本实用新型专利技术公开了一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，包括载物平台，用于放置待检测的光学元件；水平调整台，设置于载物平台下方；导轨移动机构，设置于水平调整台下方；第一升降机构和第二升降机构，固定于龙门架上；CCD检测模块，对所述光学元件进行快速扫描，获得表面缺陷位置信息；高精度检测模块，对所述光学元件表面缺陷进行精细检测，获取高分辨率缺陷图像；洁净罩，置于检测装置外部。本实用新型专利技术通过CCD检测模块获取所述光学元件表面缺陷位置信息，导轨移动机构根据位置信息移动载物台将缺陷置于高精度检测模块下方，获取所述光学元件高分辨率缺陷图像，最终实现光学元件表面缺陷高分辨率、定位检测，大大提高了检测精度和检测效率。和检测效率。和检测效率。
【技术实现步骤摘要】
一种光学元件表面缺陷高精度检测装置
[0001]本技术涉及光学元件表面缺陷检测领域，具体涉及一种光学元件表面缺陷高精度检测装置。
技术介绍
[0002]精密元件是众多行业的关键基础，市场对半导体芯片、光学元件、显示屏等需求剧增。光电元器件、系统设备的性能依赖于元件材料及元件表面质量。而光学元件表面缺陷是评判半导体、光学、光电子、显示屏精密元件技术质量水平的关键指标之一。
[0003]目前，人工目视对比法是光学元件表面缺陷检测的主流方法。该方法受检测人员的主观影响较大，检测结果重复性差，检测效率低，且无法对缺陷的位置进行精准定位，出现误判、错判、漏判等情况，耗费大量时间，检测准确率低。
[0004]因此，如何解决人工检测带来的主观不确定性，提高检测准确率，是一个急需解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是针对现有技术所存在的不足，提供一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，解决人工检测无法快速、准确地完成光学元件表面缺陷高精度检测的问题，实现表面缺陷精准定位、自动化高精度检测。
[0006]本技术技术方案如下：
[0007]一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，所述装置包括：
[0008]载物平台，所述载物平台用于放置待检测的光学元件；
[0009]水平调整台，设置于所述载物平台下方，用于调整载物平台的水平姿态；
[0010]导轨移动机构，设置于所述水平调整台下方；
[0011]第一升降机构和第二升降机构，固定于龙门架上；
[0012]CCD检测模块，与所述第一升降机构相连，对所述光学元件进行快速扫描，获得表面缺陷位置信息，实现缺陷定位；
[0013]高精度检测模块，与所述第二升降机构相连，对所述光学元件表面缺陷进行精细检测，获取高分辨率缺陷图像；
[0014]进一步的，所述水平调整台包括分别沿θx和θy两个方向转动的旋转机构。
[0015]进一步的，所述导轨移动机构包括分别沿X和Y两个方向运动的移动机构。
[0016]进一步的，所述第一升降机构和第二升降机构均沿Z轴方向移动，分别用于驱动CCD检测模块和高精度检测模块升降移动。
[0017]进一步的，所述CCD检测模块，包括CCD相机、镜头和组合光源，用于对所述光学元件表面进行全方位快速扫描成像，获得表面缺陷位置信息。
[0018]进一步的，所述高精度检测模块，包括高分辨率相机、高倍镜头和配套光源，用于获取高分辨率缺陷图像。
[0019]进一步的，还包括洁净罩，用于保证设备运行时所在环境的洁净度，所述洁净罩，置于检测装置外部，用于保证设备运行时所在环境的洁净度优于百级，避免灰尘、外界气流等因素对检测过程造成干扰。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提供了一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，解决了人工检测无法快速、准确地完成光学元件表面缺陷高精度检测的问题，实现表面缺陷精准定位、自动化高精度检测，提高检测效率，减少误判率。
附图说明
[0022]图1为本技术所述装置的整体结构图；
[0023]图2为本技术所述装置的结构分解示意图。
具体实施方式
[0024]为使本领域技术人员更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细描述，实施方式提及的内容并非对本技术的限定。以下结合附图对本技术进行详细的描述。
[0025]如图1、图2所示，本技术提供的一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，包括载物平台1，固定于载物平台1下方的水平调整台2；设置于水平调整台2下方的导轨移动机构3，用于带动载物平台1沿X、Y方向移动；第一升降机构4、第二升降机构5固定于龙门架8上，分别用于驱动CCD检测模块6和高精度检测模块7分别沿Z轴方向移动；置于检测装置外部的洁净罩9，用于保证设备运行时所在环境的洁净度。
[0026]本实施例工作时，导轨移动机构3带动载物平台1移动到CCD检测模块6下方，通过控制水平调整台2使被测元件垂直于CCD检测模块6。CCD检测模块6对被测元件进行全方位快速扫描，获得被测元件的缺陷图像，从而获得缺陷位置信息，而后，导轨移动机构3带动载物平台1，将缺陷移动到高精度检测模块7下方，通过控制水平调整台2使被测元件垂直于高精度检测模块7。高精度检测模块7对被测元件缺陷进行精细检测，获取高分辨率缺陷图像。最终，实现光学元件表面缺陷高分辨率、定位检测。优选的，该高分辨率缺陷图像可根据后续用户需要，用于通过另外的图像处理设备进行相关图像处理分析，以得到表面缺陷形貌数据等信息。
[0027]本实施例中，导轨移动机构3，包括用于带动载物平台1沿X轴方向运动的第一移动机构31、沿Y轴方向运动的第二移动机构32。水平调整台2，包括用于带动载物平台1沿θx方向转动的第一旋转机构21和沿θy方向转动的第二旋转机构22。第一移动机构31、第二移动机构32可以采用直线电机驱动，第一旋转机构21和第二旋转机构22可以采用步进电机驱动。
[0028]本实施例中，第一移动机构31的第一移动滑块311与第二移动机构32的底座相连，第二移动机构32的第二移动滑块321与第二旋转机构22的底座相连，第二旋转机构22的第二转动滑块221与第一旋转机构21的底座相连，第一旋转机构21的第一转动滑块211上方安置有载物平台1。因此，在第一移动机构31、第二移动机构32、第一旋转机构21和第二旋转机构22共同驱动作用下，实现了载物平台1沿X、Y、θx、θy方向运动。
[0029]本实施例中，第一升降机构4和第二升降机构5固定于龙门架8上。第一升降机构4和第二升降机构5可以采用步进电机驱动。第一升降机构4的第一移动导轨41与第一连接板411相连，CCD检测模块6安置于第一连接板411上。第二升降机构5的第二移动导轨51与第二连接板511相连，高精度检测模块7安置于第二连接板511上。因此，第一升降机构4和第二升降机构5分别实现了CCD检测模块6和高精度检测模块7沿Z轴方向运动。
[0030]以上实施例仅为说明本技术的原理而采用的示例性实施方式，不能以此限定本技术的保护范围。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本技术精神和本质的情况下，可以做出各种变形和改动，这些变形和改动也视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，其特征在于：所述装置包括：载物平台，所述载物平台用于放置待检测的光学元件；水平调整台，设置于所述载物平台下方，用于调整载物平台的水平姿态；导轨移动机构，设置于所述水平调整台下方；第一升降机构和第二升降机构，固定于龙门架上；CCD检测模块，与所述第一升降机构相连，用于对所述光学元件进行快速扫描，获得表面缺陷位置信息，实现缺陷定位；高精度检测模块，与所述第二升降机构相连，用于对所述光学元件表面缺陷进行精细检测，获取高分辨率缺陷图像。2.根据权利要求1所述的一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，其特征在于：所述水平调整台包括分别沿θx和θy两个方向转动的旋转机构。3.根据权利要求1所述的一种光学元件表面缺陷高精度检测装置，其特征在于：所述导轨移动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：李梦凡，胡小川，赵远程，侯溪，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：新型
国别省市：
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