石英干燥槽制造技术

本实用新型专利技术涉及泛半导体和半导体清洗技术领域，具体涉及一种石英干燥槽，包括槽体，槽体的内部设有工件载具、对应于工件载具的加热组件，加热组件包括多个加热管；槽体上端两侧还穿设有热氮气进气石英管。本实用新型专利技术结构简单，性价比高，使用多个加热管对工件载具上的工件进行加热干燥。槽体采用石英材质，避免了在加热过程中因槽体材质挥发带来的二次污染。设有加热管管套，便于安装加热管，也使得加热管的红外线需要穿过加热管管套后再对石英槽内工件及工件周围空间进行加热，这样的话就对加热管和工件进行了物理隔间，可以有效地防止加热管在加热过程中挥发的物质污染工件。加热管在加热过程中挥发的物质污染工件。加热管在加热过程中挥发的物质污染工件。

【技术实现步骤摘要】
石英干燥槽


[0001]本技术涉及泛半导体和半导体清洗
，具体涉及一种石英干燥槽。

技术介绍

[0002]现有的泛半导体及半导体湿法清洗工艺环节中，常用的基础干燥方式有离心干燥、IPA(异丙醇)干燥、Maragoni干燥三种。离心干燥工艺简单，但会残留水迹，不能完全干燥，适用与要求较低的泛半导体及半导体工艺，离心干燥专用设备需要进口，设备成本较高；IPA干燥和Maragoni干燥都是采用IPA(异丙醇)与水互溶且表面张力不同来使晶圆干燥，适用与要求较高的半导体工艺，这两种干燥方法设备成本及运营成本都高；要求较低的泛半导体及半导体工艺中，急需一种结构简单，性价比高的干慢装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种石英干燥槽。
[0004]实现本技术目的的技术方案是：一种石英干燥槽，包括槽体，
[0005]所述槽体的内部设有工件载具、对应于所述工件载具的加热组件，
[0006]所述加热组件包括多个加热管；
[0007]所述槽体上端两侧还穿设有热氮气进气石英管。
[0008]上述技术方案所述加热管为红外线加热管。
[0009]上述技术方案所述加热管套设有加热管管套。
[0010]上述技术方案所述加热管设有4根，两个并列连接于所述槽体内部的底壁且位于所述工件载具的下方，另外两个分别连接于所述槽体内部的两个对立的侧壁，所述加热管管套穿设于所述槽体。
[0011]上述技术方案所述加热组件还包括多个测温针，多个所述测温针连接于所述槽体的内壁。
[0012]上述技术方案所述测温针设有两个，两个所述测温针分别通过两个上下设置的测温针卡扣连接于所述槽体的内壁。
[0013]上述技术方案所述槽体的底部连接有排放管。
[0014]上述技术方案所述槽体的上端铰接有槽盖。
[0015]上述技术方案所述槽体的上端设有对应于所述槽盖的槽盖法兰。
[0016]上述技术方案所述槽体的内腔底壁设有支撑限位区，所述工件载具限位连接于所述支撑限位区。
[0017]采用上述技术方案后，本技术具有以下积极的效果：
[0018](1)本技术结构简单，性价比高，使用多个加热管对工件载具上的工件进行加热干燥。槽体采用石英材质，避免了在加热过程中因槽体材质挥发带来的二次污染。
[0019](2)本技术设有加热管管套，便于安装加热管，也使得加热管的红外线需要穿过加热管管套后再对石英槽内工件及工件周围空间进行加热，这样的话就对加热管和工件
进行了物理隔间，可以有效地防止加热管在加热过程中挥发的物质污染工件。
[0020](3)本技术加热时，在槽体底部留排放管，其他部位密闭，采用上吹氮气结构，使热氮气从上部把槽内饱和的湿气排出。
附图说明
[0021]图1为本技术的结构示意图；
[0022]图2为本技术的内部结构示意图；
[0023]图3为图2的右视图。
[0024]图中：槽体1、工件载具2、加热管31、热氮气进气石英管4、加热管管套32、测温针33、测温针卡扣34、排放管5、槽盖6、槽盖法兰61、支撑限位区7。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0030]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]见图1至图3，本技术提供一种石英干燥槽，包括槽体1，
[0032]槽体1的内部设有工件载具2、对应于工件载具2的加热组件，
[0033]加热组件包括多个加热管31；
[0034]槽体1上端两侧还穿设有热氮气进气石英管4。
[0035]本实施例为本技术的基础实施例，槽体1采用石英材质，避免了在加热过程中槽体1的材质挥发带来二次污染。工件载具2用以放置晶圆工件(以下简称工件)，加热组件的多个加热管31用以对工件进行加热干燥。热氮气进气石英管4开设有出气口，出气口用以对槽体1内部吹氮气，使热氮气从上部将槽体1内部饱和的湿气排出。热氮气进气石英管4为独立布局，可以进行旋转来调节出气口的方向。
[0036]在本实施例中，加热管31为红外线加热管。红外线加热管为较常见的一种加热管，其具体的连接方式在此不做具体阐述，此处应不影响本领域技术人员的理解。
[0037]在本实施例中，加热管31套设有加热管管套32。加热管管套32为石英管圆管，便于安装加热管31。设计加热管管套32的另一好处在于，加热管31的红外线需要穿过加热管管套32后再对石英槽内工件及工件周围空间进行加热，这样的话就对加热管31和工件进行了物理隔间，可以有效地防止加热管31在加热过程中挥发的物质污染工件。
[0038]在本实施例中，为了使得槽体1内加热的效果达到最佳，加热管31设有4根，两个并列连接于槽体1内部的底壁且位于工件载具2的下方，另外两个分别连接于槽体1内部的两个对立的侧壁，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英干燥槽，其特征在于：包括槽体(1)，所述槽体(1)的内部设有工件载具(2)、对应于所述工件载具(2)的加热组件，所述加热组件包括多个加热管(31)；所述槽体(1)上端两侧还穿设有热氮气进气石英管(4)。2.根据权利要求1所述的一种石英干燥槽，其特征在于：所述加热管(31)为红外线加热管。3.根据权利要求2所述的一种石英干燥槽，其特征在于：所述加热管(31)套设有加热管管套(32)。4.根据权利要求3所述的一种石英干燥槽，其特征在于：所述加热管(31)设有4根，两个并列连接于所述槽体(1)内部的底壁且位于所述工件载具(2)的下方，另外两个分别连接于所述槽体(1)内部的两个对立的侧壁，所述加热管管套(32)穿设于所述槽体(1)。5.根据权利要求1所述的一种石英干燥槽，其特征在于：所述加热组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，申斌，成旭，杨文涛，谈丽文，任金枝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：