一种单晶炉炉底冷却水控制系统技术方案

本申请涉及单晶炉的领域，尤其是涉及一种单晶炉炉底冷却水控制系统。一种单晶炉炉底冷却水控制系统，包括进水流量监测装置、出水流量监测装置、流量比较器以及进水控制装置；进水流量监测装置连接于炉底进水管道，用于监测流入炉底的冷却水进水量；出水流量监测装置连接于炉底出水管道，用于监测从炉底流出的冷却水出水量；流量比较器，用于计算单位时间进水量减去单位时间出水量的单位时间流量差值，并在单位时间流量差值大于预设值时响应并报警；进水控制装置设置于炉底进水管道上，在接收到流量比较器的响应信号时停止进水。当单位时间流量差值大于预设值时，及时停止进水，避免大量水变成水蒸气导致炉室压力过大发生爆炸。量水变成水蒸气导致炉室压力过大发生爆炸。量水变成水蒸气导致炉室压力过大发生爆炸。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉底冷却水控制系统


[0001]本申请涉及单晶炉的领域，尤其是涉及一种单晶炉炉底冷却水控制系统。

技术介绍

[0002]绿色环保能源是世界能源发展的趋势，我国“十四五”规划提出了大力发展绿色能源的战略，给光伏行业带来了又一个发展契机，但行业的竞争也日趋激烈。在光伏发电平价上网的背景下，无论是行业上游原材料、硅片产业还是下游电池片、组件产业的生产成本竞争都已然白热化，降本增效成为了光伏行业的持续追求。单晶炉作为太阳能级单晶硅原材料制备环节的主要装备，单晶硅制造厂商通过延长单晶炉使用周期的办法来摊薄单晶硅棒的生产成本。
[0003]此前出现了多起生产事故，像炉内多晶硅熔液大量泄露、高温的多晶硅烫穿炉底板、炉底板中大量的冷却水进入单晶炉工作腔室气化升压发生爆炸事故等。因此专利技术人提供一种单晶炉炉底冷却水控制系统，解决单晶炉炉底穿裂后爆炸的问题。

技术实现思路

[0004]为了避免单晶炉因炉底穿裂导致的爆炸，本申请提供一种单晶炉炉底冷却水控制系统。
[0005]本申请提供的一种单晶炉炉底冷却水控制系统，采用如下的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉底冷却水控制系统，其特征在于，包括进水流量监测装置(6)、出水流量监测装置(10)、流量比较器以及进水控制装置(7)；进水流量监测装置(6)连接于炉底进水管道(2)，用于监测流入炉底的冷却水进水量；出水流量监测装置(10)连接于炉底出水管道(4)，用于监测从炉底流出的冷却水出水量；流量比较器，用于计算单位时间进水量减去单位时间出水量的单位时间流量差值，并在单位时间流量差值大于预设值时响应并报警；进水控制装置(7)设置于炉底进水管道(2)上，在接收到流量比较器的响应信号时停止进水。2.根据权利要求1所述的单晶炉炉底冷却水控制系统，其特征在于，所述进水流量监测装置(6)和出水流量监测装置(10)均为流量计。3.根据权利要求1所述的单晶炉炉底冷却水控制系...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鸣，王维，丁文革，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：