激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法制造方法及图纸

技术编号:36684702 阅读:26 留言:0更新日期:2023-02-27 19:45
本发明专利技术提供激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法。激光加工装置具备配置有激光的光路的加工头以及插入加工头的盒。加工头具有按压盒的按压构件、以及通过限制被按压构件按压的盒的移动而对盒赋予反作用力的止动面。盒具有:光学部件,在盒插入加工头的状态下配置在光路上;第一构件,与光学部件的第一面和按压构件接触;以及第二构件,与光学部件的第二面和止动面接触。二面和止动面接触。二面和止动面接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法


[0001]本专利技术涉及激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法。

技术介绍

[0002]在激光加工装置安装盒的技术已被公众所知。
[0003]作为相关技术,在专利文献1中公开了激光加工装置。专利文献1所记载的激光加工装置具备:包括第一光学元件的盒;具有用于插入盒的盒孔的框体;以及将盒相对于框体施力和释放的切换机构。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献1:日本专利公开公报专利第6663543号

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供在激光加工装置的加工头固定盒的技术的改进、和/或在盒的构成部件固定光学部件的技术的改进。
[0007]几个实施方式的激光加工装置具备:加工头,配置有激光的光路;以及盒,插入所述加工头。所述加工头具有:按压构件,按压所述盒;以及止动面,通过限制被所述按压构件按压的所述盒的移动而对所述盒赋予反作用力。所述盒具有:光学部件,在所述盒插入所述加工头的状态下配置在所述光路上;第一构件,与所述光学部件的第一面和所述按压构件接触;以及第二构件,与所述光学部件的第二面和所述止动面接触。
[0008]几个实施方式的激光加工系统具备:工件支承装置,支承通过激光加工的工件;激光加工装置,具有朝向所述工件照射所述激光的加工头;驱动装置,使所述加工头相对于所述工件支承装置相对移动;以及控制装置,对所述驱动装置的动作进行控制。所述激光加工装置具备:激光光源;光传递构件,从所述激光光源向所述加工头传递所述激光;所述加工头,配置有所述激光的光路;以及盒,插入所述加工头。所述加工头具有:按压构件,按压所述盒;以及止动面,通过限制被所述按压构件按压的所述盒的移动而对所述盒赋予反作用力。所述盒具有:光学部件,在所述盒插入所述加工头的状态下配置在所述光路上;第一构件,与所述光学部件的第一面和所述按压构件接触;以及第二构件,与所述光学部件的第二面和所述止动面接触。
[0009]几个实施方式的盒的安装方法是向激光加工装置安装盒的方法。所述激光加工装置具有配置有激光的光路且限定配置所述盒的空间的加工头。所述加工头具有:按压构件,按压所述盒;以及止动面,通过限制被所述按压构件按压的所述盒的移动而对所述盒赋予反作用力。所述盒具有:光学部件,所述激光通过所述光学部件;第一构件,与所述光学部件的第一面接触;以及第二构件,与所述光学部件的第二面接触。所述安装方法包括:准备工序,准备在所述第一构件与所述第二构件之间配置所述光学部件的所述盒;插入工序,在所述光学部件未固定在所述第一构件和所述第二构件上的状态下,将所述盒插入所述加工头;以及移动工序,使所述按压构件朝向所述第一构件移动,以使所述按压构件按压所述第
一构件。通过执行所述移动工序,所述第一构件按压所述第一面的第一按压力和所述第二构件按压所述第二面的第二按压力增加。
[0010]根据本专利技术,能够提供向激光加工装置的加工头固定盒的技术的改进和/或向盒的构成部件固定光学部件的技术的改进。
附图说明
[0011]图1是示意性地表示第一实施方式的激光加工装置的一部分的概要截面图。
[0012]图2是将图1的一部分放大表示的概要截面图。
[0013]图3是示意性地表示向加工头插入的盒的概要截面图。
[0014]图4是示意性地表示向加工头插入的盒的概要截面图。
[0015]图5是示意性地表示向加工头插入的盒的第一变形例的概要截面图。
[0016]图6是图1中的A

A向视截面图。
[0017]图7是示意性地表示按压环的概要俯视图。
[0018]图8是示意性地表示壳体的概要俯视图。
[0019]图9是向加工头插入的盒的第二变形例的概要截面图。
[0020]图10是第一实施方式的激光加工装置的一部分的概要截面图。
[0021]图11是第二实施方式的激光加工装置的一部分的概要截面图。
[0022]图12是第三实施方式的激光加工装置的一部分的概要截面图。
[0023]图13是向加工头插入的盒的第三变形例的概要截面图。
[0024]图14是表示实施方式的盒的安装方法的一例的流程图。
[0025]图15是示意性地表示执行插入工序中的样子的一例的图。
[0026]图16是示意性地表示执行插入工序中的样子的另一例的图。
[0027]图17是示意性地表示执行插入工序中的样子的又一例的图。
[0028]图18是示意性地表示第四实施方式的激光加工系统的概要立体图。
具体实施方式
[0029]以下,参照附图说明几个实施方式的激光加工装置1、激光加工系统100和盒(cartridge)6的安装方法。另外,在以下的实施方式的说明中,对具有相同功能的部位、构件标注相同的附图标记,对于标注了相同的附图标记的部位、构件省略重复说明。
[0030](第一实施方式)
[0031]参照图1至图10对第一实施方式的激光加工装置1A进行说明。图1是示意性地表示第一实施方式的激光加工装置1A的一部分的概要截面图。图2是将图1的一部分放大表示的概要截面图。图3和图4是示意性地表示向加工头2插入的盒6的概要截面图。另外,图3表示第一构件70(更具体而言,壳体H)被朝向第二构件80(更具体而言,按压环P)按压前的状态,图4表示第一构件70(更具体而言,壳体H)被朝向第二构件80(更具体而言,按压环P)按压后的状态。图5是向加工头插入的盒6的第一变形例的概要截面图。图6是图1中的A-A向视截面图。图7是示意性地表示按压环P的概要俯视图。图8是示意性地表示壳体H的概要俯视图。图9是向加工头2插入的盒6的第二变形例的概要截面图。图10是示意性地表示第一实施方式的激光加工装置1A的一部分的概要截面图。另外,在第一实施方式或其他实施方式,为了
避免附图的复杂化,省略存在于比加工头的截面靠里侧的部位、构件的记载。
[0032]第一实施方式的激光加工装置1A具备加工头2和盒6。
[0033]在加工头2配置有激光的光路F。换言之,加工头2具有激光所通过的通路N。在图1所记载的例子中,激光所通过的通路N与加工头2的长边方向平行。另外,在图1中,光路F通过被虚线包围的区域示意性地表示。在图1所记载的例子中,利用从加工头2射出的激光对工件W进行加工。
[0034]加工头2限定配置盒6的空间SP。换言之,加工头2具有容纳盒6的容纳部21。
[0035]加工头2具有按压构件30和止动面40。
[0036]按压构件30是按压盒6的构件。在图1所记载的例子中,按压构件30能够沿着加工头2的长边方向移动。通过按压构件30朝向盒6移动,按压构件30按压盒6。在图1所记载的例子中,按压构件30具有按压盒6的按压面30p。按压面30p例如具有环状的平坦面。
[0037]止动面40通过限制被按压构件30按压的盒6的移动而对盒6赋予本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光加工装置,其特征在于,具备:加工头,配置有激光的光路;以及盒,插入所述加工头,所述加工头具有:按压构件,按压所述盒;以及止动面,通过限制被所述按压构件按压的所述盒的移动而对所述盒赋予反作用力,所述盒具有:光学部件,在所述盒插入所述加工头的状态下配置在所述光路上;第一构件,与所述光学部件的第一面和所述按压构件接触;以及第二构件,与所述光学部件的第二面和所述止动面接触。2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一构件被所述按压构件按压且按压所述光学部件的所述第一面,所述第二构件从所述止动面被赋予反作用力且按压所述光学部件的所述第二面。3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一构件向所述第一面传递从所述按压构件受到的按压力,所述第二构件向所述第二面传递从所述止动面赋予的反作用力。4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,通过所述盒被所述按压构件按压,执行所述盒向所述加工头的固定以及所述光学部件向所述第一构件和所述第二构件的固定。5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,所述第一构件和所述第二构件中的一方包括收纳所述光学部件的至少一部分的壳体,所述第一构件和所述第二构件中的另一方包括与所述光学部件抵接的按压环。6.根据权利要求5所述的激光加工装置,其特征在于,所述按压环的至少一部分被所述壳体悬臂支承。7.根据权利要求5或6所述的激光加工装置,其特征在于,所述壳体的体积大于所述按压环的体积,所述壳体的密度小于所述按压环的密度。8.根据权利要求5至7中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,所述壳体中的与所述光学部件的侧面对置的部分的最小内径大于所述按压环中的与所述光学部件的所述侧面对置的部分的最小内径。9.根据权利要求5至8中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,所述盒具有:第一密封构件,配置在所述光学部件与所述壳体之间;第二密封构件,配置在所述按压环的上表面;以及第三密封构件,配置在所述壳体的下表面。10.根据权利要求1至9中任一项所述的激光加工装置,其特征在于,通过所述第一构件和所述第二构件中的至少一方形成容纳温度传感器的前端部的凹部,所述温度传感器的所述前端部与所述光学部件对置。
11.一种激光加工系统,其特征在于,具备:工件支承装置,支承通过激光加工的工件;激光加工装置,具有朝向所述工件照射所述激光的加工头;驱动装置,使所述加工头相对于所述工件支承装置相对移动;以及控制装置,对所述驱动装置的动作进行...

【专利技术属性】
技术研发人员:波田野和洋北本哲一
申请(专利权)人:山崎马扎克公司
类型:发明
国别省市:

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