一种单晶硅片切割用翻转工作台制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶硅片切割领域，公开了一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台，所述工作台的外壁上固定安装有控制面板，所述工作台的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的中部固定连接有转轴，所述旋转台的上下两侧均固定连接有安装板，所述安装板上设置有装夹装置，所述旋转台的上下表面上均设置有刮板，所述转轴旋转安装在工作台内的凹槽内。本装置通过设置旋转电机，通过转轴带动旋转台旋转，在旋转台的一面对单晶硅片切割，在旋转台的另一面通过刮板将旋转台表面上的废料清理干净，不仅方便对切割过程产生的废料进行收集，而且能提高切割效率。而且能提高切割效率。而且能提高切割效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片切割用翻转工作台


[0001]本技术涉及单晶硅片切割领域，特别涉及一种单晶硅片切割用翻转工作台。

技术介绍

[0002]单晶硅片是硅片的一种，是一种良好的半导体材料，单晶硅片常常用于制造半导体器件、太阳能电池等。
[0003]单晶硅片需要通过切割成特定的形状，现代常使用的为激光切割机，激光切割需要在工作台上进行，工作台起到对单晶硅片的承载作用，现有的工作台存在较多的缺陷，在切割过程中会产生废料，这些废料不进行收集会造成资源浪费，现有的工作台不方便对切割产生的废料进行收集，废料停留在工作台的表面上，清理起来较为繁琐，为此，提出一种单晶硅片切割用翻转工作台。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种单晶硅片切割用翻转工作台，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的现有切割工作台废料收集较为不便的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台，所述工作台的外壁上固定安装有控制面板，所述工作台的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的中部固定连接有转轴，所述旋转台的上下两侧均固定连接有安装板，所述安装板上设置有装夹装置，所述旋转台的上下表面上均设置有刮板。
[0007]优选的，所述转轴旋转安装在工作台内的凹槽内，所述转轴的一端穿出工作台固定连接有旋转电机，所述旋转电机固定安装在工作台的外侧壁上。
[0008]优选的，所述装夹装置包括第一丝杆电机，所述第一丝杆电机固定安装在安装板上，所述第一丝杆电机的输出轴上固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆电机和第一丝杆均设置有两组，所述第一丝杆上开设有两段外螺纹，所述第一丝杆上的两段外螺纹螺旋方向相反。
[0009]优选的，所述第一丝杆上的两段外螺纹上均螺纹连接有移动板，所述移动板的表面上固定连接有固定架，所述固定架上固定安装有液压缸，所述液压缸的液压杆端部上固定连接有夹板。
[0010]优选的，所述刮板的下表面与旋转台的表面相互贴合，所述刮板的两侧均固定连接有连接块，其中一个所述连接块上螺纹连接有第二丝杆，所述第二丝杆转动安装在旋转台内，所述第二丝杆上固定连接有第二丝杆电机，所述第二丝杆电机固定安装在旋转台的外侧壁上，另一个所述连接块上滑动连接有限位杆，所述限位杆固定连接在旋转台内。
[0011]优选的，所述旋转台的表面上开设有通槽，所述连接块滑动设置在通槽内，所述通槽的一侧固定连接有挡条。
[0012]优选的，所述工作台的下表面上固定连接有支撑腿，所述工作台的下端一侧活动
连接有活动门。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]1.本装置通过设置旋转电机，通过转轴带动旋转台旋转，在旋转台的一面对单晶硅片切割，在旋转台的另一面通过刮板将旋转台表面上的废料清理干净，不仅方便对切割过程产生的废料进行收集，而且能提高切割效率。
[0015]2.本装置通过第一丝杆电机和第一丝杆的设置，使移动板能在第一丝杆上移动，配合上固定架上的液压缸能对不同大小的单晶硅片进行固定，操作简单。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图。
[0017]图2为本技术中旋转台的结构示意图。
[0018]图3为本技术图2中A处的放大图。
[0019]图4为本技术中旋转台的剖视图。
[0020]图5为本技术中旋转台另一个角度的剖视图。
[0021]图中：1、工作台；2、控制面板；3、凹槽；4、旋转台；5、安装板；6、转轴；7、旋转电机；8、第一丝杆电机；9、第一丝杆；10、移动板；11、固定架；12、液压缸；13、夹板；14、刮板；15、连接块；16、第二丝杆；17、第二丝杆电机；18、限位杆；19、通槽；20、挡条；21、支撑腿；22、活动门。
具体实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]如图1
‑
图5所示，一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台1，工作台1的外壁上固定安装有控制面板2，工作台1的上表面上开设有凹槽3，凹槽3内设置有旋转台4，旋转台4的中部固定连接有转轴6，旋转台4的上下两侧均固定连接有安装板5，安装板5上设置有装夹装置，旋转台4的上下表面上均设置有刮板14。
[0024]转轴6旋转安装在工作台1内的凹槽3内，转轴6的一端穿出工作台1固定连接有旋转电机7，旋转电机7固定安装在工作台1的外侧壁上，旋转电机7受到控制面板2控制，控制面板2控制旋转电机7工作，带动转轴6和旋转台4旋转。
[0025]装夹装置包括第一丝杆电机8，第一丝杆电机8固定安装在安装板5上，第一丝杆电机8的输出轴上固定连接有第一丝杆9，第一丝杆电机8和第一丝杆9均设置有两组，第一丝杆9上开设有两段外螺纹，第一丝杆9上的两段外螺纹螺旋方向相反，第一丝杆电机8受到控制面板2控制，控制面板2控制第一丝杆电机8工作，第一丝杆电机8带动第一丝杆9发生旋转。
[0026]第一丝杆9上的两段外螺纹上均螺纹连接有移动板10，移动板10的表面上固定连接有固定架11，固定架11上固定安装有液压缸12，液压缸12的液压杆端部上固定连接有夹板13，液压缸12受到控制面板2控制，由于第一丝杆9的两段外螺纹螺旋方向相反，当第一丝杆电机8工作带动第一丝杆9旋转时，能使第一丝杆9上的两块移动板10相互靠近或者相互远离，配合上移动板10上的固定架11能将放置在移动板10表面上的单晶硅片两侧夹住，控
制面板2控制液压缸12工作，液压缸12从上端将单晶硅片的上表面夹紧。
[0027]刮板14的下表面与旋转台4的表面相互贴合，刮板14的两侧均固定连接有连接块15，其中一个连接块15上螺纹连接有第二丝杆16，第二丝杆16转动安装在旋转台4内，第二丝杆16上固定连接有第二丝杆电机17，第二丝杆电机17固定安装在旋转台4的外侧壁上，另一个连接块15上滑动连接有限位杆18，限位杆18固定连接在旋转台4内，第二丝杆电机17受到控制面板2控制，第二丝杆电机17带动第二丝杆16旋转，在限位杆18的限位下，能使刮板14在旋转台4的表面上滑动，将旋转台4表面上的废料完全刮掉。
[0028]旋转台4的表面上开设有通槽19，连接块15滑动设置在通槽19内，通槽19的一侧固定连接有挡条20，挡条20能防止切割产生的碎渣通过通槽19进入到旋转台4的内侧。
[0029]工作台1的下表面上固定连接有支撑腿21，工作台1的下端一侧活动连接有活动门22，通过活动门22对凹槽3收集的废料进行清理。
[0030]本技术的工作原理：本装置在使用时，将需要切割单晶硅片放在移动板10上，第一丝杆电机8工作带动第一丝杆9旋转，使第一丝杆9上的两块移动板10移动，配合上移动板10上的固定架11将单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的外壁上固定安装有控制面板（2），所述工作台（1）的上表面上开设有凹槽（3），所述凹槽（3）内设置有旋转台（4），所述旋转台（4）的中部固定连接有转轴（6），所述旋转台（4）的上下两侧均固定连接有安装板（5），所述安装板（5）上设置有装夹装置，所述旋转台（4）的上下表面上均设置有刮板（14）。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述转轴（6）旋转安装在工作台（1）内的凹槽（3）内，所述转轴（6）的一端穿出工作台（1）固定连接有旋转电机（7），所述旋转电机（7）固定安装在工作台（1）的外侧壁上。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述装夹装置包括第一丝杆电机（8），所述第一丝杆电机（8）固定安装在安装板（5）上，所述第一丝杆电机（8）的输出轴上固定连接有第一丝杆（9），所述第一丝杆电机（8）和第一丝杆（9）均设置有两组，所述第一丝杆（9）上开设有两段外螺纹，所述第一丝杆（9）上的两段外螺纹螺旋方向相反。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述第一丝杆（9）上的两段外螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐益林，武瑞，武治军，曹政民，李瑞鹏，王大伟，万遥，
申请(专利权)人：无锡中环应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：