一种雾化检测方法、装置及相关设备制造方法及图纸

本申请提供一种雾化检测方法、装置及相关设备，其中，所述方法包括：对目标反应炉内的参照设备在当前时刻发出的基准光信号进行检测，得到检测信号数据；根据所述检测信号数据与所述基准光信号对应的基准信号数据之间的差异，确定光衰参数，其中，所述光衰参数用于表征所述基准光信号的光能量衰减幅度；在所述光衰参数大于或等于光衰阈值的情况下，根据所述光衰参数和预设置的转换系数，确定调整参数；根据所述调整参数，对所述目标反应炉的输入原料的输入量进行调整。相较于人工巡检的方式来说，应用上述自动化检测雾化状况并处置的方式，可规避人为因素的干扰，提升目标反应炉在雾化监控方面所获得的检测效果。控方面所获得的检测效果。控方面所获得的检测效果。

【技术实现步骤摘要】
一种雾化检测方法、装置及相关设备


[0001]本申请涉及多晶硅生产
，具体涉及一种雾化检测方法、装置及相关设备。

技术介绍

[0002]多晶硅还原工序是生产过程中的关键环节，还原车间内包括多个还原炉，为了对多个还原炉中每一还原炉内反应状况进行及时检测，需要现场人员定期巡检并观测炉内清晰度，结合观测情况和过往经验判断还原炉内是否存在雾化问题。
[0003]应用中发现，采用上述人工巡检的方式对还原炉内雾化情况进行监控，受人为因素的干扰较大，易出现错判雾化状况或漏判雾化状况的情况，也就是说，相关技术对反应炉内雾化状况的检测效果较差。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种雾化检测方法、装置及相关设备，用于解决相关技术在监控反应炉内雾化状况时存在的检测效果较差的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种雾化检测方法，所述方法包括：
[0006]对目标反应炉内的参照设备在当前时刻发出的基准光信号进行检测，得到检测信号数据；
[0007]根据所述检测信号数据与所述基准光信号对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种雾化检测方法，其特征在于，所述方法包括：对目标反应炉内的参照设备在当前时刻发出的基准光信号进行检测，得到检测信号数据；根据所述检测信号数据与所述基准光信号对应的基准信号数据之间的差异，确定光衰参数，其中，所述光衰参数用于表征所述基准光信号的光能量衰减幅度；在所述光衰参数大于或等于光衰阈值的情况下，根据所述光衰参数和预设置的转换系数，确定调整参数；根据所述调整参数，对所述目标反应炉的输入原料的输入量进行调整。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述调整参数，对所述目标反应炉的输入原料的输入量进行调整之后，所述方法还包括：获取所述参照设备在第一检测时刻发出的基准光信号对应的第一光衰值、以及所述参照设备在第二检测时刻发出的基准光信号对应的第二光衰值；将所述第一光衰值和所述第二光衰值之间的差值确定为光衰变化参数；在所述光衰变化参数小于或等于变化阈值的情况下，生成雾化警报，所述雾化警报用于指示所述目标反应炉的位置。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述生成雾化警报后，所述方法还包括：获取人工调整指令；根据所述人工调整指令，对所述目标反应炉的输入原料的输入量进行调整。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对反应炉内的参照设备在当前时刻发出的基准光信号进行检测，得到检测信号数据之前，所述方法还包括：对所述参照设备在初始时刻发出的基准光信号的进行检测，得到测试信号数据；根据所述测试信号数据对所述基准信号数据进行更新。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对反应炉内的参照设备在当前时刻发出的基准光信号进行检测，得到检测信号数据之前，所述方法还包括：向所述参照设备发送检测指令，以使所述参照设备基于所述检...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕海花，王倩，银波，侯雨，刘丹丹，宋亚博，狐政恺，
申请(专利权)人：内蒙古新特硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：