括以下步骤：
[0031]S1：将需要进行粗糙处理的石英部件表面进行打磨，将粗糙面打磨之后进行抛光；
[0032]S2：在对抛光后的石英部件表面进行清洗，清洗后采用鼓风的烘干设备对于石英部件表面进行鼓风烘干；
[0033]S3：配置对于石英表面粗糙进行处理耳朵化学反应溶液，采用浓度为36.5％
‑
42.5％的氢氟酸气体水溶液和浓度为85％以上的氟化铵混合制成，其中氢氟酸气体水溶液和氟化铵的质量比为1:1.85，得出预备溶液；
[0034]S4：再对质量比为质量比为1:1.85的氢氟酸气体水溶液和氟化铵进行混合，使得氟化铵溶解在氢氟酸气体水溶液之中，再将该溶液与纯乙酸配溶液进行混合，得出最终溶液；
[0035]S5：再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中；
[0036]S6：对于步骤S5中浸润入石英部件的最终溶液进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进行浸泡。
[0037]S7：本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通过化学反应方式处理石英表面粗糙的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将需要进行粗糙处理的石英部件表面进行打磨，将粗糙面打磨之后进行抛光；S2：在对抛光后的石英部件表面进行清洗，清洗后采用鼓风的烘干设备对于石英部件表面进行鼓风烘干；S3：配置对于石英表面粗糙进行处理耳朵化学反应溶液，采用浓度为36.5％
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42.5％的氢氟酸气体水溶液和浓度为85％以上的氟化铵混合制成，其中氢氟酸气体水溶液和氟化铵的质量比为1:1.85，得出预备溶液；S4：再对质量比为质量比为1:1.85的氢氟酸气体水溶液和氟化铵进行混合，使得氟化铵溶解在氢氟酸气体水溶液之中，再将该溶液与纯乙酸配溶液进行混合，得出最终溶液；S5：再将烘干了之后的石英部件浸润在步骤S4中的最终溶液之中；S6：对于步骤S5中浸润入石英部件的最终溶液进行加热，并使温度加热至80摄氏度至90摄氏度之间，并维持温度进...

【专利技术属性】
技术研发人员：高君，
申请(专利权)人：沈阳汉科半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：