【技术实现步骤摘要】
一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备
[0001]本专利技术属于硅拋光片冷却设备
,具体涉及一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备。
技术介绍
[0002]硅材料拋光片指的是硅抛光片,主要用在半导体行业,而这种硅材料拋光片在生产过程中,需要经过多道工序,同时在不同的工序也需要用到不同的设备,其中在硅材料拋光片加工过程中,其表面会携带一定的热量,因此需要用到专用的快速冷却设备来对带热的硅材料拋光片进行快速冷却,如公开号为“CN216577344U”的现有专利中所公开的“一种用于硅材料抛光片生产过程中使用的快速冷却设备,包括设备主体,设备主体内壁底部固定安装有振动机,振动机顶部固定安装有物料板,物料板一侧固定安装有滑块,设备主体内壁设置有滑槽,设备主体内部固定安装有横杆,横杆顶部固定安装有电机设备
……”
,该专利中的快速冷却设备就是一种硅材料抛光片生产过程中的常见冷却设备,可实现硅材料抛光片生产过程中的快速冷却;
[0003]但上述专利中的快速冷却设备在实际使用时,因冷却风扇直接通过横梁固定在机体内部, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备,包括机体(1)以及设置在机体(1)内部的可调式冷却机构(5)和托料板(4),所述托料板(4)位于可调式冷却机构(5)的下方,所述机体(1)包括机壳(11),所述机壳(11)的两侧表面分别设置有进料口(2)和出风口(3),其特征在于:所述可调式冷却机构(5)包括撑板(51)、冷却电机(52)、冷却风扇(53)和滑动限位组件(54),所述撑板(51)的两端通过滑动限位组件(54)与机壳(11)的两侧内壁相连接,所述冷却电机(52)安装在撑板(51)的顶部,且冷却电机(52)的输出轴贯穿至撑板(51)的底部,并安装有冷却风扇(53);所述滑动限位组件(54)包括T形侧轨(541)和T形套口(542),所述T形侧轨(541)固定在机壳(11)的内壁,所述撑板(51)的端部通过T形套口(542)滑动套设在T形侧轨(541)上,所述撑板(51)的两端表面均滑动安装有活动块(543),所述活动块(543)的两端均固定有限位杆(544),所述T形侧轨(541)的表面均匀开设有多个限位孔(545),且限位杆(544)的一端插入至其中一个限位孔(545)中。2.根据权利要求1所述的一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备,其特征在于:所述滑动限位组件(54)还包括开设在撑板(51)表面的活动缺口(546),所述活动缺口(546)中固定有支撑导杆(547),所述活动块(543)通过活动缺口(546)贯穿撑板(51),且活动块(543)滑动套设在支撑导杆(547)上。3.根据权利要求1所述的一种硅材料拋光片生产的快速冷却设备,其特征在于:所述滑动限位组件(54)还包...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛惠芹,池海龙,朱豆豆,董刚,
申请(专利权)人:江苏省东海硅产业科技创新中心,
类型:发明
国别省市:
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