碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具制造技术

本申请涉及碳化硅晶锭技术的领域，一种碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具，包括冶具底座、调节机构、平台和V型块；调节机构安装在冶具底座上，包括左调节块、右调节块和固定底板，其中左调节块和右调节块上分别安装有左调节螺丝和右调节螺丝，且左调节块和右调节块均与固定底板滑动连接；固定底板的中心一体成型有螺丝调节块，且左调节螺丝和右调节螺丝均与螺丝调节块转动连接；平台的顶面为平面，平台的底部两侧设有与左调节块和右调节块的顶部贴合；平台的前后两端分别通过前调节螺丝和后调节螺丝与冶具底座固定连接，且平台顶部还安装有用于夹持V型块的定位块。本申请大大提高了晶锭定中心的效率。晶锭定中心的效率。晶锭定中心的效率。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具


[0001]本申请涉及碳化硅晶锭技术的领域，尤其是涉及一种碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具。

技术介绍

[0002]碳化硅单晶是最重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿场强大、热导率高等优异性质，而被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。
[0003]中国专利CN215242022U,公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，涉及精密仪器元器件生产
本技术包括气压罩、安装板、固定板和滚圆架，其中气压罩与安装板、固定板和滚圆架均嵌套配合，滚圆架与安装板和固定板均滑动配合；气压罩包括环形罩，其内侧安装有伸缩气杆，伸缩气杆与滚圆架接触。本技术通过设置气压罩和滚圆架，将滚圆结构和中心定位结构安装于一体，大大节约了设备的空间占用；其中，通过在气压罩内侧安装伸缩气杆，利用伸缩气杆同步挤压滚圆架，确保滚圆架的工作中心位于设备的圆心，因而在实际滚圆操作时也能时刻保证晶圆棒位于中心位置。
[0004]针对上述中的相关技术，碳化硅理论密度是3.18g/cm3，其莫氏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具，其特征在于：包括冶具底座(1)、调节机构(2)、平台(3)和V型块(4)；所述调节机构(2)安装在冶具底座(1)上，包括左调节块(21)、右调节块(22)和固定底板(23)，其中左调节块(21)和右调节块(22)上分别安装有左调节螺丝(211)和右调节螺丝(221)，且左调节块(21)和右调节块(22)均与固定底板(23)滑动连接；所述固定底板(23)的中心一体成型有螺丝调节块(231)，且左调节螺丝(211)和右调节螺丝(221)均与螺丝调节块(231)转动连接；所述平台(3)的顶面为平面，平台(3)的底部两侧设有与左调节块(21)和右调节块(22)的顶部贴合；所述平台(3)的前后两端分别通过前调节螺丝(32)和后调节螺丝(33)与冶具底座(1)固定连接，且平台(3)顶部还安装有用于夹持V型块(4)的定位块(31)。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具，其特征在于：所述左调节块(21)和右调节块(22)的底部均设有滑动槽(24)，且固定底板(23)上设有与之对应的滑轨(232)，且左调节块(21)和右调节块(22)的底面与固定底板(23)的顶面之间设有间隙。3.根据权利要求2所述的碳化硅晶体外圆滚圆快速定中心治具，其特征在于：所述左调节块(21)上的左调节螺丝(211)位于滑动槽(24)之间，所述右调节块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：冷松平，奚衍罡，卢东阳，王洁，
申请(专利权)人：南通罡丰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：