直列式制造设备制造技术

一种直列式制造设备，包括：载体，传送基底；多个处理腔室，在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺；以及冷却部件，用于降低所述基底的表面温度，并且能与所述载体一起移动。动。动。

【技术实现步骤摘要】
直列式制造设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年5月21日在韩国知识产权局(KIPO)提交的第10
‑ꢀ
2021
‑
0065373号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。


[0003]本公开涉及一种直列式(in
‑
line)制造设备。

技术介绍

[0004]当使用直列式制造设备制造显示装置等时，薄膜可以在待处理的基底穿过工艺中所用的腔室的同时沉积在基底上。
[0005]随着在腔室中依次执行基底的待处理的每个工艺，基底的温度可能增加。
[0006]由于基底的温度增加，所以基底可能因受热变形，这妨碍基底的表面成为平坦的。如果基底的表面未保持平坦，则工艺的精度可能降低。
[0007]另一方面，如果用于在基底上执行工艺的腔室内部变得复杂，则腔室的性能可能劣化，并且维护可能变困难。
[0008]本
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于加强所描述的技术的背景的理解，并且因此，它可以包含不构成本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0009]实施例将提供一种直列式制造设备，所述直列式制造设备可以防止在直列式制造设备的多个腔室内的基底的温度升高，并且处理腔室具有防止直列式制造设备的性能劣化和维护困难的结构。
[0010]然而，通过实施例将解决的问题不限于上述问题，并且可以在包括在实施例中的技术理念的范围内进行各种扩展。
[0011]根据实施例的直列式制造设备可以包括：传送基底的载体；在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺的多个处理腔室；以及用于降低所述基底的表面温度并且能与所述载体一起移动的冷却部件。
[0012]所述冷却部件可以设置为与所述载体相邻。
[0013]所述直列式制造设备可以进一步包括驱动所述载体的载体驱动部件，并且所述载体驱动部件可以包括冷却器驱动部件。所述载体驱动部件可以进一步包括将电能供应到所述冷却部件的冷却电源部件。
[0014]所述冷却部件可以附接到所述载体。
[0015]所述冷却部件可以包括导管，并且冷却水或冷却气体可以供应到所述导管，所述冷却气体可以是惰性气体。
[0016]所述冷却部件可以设置为与所述载体间隔开。
[0017]所述冷却部件可以包括多个冷却气体供应部件，所述多个冷却气体供应部件可以
以均匀的间隔设置，以与安置在所述载体上的所述基底的表面相对应。
[0018]所述多个冷却气体供应部件可以是喷射冷却气体所经过的气体喷射孔，所述冷却气体是惰性气体。
[0019]所述多个处理腔室可以设置在第一方向上，并且通过在与所述第一方向成角度的相交的第二方向上安置所述基底，所述载体可以在所述第一方向上传送所述基底。
[0020]所述角度可以是直角。
[0021]根据实施例的直列式制造设备可以包括：传送基底的载体；在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺的多个处理腔室；以及设置为与所述载体相邻并且可与所述载体一起移动的冷却部件。
[0022]所述直列式制造设备可以进一步包括驱动所述载体的载体驱动部件，并且所述载体驱动部件可以包括冷却器驱动部件。
[0023]所述载体驱动部件可以进一步包括将电能供应到所述冷却部件的冷却电源部件。
[0024]所述冷却部件可以附接到所述载体。
[0025]所述冷却部件可以包括导管，并且冷却水或冷却气体可以供应到所述导管。
[0026]所述冷却气体可以是惰性气体。
[0027]所述冷却部件可以设置为与所述载体间隔开。
[0028]所述冷却部件可以包括多个冷却气体供应部件。
[0029]所述多个冷却气体供应部件可以以均匀间隔设置，以与安置在所述载体上的所述基底的表面相对应。
[0030]所述多个冷却气体供应部件可以是喷射冷却气体所经过的气体喷射孔。
[0031]所述冷却气体可以是惰性气体。
[0032]所述多个处理腔室可以设置在第一方向上，并且通过在与所述第一方向成角度的相交的第二方向上安置所述基底，所述载体可以在所述第一方向上传送所述基底。
[0033]所述角度可以是直角。
[0034]根据实施例的直列式制造设备可以包括：传送基底的载体；在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺的多个处理腔室；以及设置在所述载体中的冷却部件。
[0035]所述直列式制造设备可以进一步包括驱动所述载体的载体驱动部件，并且所述载体驱动部件可以包括冷却器驱动部件。
[0036]所述载体驱动部件可以进一步包括将电能供应到所述冷却部件的冷却电源部件。
[0037]所述冷却部件可以包括设置在所述载体中的导管，并且冷却水或冷却气体可以供应到所述导管。
[0038]所述冷却部件可以是喷射冷却气体的气体喷射孔。
[0039]所述多个处理腔室可以设置在第一方向上，并且通过在与第一方向成角度的相交的第二方向上安置所述基底，所述载体可以在所述第一方向上传送所述基底。
[0040]所述角度可以是直角。
[0041]根据依据实施例的直列式制造设备，可以防止在直列式制造设备的多个腔室内的基底的温度增加，并且因为处理腔室的内部不复杂，所以可以防止直列式制造设备的性能劣化和维护困难。
[0042]显而易见的是，所述技术的效果不限于上述效果，但是可以在不脱离实施例的精
神和范围的情况下在一个范围内进行各种扩展。
附图说明
[0043]通过参考附图详细描述本公开的实施例，根据本公开的实施例的额外理解将变得更显而易见。
[0044]图1是根据实施例的直列式制造设备的示意图。
[0045]图2是根据实施例的直列式制造设备的示意透视图。
[0046]图3和图4是示出根据实施例的直列式制造设备的部件的示意侧视图。
[0047]图5是示出根据实施例的直列式制造设备的部件的示意图。
[0048]图6和图7是示出根据另一实施例的直列式制造设备的部件的示意图。
[0049]图8和图9是示出根据另一实施例的直列式制造设备的部件的示意图。
[0050]图10是显示实验示例的结果的图。
[0051]图11是显示实验示例的结果的图。
具体实施方式
[0052]下文中，将参考附图更全面描述实施例，在附图中示出了实施例。如本领域的技术人员将意识到，在全部不脱离所述技术的精神和范围的情况下，所述实施例可以以各种不同的方式进行修改。
[0053]省略了与实施例无关的部件的描述，并且同样的附图标记在说明书中指代同样的元件。
[0054]此外，附图仅是为了便于理解说明书中公开的实施例，并且说明书中公开的技术理念不受附图的限制，并且应理解为包括在所述的技术的理念和技术范围中所包含的全部修改、等同物或替代物。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直列式制造设备，其特征在于，所述直列式制造设备包括：载体，传送基底；多个处理腔室，在经由所述载体传送的所述基底上执行制造工艺；以及冷却部件，用于降低所述基底的表面温度，并且能与所述载体一起移动。2.根据权利要求1所述的直列式制造设备，其特征在于，所述冷却部件设置为与所述载体相邻。3.根据权利要求1或2所述的直列式制造设备，其特征在于，所述直列式制造设备进一步包括：载体驱动部件，驱动所述载体，并且所述载体驱动部件包括冷却器驱动部件；其中，所述载体驱动部件进一步包括将电能供应到所述冷却部件的冷却电源部件。4.根据权利要求3所述的直列式制造设备，其特征在于，所述冷却部件附接到所述载体。5.根据权利要求4所述的直列式制造设备，其特征在于，所述冷却部件包括导管，并且冷却水或冷却气体供应到所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳斗善，白炅旼，申铉亿，李侑钟，许明洙，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：